문맥 (context)
[청구항 2]
메인디스크와
상기 메인디스크 상에 장착되어 회전하며, 웨이퍼를 지지하는 스팟 페이싱부로부터 돌출된 외주부를 갖는 새틀라이트와
상기 새틀라이트의 외주부의 상면을 덮도록 장착되는 링커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 새틀라이트를 제외한 영역을 덮도록 형성되는 복수개로 분할된 커버부재를 포함하되, 상기 커버부재와 높이는 상기 링커버의 높이와 동일한높이인것을특징으로 하는서셉터.
[청구항 4]
제 2항에 있어서,상기 링커버는 상기 링커버의 외측에서 하향 돌출되는 외측 걸림턱형성되는것을특징으로 하는서셉터.
[청구항 5]
제 2항에 있어서,상기 링커버는 상기 링커버의 내측에서 하향 돌출되는 내측 걸림턱형성되는것을특징으로 하는서셉터.
[청구항 6]
제 2항에 있어서,상기 새틀라이트의 외주부 또는 상기 링커버에 형성된 돌기와;상기 새틀라이트의 외주부 또는 상기 링커버에 상기 돌기에 대응하여 상기 돌기가 수용되는돌기홈포함하는것을특징으로 하는서셉터
[청구항 7]
제 2항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 링커버는 퀄츠로제작되는것을특징으로 하는서셉터.
[청구항 8]
제 2항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 링커버는 그라파이트 재질의 몸체와 상기 몸체의 표면에 코팅된 sic코팅층형성되는것을특징으로 하는서셉터.
[청구항 9]
제 2항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 링커버는 sic소결체형성되는것을특징으로 하는서셉터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
서셉터의 구성 요소 중 링커버를 제외한 영역을 덮기 위해 사용되는 커버부재의 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation서셉터 구성 요소 중 링커버를 제외한 영역을 덮는 커버부재의 특징을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 링커버를 제외한 영역(새틀라이트를 제외한 영역)을 덮는 커버부재에 대한 정보를 확인한다.
- 상기 새틀라이트를 제외한 영역을 덮도록 형성되는 복수개로 분할된 커버부재
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3근거 선택
evidence_selection커버부재의 형태(복수개로 분할됨)와 높이(링커버와 동일함)에 관한 구절을 선택한다.
- 복수개로 분할된 커버부재를 포함하되, 상기 커버부재와 높이는 상기 링커버의 높이와 동일한높이인것
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4논리 통합
logical_integration커버부재는 복수개로 분할되어 있으며, 그 높이는 링커버의 높이와 동일하다는 두 가지 특징을 결합한다.
- 복수개로 분할된 커버부재를 포함하되, 상기 커버부재와 높이는 상기 링커버의 높이와 동일한높이인것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 커버부재가 복수개로 분할되어 있고 링커버와 높이가 동일하다는 점을 정리한다.
- 복수개로 분할된 커버부재를 포함하되, 상기 커버부재와 높이는 상기 링커버의 높이와 동일한높이인것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 복수개로 분할된 커버부재를 포함하되, 상기 커버부재와 높이는 상기 링커버의 높이와 동일한높이인것
최종 답변 (final_answer)
복수개로 분할된 커버부재를 포함하며, 상기 커버부재의 높이는 상기 링커버의 높이와 동일한 높이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터의 구성 중 링커버 외 영역을 보호하는 커버부재는 복수개로 분할된 형태를 가지며, 링커버와 동일한 높이를 유지하도록 설계되었다.