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성막 장치 및 성막 방법 document_id 1020110081634

출원번호
1020110081634
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 로드록실(load lock chamber) 및 제 1 게이트 밸브를 통하여 상기 로드록실에 접속된 반송실 제 2 게이트 밸브를 통하여 상기 반송실에 접속된 기판 가열실; 및 제 3 게이트 밸브를 통하여 상기 반송실에 접속되고 1×10 -10 pa·㎥/초 이하의 리크 레이트를 갖는 성막실을 포함하는, 성막 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,복수의 성막실들을포함하는,성막 장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,복수의 로드록실을포함하는,성막 장치. [청구항 4] 로드록실; 제 1 게이트 밸브를 통하여 상기 로드록실 에 접속된 기판 가열실; 및 제 2 게이트 밸브를 통하여 상기 기판 가열실에 접속되고 1×10 -10 pa·㎥/초 이하의 리크 레이트를 갖는 성막실을 포함하는, 성막 장치 [청구항 5] 로드록실; 제 1 게이트 밸브를 통하여 상기 로드록실 에 접속된 기판 가열실 제 2 게이트 밸브를 통하여 상기 기판 가열실에 접속되고 1×10 -10 pa·㎥/초 이하의 리크 레이트를 갖는 제 1 성막실; 및 제 3 게이트 밸브를 통하여 상기 제 1 성막실에 접속되고 1×10 -10 pa·㎥/초 이하의 리크 레이트를 갖는 제 2 성막실을 포함하는, 성막 장치 [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 기판 가열실은 플라즈마 처리실을겸하는,성막 장치. [청구항 7] 제 4 항에 있어서,상기 기판 가열실은 플라즈마 처리실을겸하는,성막 장치. [청구항 8] 제 5 항에 있어서,상기 기판 가열실은 플라즈마 처리실을겸하는,성막 장치. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 거리는 25㎜이하인,성막 장치. [청구항 13] 제 10 항에 있어서,상기 거리는 25㎜이하인,성막 장치. [청구항 14] 제 11 항에 있어서,상기 거리는 25㎜이하인,성막 장치. [청구항 15] 제 1 항에 있어서,성막 가스 공급원; 및상기 성막 가스 공급원과 상기 성막실 사이에 가스 정제기더 포함하는,성막 장치. [청구항 16] 제 4 항에 있어서,성막 가스 공급원; 및상기 성막 가스 공급원과 상기 성막실 사이에 가스 정제기더 포함하는,성막 장치. [청구항 17] 제 5 항에 있어서,성막 가스 공급원; 및상기 제 1 성막실 및 상기 제 2 성막실 중 적어도 하나와 상기 성막 가스 공급원 사이에 가스 정제기더 포함하는,성막 장치. [청구항 18] 제 15 항에 있어서,상기 가스 정제기와 상기 성막실 사이의 배관의 길이이하인,성막 장치. [청구항 19] 제 16 항에 있어서,상기 가스 정제기와 상기 성막실 사이의 배관의 길이이하인,성막 장치. [청구항 20] 제 17 항에 있어서,상기 제 1 성막실 및 상기 제 2 성막실 중 적어도 하나와 상기 가스 정제기 사이의 배관의 길이는 5m이하인,성막 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1을 기준으로 할 때, 성막실이 제3 게이트 밸브를 통해 접속되는 구성 요소는 무엇이며, 해당 성막실이 갖추어야 하는 리크 레이트의 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    청구항 1을 바탕으로 제3 게이트 밸브를 통해 접속되는 구성 요소와 성막실의 리크 레이트 조건을 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1에서 제3 게이트 밸브와 관련된 문구를 확인한다.

    • 제 3 게이트 밸브를 통하여 상기 반송실에 접속되고 1×10 -10 pa·㎥/초 이하의 리크 레이트를 갖는 성막실
  3. 3근거 선택evidence_selection

    접속 대상인 '반송실'과 리크 레이트 조건인 '1×10 -10 pa·㎥/초 이하'를 근거로 선택한다.

    • 제 3 게이트 밸브를 통하여 상기 반송실에 접속되고 1×10 -10 pa·㎥/초 이하의 리크 레이트를 갖는 성막실
  4. 4논리 통합logical_integration

    제3 게이트 밸브는 반송실에 접속되어 있으며, 해당 경로를 통해 연결된 성막실은 특정 리크 레이트 조건을 만족해야 함을 통합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    성막실이 접속되는 구성 요소는 반송실이며, 리크 레이트 조건은 1×10 -10 pa·㎥/초 이하이다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
성막실이 제3 게이트 밸브를 통해 접속되는 구성 요소는 반송실이며, 해당 성막실이 갖추어야 하는 리크 레이트의 조건은 1×10 -10 pa·㎥/초 이하이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 반송실과 제3 게이트 밸브를 통해 연결되며, 매우 낮은 리크 레이트(1×10 -10 pa·㎥/초 이하)를 유지하는 성막실을 포함하는 성막 장치에 관한 것이다.