기판 이송장치 document_id 1020110093369

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판 파지유닛은,상기 이송유닛에 결합되되, 상기 기판의 일면에 밀착 및 밀착 해제되는 고정 그리퍼;상기 이송유닛에 결합되되, 상기 기판의 타면에 밀착 및 밀착 해제되는 이동 그리퍼; 및상기 이동 그리퍼가 상기 기판의 타면에 밀착 및 밀착 해제되도록 상기 이동 그리퍼를 상기 고정 그리퍼에 대해 상대 운동 가능하게 하는이동그리퍼작동부를포함하는기판 이송장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 이동 그리퍼 작동부는,일단부가 상기 이송유닛에 결합되고, 타단부가 상기 이동 그리퍼에 삽입 결합되어 상기 이동 그리퍼의 슬라이딩 운동을 안내하는 제1 가이드부재;일단부가 상기 이동 그리퍼에 결합되되, 타단부에 외력이 가해지는 경우에 상기 이동 그리퍼를 상기 제1 가이드부재의 길이 방향을 따라 이동시켜 상기 이동 그리퍼를 상기 기판에서 밀착 해제시키는 제2 가이드부재; 및상기 제1 가이드부재의 외주면에 삽입되되, 상기 이동 그리퍼를 탄력지지하여 상기 이동 그리퍼가 상기 기판에 밀착되게 하는 탄성부재포함하는기판 이송장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 제1 가이드부재는 상기 이동 그리퍼에 마련된 제1 관통홀에 관통 삽입되고,상기 제2 가이드부재는 상기 이동 그리퍼와 일체로 형성되어 상기 고정 그리퍼에 마련된 제2 관통홀에관통삽입되는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 이동 그리퍼 작동부는,상기 이동 그리퍼의 상기 탄성부재가 밀착되는 면에 설치된 부싱더 포함하는기판 이송장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 이동 그리퍼 작동부는,상기 제2 가이드부재에 인접하게 설치되되, 상기 제2 가이드부재의 타단부에 외력을 가하는 가압부재더 포함하는기판 이송장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 가압부재는에어실린더포함하는특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 8] 제2항에 있어서,상기 고정그리퍼 및 상기 이동 그리퍼의 상기 기판과 밀착되는 면에는고무재질의클램핑패드마련되는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 이송유닛은,상기 기판 파지유닛이 결합되는 본체부;상기 본체부에 결합되되, 상기 궤도 레일에 접촉하여 회전하는 구동롤러; 및상기 본체부에 결합되되, 상기 본체부가 상기 궤도 레일에서 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지용 롤러포함하는기판 이송장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 구동롤러는 상기 본체부의 양측부에 쌍을 이루도록 복수개 설치되고,상기 복수의 구동롤러는 상기 본체부의 양측부에 각각 배치된 상기 궤도 레일에 형성된 가이드 홈부에 삽입되어회전하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 이탈방지용 롤러는 상기 본체부의 양측부에 쌍을 이루도록 복수개 설치되고,상기 복수의 이탈방지용 롤러는 상기 구동롤러가 상기 가이드 홈부에서 이탈되는 것을 방지하도록 상기 궤도 레일의 내측면에 밀착되어회전하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 추진유닛은,상기 본체부에 마련된 제1 자성체; 및상기 제1 자성체 상부에 마련되되, 상기 제1 자성체와 상호 작용하여 상기 본체부를 이송시키는 전자기력에 의한 추진력을 발생시키도록 상기 궤도 레일의 길이방향을 따라 길게 배치된 제2 자성체포함하는기판 이송장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 제2 자성체는 상기 본체부의 양측부에 각각 배치된 상기 궤도 레일 사이 및 상기 궤도 레일의 길이방향을 따라 상호 이격되게 배치되고,상기 제1 자성체는 상기 제2 자성체의 위치에 대응되게 상기 본체부나란히정렬된것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 제1 자성체는 영구자석이고,상기제2자성체전자석인것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 이송유닛에는 적어도 하나 이상의 상기 기판 파지유닛이 결합되고,상기 기판 파지유닛은상기궤도레일의하부위치된것을특징으로 하는기판 이송장치.