기판 표면처리용 블레이드 모듈 document_id 1020110079136

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 액제공 모듈은, 길이방향을 따라 형성된 복수의 액공급 홀과, 상기 기판을 향해 형성된 액제공 노즐을 포함하고, 상기 액공급 홀과 상기 액제공 노즐의 사이는 다단 경로구비된기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 액공급 홀에 각각 결합된 복수의 제1공급관들과, 상기 제1공급관들을 연결하는 제2공급관포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 액제공 모듈은, 상기 에칭액 또는 물이 수용되고 상부에서 상기 에칭액 또는 물이 넘쳐 흐르도록 구비된 수용부와, 상기 수용부를 넘쳐 흐르는 에칭액 또는 물을 상기 기판의 표면 방향으로 가이드하도록 상기 수용부와 연결된가이드부를포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 상부면이 일부 개구되도록 형성되어 상기 에칭액 또는 물이 투과되도록 구비된 투과 슬릿더 포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 상부면에 형성되고 상기 투과 슬릿과 연결되며 상기 수용부의 너비 방향 및 외측 방향으로 연장된 복수의 가이드 홈더 포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 수용부는,상기 에칭액 또는 물의 유입구를 포함하고 상기 가이드부와 연결된 하측 수용부;상기 하측 수용부와 연통되고 상부면에 상기 투과 슬릿이 형성된 상측 수용부; 및상기 하측 수용부와 상측 수용부의 사이에 개재되어 상기 하측 수용부와 상측 수용부를 서로 연통시키고, 상기 하측 수용부 및 상측 수용부보다 좁게 구비된 협로포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 8] 제4항에 있어서,상기 수용부는 단면이 사각형으로 형성되고, 상기 수용부는 상면의 전체가 개방되도록 형성된 개방부더 포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 9] 제4항에 있어서,상기 액제공 모듈은, 상기 수용부의 내부에 수평 방향으로 배치되는 완충 격벽더 포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 완충 격벽은 복수의 완충 투과공더 포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 수용부는 액공급관과 연결되고,상기 완충 격벽은 상기 액공급관과의 연결 부분보다 상측배치되는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 12] 제4항에 있어서,상기 가이드부는 수직 하부로 갈수록 좁아지도록 점진적인 경사구비된기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 13] 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 공기분사 모듈은 상기 프레임에 경사방향으로 설치되어 상기 기판을 향해 사선방향으로 액절 공기분사하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 14] 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 프레임은,상기 공기분사 모듈의 양단에 결합되고 각도 조절 슬릿을 구비한 한 쌍의 제1프레임; 및상기 제1프레임들이 결합되는 한 쌍의 제2프레임포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 15] 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2프레임은 상기 제1프레임들이 결합되는 결합부와 상기 결합부와 이격된 지지부를 포함하고, 상기 지지부는 상기 한 쌍의 제2프레임 사이를 연결하는 지지프레임결합된기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 16] 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액제공 모듈은 상기 기판을 향해 에칭액을 제공하는 제1 액제공 모듈과 상기 기판을 향해 물을 제공하는 제2액제공 모듈포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 프레임은 상기 제1액제공 모듈과 제2액제공 모듈을 결합시키는 제3프레임포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈. [청구항 18] 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 공기분사 모듈의 길이방향을 따라 상기 공기분사 모듈에 결합된 복수의 제3공급관과, 상기 제3공급관을 연결하는 제4공급관포함하는기판 표면처리용 블레이드 모듈.