기판 수납용 카세트 document_id 1020110067537

[청구항 1] 복수의 기판을 수용하는 카세트 본체 상기 카세트 본체를 선택적으로 밀폐시키는 도어 상기 카세트 본체에 대하여 도어를 1차적으로 결합시키는 자성부; 및 상기 카세트 본체에 대하여 도어를 2차적으로 결합시키는 래치 유니트 를 포함하는 기판 수납용 카세트 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 카세트 본체는 다수의 프레임이 서로 연결되어서 상자형의 골조체를 이루며, 상기 프레임 상에는 커버 플레이트결합된기판 수납용 카세트. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 카세트 본체의 내부에는 수직 방향으로 적층되는 복수의 기판을 지지하는 서포트부가 다수개 배열되어서 상기 카세트 본체의 후방으로부터 개방구 쪽으로 내부 공간을 가로질러 연장되며, 상기 카세트 본체의 양 측부에는 상기 기판의 양 가장자리를 지지하는 안착부가 복수의 프레임돌출된기판 수납용 카세트. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 카세트 본체의 후방에는 상기 기판의 후방 가장자리를 지지하는 백 스토퍼가 상기 프레임연결된기판 수납용 카세트. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 카세트의 개방구와 대향되는 도어의 가장자리를 따라 씰링재가더 형성된기판 수납용 카세트. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 자성부는 상기 도어나 상기 카세트 본체에 설치되는 적어도 하나의 마그네틱과, 이와 반대되는 상기 카세트 본체나 상기 도어에 설치되며, 자력에 의하여 상기 마그네틱에 결합되는 도전 플레이트포함하는기판 수납용 카세트. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 마그네틱은 상기 카세트의 개방구와 대향되는 도어의 둘레를 따라서 적어도 하나 설치되며, 상기 도전 플레이트는 상기 카세트의 개방구 둘레를 따라서 상기 마그네틱과 대응되는 위치설치된기판 수납용 카세트. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 마그네틱의 외부에는 상기 마그네틱의 적어도 일부를 감싸는 마그네틱 리테이너설치된기판 수납용 카세트. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 래치 유니트는 상기 도어 프레임에 형성된 도어 가이드 홈에 장착되어서 카세트 본체로 직선 왕복 운동하는 래치 핀포함하는기판 수납용 카세트. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 래치 핀은 상기 카세트 본체에 형성된 래치 핀 결합 홈에 선택적으로 결합되는 본체부와, 상기 본체부의 일단부에 형성되며, 외부 기구의 핀이 삽입되어 래치 핀을 직선 왕복 시키는 래치 핀 홀이 형성된핀부를포함하는기판 수납용 카세트. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 래치 유니트에는 상기 래치 핀의 이동을 제어하기 위한 위치 고정부더 형성된기판 수납용 카세트. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 위치 고정부는 상기 래치 핀 본체부의 둘레를 따라 형성된 로킹 홈과, 상기 도어 프레임에 형성되며, 상기 로킹 홈에 선택적으로 결합되어서 상기 래치 핀의 이동후 위치를 고정하는 로킹부포함하는기판 수납용 카세트. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 로킹부는 상기 도어 프레임에 형성된 홈에 설치된 스프링과, 상기 스프링 상에 설치되어서 상기 로킹 홈에 선택적으로 체결되는 로킹 볼포함하는기판 수납용 카세트. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 로킹 홈과 로킹부는 상기 래치 핀이 상기 래치 핀 결합 홈에 결합후 래치 핀의 이탈을 방지할 수 있는 위치와 대응되는 래치 핀의 본체부 및 도어 프레임각각 형성된기판 수납용 카세트. [청구항 15] 제 12 항에 있어서,상기 로킹 홈의 입구는 곡률형성된기판 수납용 카세트. [청구항 16] 제 10 항에 있어서,상기 카세트의 개방구에 대하여 반대되는 도어의 전면에는 상기 래치 핀 홀에 대하여 외부 기구의 핀이 삽입되어 상기 래치 핀을 직선 운동 시키는 적어도 일부를 개방시키는 개방 홀더 형성된기판 수납용 카세트. [청구항 17] 제 10 항에 있어서,상기 도어 가이드 홈이 형성된 도어 프레임에는 상기 래치 핀의 이동시 래치 핀의 유동을 방지하도록 상기 래치 핀의 둘레를 감싸는 적어도 하나의 래치 핀 가이드형성된기판 수납용 카세트. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 래치핀 가이드고분자 수지로 된기판 수납용 카세트. [청구항 19] 제 1 항에 있어서,상기 도어의 전면에는 상기 카세트 본체에 대한 도어를 선택적으로 개폐시키는 외부 기구의 위치 정렬 핀이 삽입되어서 상기 도어에 대한 외부 기구의 위치를 정렬하는 적어도 하나의 위치 정렬 홀더 형성된기판 수납용 카세트. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 위치 정렬 홀은 도어의 두께 방향으로외부기구의핀인입되는크기인기판 수납용 카세트. [청구항 21] 제 19 항에 있어서,상기 위치 정렬 홀은 도어의 전면 상에 대각선 방향형성된기판 수납용 카세트. [청구항 22] 제 1 항에 있어서,상기 도어에는 밀폐된 카세트 본체의 내부 압력을 조절하는 가스 필터부더 형성된기판 수납용 카세트. [청구항 23] 제 1 항에 있어서,상기 카세트 본체의 개방구에 대향되는 도어의 외곽을 따라서 상기 카세트 본체에 대한 도어가 유연하게 결합가능하도록 가이드하는적어도하나의코너가이드부가이격되게더 형성된기판 수납용 카세트. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 코너 가이드부는 카세트 본체의 개방구쪽으로 진입되는 부분은 테형성된기판 수납용 카세트. [청구항 25] 제 1 항에 있어서,상기 도어의 전면에는 외부 기구가 진공 흡착되는 진공 흡착되는 영역형성된기판 수납용 카세트. [청구항 26] 제 1 항에 있어서,상기 카세트 본체의 개방구의 둘레를 따라서 씰링재가더 형성된기판 수납용 카세트. [청구항 27] 제 1 항에 있어서,상기 카세트 본체의 상단부에는 카세트를 이동시키는 oht 그립더 설치된기판 수납용 카세트.