싱글 챔버형 ＣｄＳ 증착 장치 document_id 1020110074343

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 상부커버(20)의 일측에 개구부를 형성하고, 상기 개구부에 상기 챔버(c)상에서 증착액이 교반되도록 회전가능하게 교반날개(41)가 구비되며,상기 교반날개(41)를 회전시키는상부교반모터더구비되는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 히팅블록(10)은 저면 외측으로 구비되는 복수의 완충부재(51)에 의해 지지되고,상기 히팅블록(10)의 저면에 상기 히팅블록(10)을 수평면에 대하여 기울어지도록 하는 하부교반부구비하는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,부교반부(50)는,프레임에 구비되는 하부 교반모터(52)와,상기 하부 교반모터(52)와 동력전달수단으로 연결되어 회전하는 회전플레이트(55)와,상기 회전플레이트(55)에 서로 다른 높이로 구비되는 롤러브라켓(56)과,상기 롤러브라켓(56)의 상단에 구비되고, 상기 히팅블록(10)을 저면을 지지하는 교반롤러(57)를 포함하고,서로 다른 높이로 구비되는 교반롤러(57)에 의해서히팅블록하는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 유입포트(30)는 복수의 유입구로 이루어지고,각 유입구에 복수의 증착액 성분이 각각 상기 히팅블록(10)과 상부커버(20)의 내부로 유입되어, 상기 히팅블록(10)과 상부커버(20)의내부혼합되는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 유입포트(30)는,cdso4와 nh4oh의 혼합액이 유입되는 제1 유입구(31),h2o가 유입되는 제2 유입구(32) 및sc(nh2)2가 유입되는제3유입구형성되는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 히팅블록(10)의 둘레 내측에는 상기 히팅블록(10)와 상기 상부커버(20)의 사이로 공급된 증착액이 모이는 드레인홈(13)이 형성되고,상기 드레인홈(13)의 일측에는 모인 증착액을 외부로 배출시키는드레인포트형성되는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 드레인포트(14)는 드레인펌프(61)와 연결되고,상기 드레인펌프(61)는 드레인된 증착액을 다시 상기 히팅블록(10)과 상기 상부커버(20)사이공급되도록하는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 상부커버(20)는,상기 상부커버(20)의 둘레를 형성하는 상부커버 프레임(21)과,상기 상부커버 프레임(21)의 내측에 위치하고, 둘레를 따라 상기 히팅블록(10)의 기판 안착면(11)의 둘레에 밀착되는 실링패킹(24)이 구비되며, 상기 기판 안착면(11)의 상방에 위치하는상부커버패널이루어지는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 상부커버(20)에서,상기 개구부의 둘레를 따라, 상기 기판 안착면(11)보다 작은 면적의 소형 유리기판이 안착되었을 때, 상기 소형 유리기판(s)의 둘레를 밀폐하는소형기판용지그더구비되는것을특징으로 하는싱글 챔버형 cds 증착 장치.