문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 홀은 포토리소그래피와 에칭을 통해 형성되고,상기 홀은 상기 탄소나노튜브에 의한 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이의 직접적인연결제한하는것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이의 영역을 제외한 나머지 부분의 상기 탄소나노튜브의 제거는 포토리소그라피를 통한 산소플라즈마 에칭, 산소자외선 에칭 또는 용액 에칭 중 어느하나이용하는것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브 네트워크 채널은, 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 패턴을 형성하고 탄소나노튜브를 분산하여 리프트 오프하는방식형성하는것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 존재하는 탄소나노튜브는 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 자기조립하는 분자 접착제를 도포하여고정화한것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 기판은 산화 실리콘, 질화 실리콘, 사파이어 및 폴리머를 포함하는 군으로부터 선택되는절연성재질기판인것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브 네트워크 층은 촉매를 스핀코팅한 후 열처리를 통해형성되는것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 촉매는 금속이온을 포함하는 단백질로, 2 내지 10nm의 직경을 가지는나노파티클인것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 열처리는 800℃ 내지 1000℃의 온도에서10내지20분동안수행되는것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브 네트워크 층은 미리 형성된 탄소나노튜브를 액체에 분산시켜 스핀코팅을 통해상온형성되는것을특징으로 하는탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
탄소나노튜브 네트워크 채널을 형성할 때, 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 탄소나노튜브를 고정화하기 위해 사용하는 방법은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation탄소나노튜브 네트워크 채널 형성 시, 소오스 전극과 드레인 전극 사이에서 탄소나노튜브를 고정화하는 구체적인 방법을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 존재하는 탄소나노튜브의 고정화 방법에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 존재하는 탄소나노튜브는 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 자기조립하는 분자 접착제를 도포하여고정화한것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '자기조립하는 분자 접착제를 도포하여 고정화' 구절을 선택한다.
- 자기조립하는 분자 접착제를 도포하여고정화
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4논리 통합
logical_integration청구항 5에 따르면, 전극 사이의 탄소나노튜브를 고정하기 위해 자기조립하는 분자 접착제를 도포하는 공정이 사용됨을 알 수 있다.
- 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 자기조립하는 분자 접착제를 도포하여고정화한것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '자기조립하는 분자 접착제를 도포하는 방법'을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 자기조립하는 분자 접착제를 도포하여고정화
최종 답변 (final_answer)
자기조립하는 분자 접착제를 도포하여 고정화
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 탄소나노튜브 네트워크 트랜지스터 소자 제조 시, 소오스 및 드레인 전극 사이의 탄소나노튜브를 자기조립 분자 접착제를 통해 고정화하는 기술을 포함한다.