기판 이송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 이를 이용하는 기판 처리 방법 document_id 1020110096493

[청구항 1] 기판의 제1 면과 접촉하고 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하는 복수의 제1 이송 롤들; 및 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하고, 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치되는 복수의 제2 이송 롤들을 포함하는 기판 이송 유닛 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판은 플렉서블 기판이며,상기 제1 이송 롤들 및 상기 제2 이송 롤들은 곡선을 따라배치되는것을특징으로 하는기판 이송 유닛. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기제1 및 제2 이송 롤들의 상기 중심부는 금속을 포함하고,상기 제1 및 제2 이송 롤들의 상기 주변부는절연물질포함하는것을특징으로 하는기판 이송 유닛. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 전하에 의해 대전되지 않는복수의제3이송롤들더포함하는것을특징으로 하는기판 이송 유닛. [청구항 5] 제1항에 있어서,하나의 상기 제1 이송 롤 및 하나의 상기 제2 이송 롤은 반복적으로교대배치되는것을특징으로 하는기판 이송 유닛. [청구항 6] 제1항에 있어서,개의 상기 제1 이송 롤들및 두 개의 상기 제2 이송 롤들은 반복적으로교대배치되는것을특징으로 하는기판 이송 유닛. [청구항 7] 기판을 공급하는 공급 롤을 포함하는 공급부 상기 공급부에 인접하여 배치되고 상기 기판을 공급하기 위한 구동력을 제공하는 공급 구동부 상기 기판에 패턴을 형성하는 패터닝부 상기 기판을 회수하기 위한 구동력을 제공하는 회수 구동부 상기 회수 구동부에 인접하여 배치되고 상기 기판을 회수하는 회수 롤을 포함하는 회수부를 포함하고, 상기 공급 구동부, 상기 패터닝부, 상기 회수 구동부 중 적어도 어느 하나는 상기 기판의 제1 면과 접촉하고 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하는 복수의 제1 이송 롤들 및 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하며 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치되는 복수의 제2 이송 롤들을 포함하는 기판 처리 장치 [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 기판은 플렉서블 기판이며,상기 제1 이송 롤들 및 상기 제2 이송 롤들은 곡선을 따라배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기제1 및 제2 이송 롤들의 상기 중심부는 금속을 포함하고,상기 제1 및 제2 이송 롤들의 상기 주변부는절연물질포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 전하에 의해 대전되지 않는복수의제3이송롤들더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 11] 제7항에 있어서,상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 패턴이 형성된 상기 기판을 이송시켜 공정 시간을 조절하는 어큐물레이터더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,큐물레이터는 곡선을 따라 배치되는상기제1이송롤들및상기제2이송롤들포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,큐물레이터 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 기판에 제2 패턴을 형성하는 제2 패터닝부 및 상기 제2 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 제2 패턴이 형성된 기판을 이송시켜 공정 시간을 조절하는 제2 어큐물레이터더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 기판이 상기 어큐물레이터를 통과하는 데에 소요되는 시간은 상기 기판이 상기 제2 어큐물레이터를 통과하는 데에 소요되는시간상이한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 15] 제7항에 있어서,상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 기판 상에 형성된 패턴을 건조하는건조부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 16] 제7항에 있어서,상기 기판의 장력을 센싱하는 센싱 롤을 포함하고 상기 기판의 장력을 일정하게 유지하기 위한 장력 피드백 신호를 생성하는장력센싱부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 17] 제7항에 있어서,상기 공급 구동부, 상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부는진공상태동작하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.