기판 처리 장치 document_id 1020110093580

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 직교 단면은, 상기 직교 단면에 있어 가장 아래에 위치하고 있는 저부,상기 측부로부터 상기 저부까지 계속 하강하고 있는하측경사부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 직교 단면은, 상기 직교 단면에 있어 가장 측방에 위치하고 있는 좌우 한 쌍의 측단을 포함하고,일방의 측단은, 상기 정부를 포함하며, 상기 측부는, 타방의 측단을 포함하며,상기 상측 경사부는, 상기 일방의 측단으로부터상기타방의측단계속하강하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 노즐 아암의 하부로 향하여 기체를 토출하는제1기체노즐더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 제 1 기체 노즐은, 상기 제 1 기체 노즐로부터 토출된 기체가 상기 노즐 아암을 따라서 상기 노즐 아암의 긴방향구성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 6] 제 4 항에 있어서,상기 제 1 기체 노즐은, 상기 노즐 아암의 측방으로부터 상기 노즐 아암의 하부로 향하여 기체를 토출하도록 구성되어 있고,상기 상측 경사부는, 상기 제 1 기체 노즐로부터의 기체가 분출되는 측에 향해하강하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 7] 제 4 항에 있어서,상기 노즐 아암은, 소수성 재료에 의해서형성되고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 8] 제 4 항에 있어서,상기 노즐 아암의 상면으로 향해서 순수를 토출하는순수노즐더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 노즐은, 상기 노즐 아암보다 하방에 배치된 노즐 하부를 포함하고,상기 기판 처리 장치는, 상기 노즐 하부로 향해서 기체를 토출하는제2기체노즐더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 노즐 아암은, 상기 노즐을 유지하는 선단부와 기단부를 포함하는 봉 형상의 부재이며,상기 제 1 기체 노즐은, 상기 제 1 기체 노즐로부터 토출된 기체가 상기 기단부로부터 상기 선단부로 향하는 방향으로 흐르도록 구성되며,상기 제 2 기체 노즐은, 상기 제 2 기체 노즐로부터 토출된 기체가 상기 기단부로부터 상기 선단부로 향하는방향구성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 11] 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,기판을 유지하는 기판 유지 수단과상기 노즐이 상기 기판 유지 수단에 유지된 기판의 상방에 위치하고 있는 처리 위치, 상기 노즐이 상기 기판 유지 수단에 유지된 기판의 상방으로부터 퇴피하고 있는 대기 위치와의 사이에 상기 노즐 아암을 이동시키는 이동 수단을 더 포함하며,상기 제 1 기체 노즐은, 상기 대기 위치에 위치하고 있는 상기 노즐 아암의 하부로 향해서 기체를 토출하도록구성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 노즐 아암의 상기 적어도 일부는, 상기 처리 위치에 있어 상기 기판 유지 수단에 유지된 기판의 상방에 위치하고 있는부분포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.