습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호를 위한 캐리어장치 document_id 1020110110550

[청구항 1] 웨이퍼 기판홀더에 있어서, 진공통로 및 에어통로가 형성된 연결부; 및 상기 연결부의 진공통로 및 에어통로에 각각 연통되는 진공홀 및 에어홀이 상부면에 형성된 캐리어몸체 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호를 위한 캐리어장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 진공통로및 에어통로는 별개로 이격되게 형성되는 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 진공홀 및 상기 에어홀은 상기 캐리어 상부면에 적어도 1개 이상 구비되며, 상기 진공홀은 상기 캐리어의 상부면 중앙측에 형성하고,상기 에어홀은 상기 캐리어의 상부면 테두리측에 형성하는 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 진공홀은 점원형, 방사선형, 동심원형, 환형, 사각환형, 다각환형, 격자무늬형, 사선형, 줄무늬형 그루브형상에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 에어홀은 점원형, 점선환형, 또는 연속환형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치. [청구항 6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공홀 외측과 상기 에어홀 사이에는 환형의 진공실링부재를 구비하며,상기 에어홀 외측으로는 상기 캐리어에 탑재되는 웨이퍼의 테두리 에지에 대응되는 위치에 환형의 에어실링부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 진공실링부재가 위치하는 상기 캐리어몸체 상부면에는 환형의 제1 그루브가 형성되고, 상기 진공실링부재는 상기 제1 그루브내에 구비되고, 상기 에어실링부재가 위치하는 상기 캐리어몸체 상부면에는 환형의 제2 그루브가 형성되고, 상기 에어실링부재는 상기 제2 그루브내에 구비되는 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 제2 그루브 저면에는 다수개의 제2 에어홀을 형성하고, 상기 제2 에어홀 하부에 대응되는 위치의 상기 캐리어몸체내에는 상기 제2 에어홀과 연통되며 에어를 관통시키는 에어관통부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 에어관통부는 상기 에어통로와 연통되도록 구비되어 일체로 제어되거나 또는 별개로 구비된 후 상기 에어통로와 별개로 제어될 수 있는 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치. [청구항 10] 웨이퍼 기판홀더에 있어서, 에어통로가 형성된 연결부 탑재되는 웨이퍼에 대응되는 직경의 오목부가 상부면에 형성되고, 상기 연결부의 에어통로에 연통되는 에어홀이 오목부 저면에 다수개 형성되며, 상기 상부면 테두리를 따라 내직경의 치수가 상기 오목부의 직경보다 작은 테두리덮개가 환형으로 형성되어 고정결합되고, 상기 테두리덮개의 내측테두리 하부면에는 에어실링부재가 구비된 캐리어몸체; 및 상기 오목부에 구비된 중간플레이트 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호를 위한 캐리어장치 [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 중간플레이트는 상기 에어홀을 통해 공급되는 에어에 의해 상방향으로 부상하며, 상기 부상하는 중간플레이트의 힘에 의해 탑재된 웨이퍼는 상방향으로 밀리게 되는 것을 특징으로 하는 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호위한캐리어장치.