진동편, 진동자, 발진기 및, 전자 기기 document_id 1020110074841

[청구항 1] 실장면을 갖는 기부(基部)와, 상기 기부의 일단부로부터 연이어 설치되며, 제1면과, 당해 제1면에 대향하며 상기 실장면측에 위치하는 제2면을 갖고, 상기 제1면 및 상기 제2면에 대한 법선 방향으로 굴곡 진동을 행하는 진동 아암과, 상기 진동 아암의 상기 제1면 및 상기 제2면 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 형성되고, 제1 금속층, 제2 금속층 및, 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층과의 사이에 배치된 압전체층을 갖는 적층 구조체 를 구비하고, 상기 진동 아암은, 상기 실장면측으로 휘어져 있는 것을 특징으로 하는 진동편 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 진동 아암의 길이를 l, 상기 진동 아암의 두께를 t, 상기 진동 아암의 영률(young's modulus)을 es, 상기 진동 아암의 푸아송 비(poisson's ratio)를 νs, 상기 압전체층의 두께를 d, 상기 압전체층의 잔류 응력을 σ로 했을 때에, 상기 진동 아암의 휨량(δ)은,에 의해지는것을특징으로 하는진동편. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기부의 두께는, 상기 진동 아암의 두께보다도 두꺼운 것특징으로 하는진동편. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 기부는, 상기 실장면에 대향하는 주면(主面)을 갖고,상기 진동 아암은, 상기 실장면과 상기 주면과의 사이의 범위 내에서상기굴곡진동행하는것을특징으로 하는진동편. [청구항 5] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 압전체층은,상기제1면및상기제2면의양쪽형성된것을특징으로 하는진동편. [청구항 8] 제1항 또는 제2항에 기재된 진동편과, 상기 진동편을 내부에 실장한 패키지를 갖는 것을 특징으로 하는 진동자 [청구항 9] 제1항 또는 제2항에 기재된 진동편과, 상기 진동편을 구동하는 전자 부품을 갖는 것을 특징으로 하는 발진기