유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 document_id 1020110066124

[청구항 1] 피증착용 기판을 고정하는 정전 척 진공으로 유지되는 챔버와, 상기 챔버의 내부에 배치되고 상기 정전 척에 고정된 기판에 박막을 증착하는 박막 증착 어셈블리를 포함하는 증착부; 및 상기 기판이 고정된 상기 정전 척을 상기 증착부 내로 이동시키는 제1순환부 를 구비하며, 상기 제1순환부는 상기 증착부를 통과할 때에 상기 챔버 내부로 관통하며, 상기 제1순환부는 상기 정전 척이 일방향으로 이동될 수 있도록 상기 정전 척을 수용하는 수용부를 포함하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기층 증착 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판을 상기 정전 척으로 고정시키는 로딩부; 및상기 정전 척으로부터 증착이 완료된 상기 기판을 분리시키는 언로딩부더 구비하는유기층 증착 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 제1순환부는 상기 로딩부, 증착부 및 언로딩부로순차이동시키는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 언로딩부에서 기판과 분리된 상기 정전 척을 상기 로딩부로 환송시키는 제2순환부더 구비하는유기층 증착 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 가이드부는,상기 정전 척을 이동시킬 수 있도록 구동력을 발생하는 구동부; 및상기 정전 척이 상기 수용부와 비접촉으로 이동할 수 있도록 상기 수용부에서 부상시키는자기부상베어링구비하는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 구동부는리니어 모터인것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 리니어 모터는 상기 정전 척의 일측에 배치되는 마그네틱 레일과 상기 수용부에 배치되는코일포함하는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 8] 제5항에 있어서,상기 자기부상 베어링은 상기 정전 척의 타측에 배치되는 측면 자기부상 베어링과 상기 정전 척 상에 배치되는 상부 자기부상 베어링으로 이루어지며, 상기 구동부는상기정전척의일측배치되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 수용부와 상기 정전 척 사이의 간격을 측정하는갭센서더구비하는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 수용부는 상기 정전 척의 양측을 수용할 수 있는수용홈구비하는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 챔버 내부에복수의박막증착어셈블리들구비된것을특징으로 하는유기층 증착 장치 [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 챔버는 내부에 복수의 박막 증착 어셈블리들이 각각 구비된 제1챔버와 제2챔버를 포함하고,상기제1챔버와제2챔버서로연계된것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 박막 증착 어셈블리는, 증착 물질을 방사하는 증착원;상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 증착원 노즐들이 형성되는 증착원 노즐부; 및상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향에 대해 수직인 제2 방향을 따라 복수 개의 패터닝 슬릿들이 형성되는 패터닝 슬릿 시트;를 포함하고, 상기 기판은 상기 유기층 증착 장치와 소정 정도 이격되도록 형성되어 상기 유기층 증착 장치에 대하여 상대적으로 이동가능하도록형성되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 박막 증착 어셈블리는, 증착 물질을 방사하는 증착원;상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 증착원 노즐들이 형성되는 증착원 노즐부;상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향을 따라 복수 개의 패터닝 슬릿들이 형성되는 패터닝 슬릿 시트; 및상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1 방향을 따라 배치되어, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수 개의 증착 공간들로 구획하는 복수 개의 차단판들을 구비하는 차단판 어셈블리;를 포함하고, 상기 기판은 상기 유기층 증착 장치와 소정 정도 이격되도록 형성되어 상기 유기층 증착 장치에 대하여 상대적으로 이동가능하도록형성되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 15] 제13항 또는 제14항에 있어서,상기 패터닝 슬릿 시트는 상기 챔버의 내측에고정결합되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 16] 제13항 또는 제14항에 있어서,상기 패터닝 슬릿 시트는상기기판형성되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 패터닝 슬릿 시트의 상기 제2 방향으로의 폭은 상기 기판의 상기 제2 방향으로의 폭과 실질적으로 동일하도록형성되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 18] 제13항에 있어서,상기 증착원 및 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트는 연결 부재에 의해 결합되어일체형성되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 연결 부재는상기증착 물질의이동경로가이드하는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 연결 부재는 상기 증착원 및 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 외부로부터 밀폐하도록형성되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 21] 제13항에 있어서,상기 복수 개의 증착원 노즐들nan은소정각도틸트형성되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 복수 개의 증착원 노즐들은 상기 제1 방향을 따라 형성된 두 열(列)의 증착원 노즐들을 포함하며, 상기 두 열(列)의 증착원 노즐들은 서로 마주보는 방향으로틸트되어있는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 23] 제21항에 있어서,상기 복수 개의 증착원 노즐들은 상기 제1 방향을 따라 형성된 두 열(列)의 증착원 노즐들을 포함하며, 상기 두 열(列)의 증착원 노즐들 중 제1 측에 배치된 증착원 노즐들은 패터닝 슬릿 시트의 제2 측 단부를 바라보도록 배치되고,상기 두 열(列)의 증착원 노즐들 중 제2 측에 배치된 증착원 노즐들은패터닝슬릿 시트의제1측단부배치되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 24] 제14항에 있어서,상기 복수 개의 차단판들각각은 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향을 따라 연장되도록형성된것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 25] 제14항에 있어서,상기 복수 개의 차단판들nan은등간격배치되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 26] 제14항에 있어서,상기 차단판 어셈블리는 복수 개의 제1 차단판들을 구비하는 제1 차단판 어셈블리와, 복수 개의 제2 차단판들을 구비하는제2차단판어셈블리포함하는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 복수 개의 제1 차단판들 및 상기 복수 개의 제2 차단판들각각은 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향으로 형성되어,상기증착원노즐부와상기패터닝슬릿 시트사이의공간을복수개의증착공간들구획하는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 28] 제26항에 있어서,상기 복수 개의 제1 차단판들 및 상기 복수 개의 제2 차단판들각각은 서로 대응되도록배치되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 29] 제28항에 있어서,상기 서로 대응되는 제1 차단판 및 제2 차단판은 실질적으로 동일한 평면상에 위치하도록배치되는것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 30] 제14항에 있어서,상기 증착원과 상기 차단판 어셈블리는서로이격된것을특징으로 하는유기층 증착 장치. [청구항 31] 제14항에 있어서,상기 차단판 어셈블리와 상기 패터닝 슬릿 시트는서로이격된것을특징으로 하는유기층 증착 장치.