반도체 제조장치용 부산물 포집 장치 document_id 1020110100535

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 포집 유닛은 트랩 플레이트; 상기 트랩 플레이트의 테두리 부위에 형성되어 상기 트랩 플레이트가 그 내부로 끼워져 고정되는 지지 프레임; 및 상기 트랩 플레이트 내부에 위치하고, 내부가 중공형이며 수평방향을 따라 지그재그로 절곡되는냉각배관포함하는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 트랩 플레이트는 메쉬구조가지는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 제1 챔버는 그 내측부에 상기 포집 유닛의 대응되는 위치에 상기 지지 프레임이 끼워져 결합되도록 형성된적어도하나이상의결합홈더포함하는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 제1 챔버는 상기 제2 챔버와의 결합영역 중 하부영역에는 상기 제1 챔버에서 상기 제2 챔버로 상기 폐가스가 유입되도록 상기 결합영역을 관통하는적어도하나의유입홀형성되는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 필터링 유닛은 복수 개로 구비되고, 상기 복수 개의 필터링 유닛은 각각 그외경의크기형성되는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 필터링 유닛은 일측부와 상기 일측부의 반대측인 타측부가 개방된 원통형상으로 형성된 몸체부; 및상기 몸체부의 외주연에 형성되는필터포함하는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 몸체부의 일측부는 상기 제2 챔버의 일측단과 소정간격으로 이격되어형성되는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 몸체부의 일측부는 상기 필터의 측부 형상에 대응되는 평판의 링 형상으로 형성되는제1지지바결합되어있는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 몸체부의 타측부는 상기 필터의 측부 형상에 대응되는 평판의 링 형상으로 형성되는제2지지바결합되는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제2 지지바는 상기 제2 챔버의 내측에 상기 필터에 대응되는 영역에 형성되어 상기 몸체부의 타측부를 상기 제2 챔버의 타측단에 고정시키는지지플레이트결합되는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 부산물 포집 장치.