문맥 (context)
[청구항 1]
챔버;
상기 챔버 내에 수용되어 기판을 수용하는 서셉터
상기 서셉터와 연결되고, 상기 기판에 박막을 형성하기 위한 소스 기체를 상기 서셉터 내부로 유입하는 소스 기체 라인
상기 소스 기체 라인을 가열하는 제 1 가열 부재; 및
상기 소스 기체 라인 및 상기 서셉터를 가열하는 제 2 가열 부재를 포함하는 증착 장치
[청구항 2]
제 1항에 있어서,셉터는 탄화규소(sic) 또는 흑연(c)을 포함하고,상기 제 1 가열 부재는 탄화규소(sic) 또는 흑연포함하는증착 장치.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 제 1 가열 부재는 서셉터 내부에 위치하고, 상기 소스 기체 라인의 외부면감싸는증착 장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 제 1 가열 부재 및 제 2 가열 부재에 의해 가열되는 소스 기체 라인의 온도는 1300℃ 내지인증착 장치.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 챔버는 상기 챔버의 외주면을 감싸는 제 2 가열 부재를 포함하고,상기 제 1 가열 부재와 상기 서셉터 외부에 위치하는상기제2가열부재서로중첩되어배치되는증착 장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 소스 기체 라인에 상기 소스 기체를 공급하는 소스 기체 공급부를 포함하고,상기 소스 기체 공급부는 규소 및 탄소의 화합물수용하는증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증착 장치에서 제 1 가열 부재와 제 2 가열 부재가 각각 가열하는 대상은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation증착 장치 내의 제 1 가열 부재와 제 2 가열 부재가 각각 가열하는 대상을 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제 1 가열 부재와 제 2 가열 부재의 기능을 설명하는 문구를 추출한다.
- 상기 소스 기체 라인을 가열하는 제 1 가열 부재; 및 상기 소스 기체 라인 및 상기 서셉터를 가열하는 제 2 가열 부재
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3근거 선택
evidence_selection제 1 가열 부재의 가열 대상인 '소스 기체 라인'과 제 2 가열 부재의 가열 대상인 '소스 기체 라인 및 서셉터'를 선택한다.
- 상기 소스 기체 라인을 가열하는 제 1 가열 부재; 및 상기 소스 기체 라인 및 상기 서셉터를 가열하는 제 2 가열 부재
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4논리 통합
logical_integration제 1 가열 부재는 소스 기체 라인만을 가열하고, 제 2 가열 부재는 소스 기체 라인과 서셉터를 모두 가열함을 결합한다.
- 상기 소스 기체 라인을 가열하는 제 1 가열 부재; 및 상기 소스 기체 라인 및 상기 서셉터를 가열하는 제 2 가열 부재
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 제 1 가열 부재는 소스 기체 라인을, 제 2 가열 부재는 소스 기체 라인 및 서셉터를 가열한다고 정리한다.
- 상기 소스 기체 라인을 가열하는 제 1 가열 부재; 및 상기 소스 기체 라인 및 상기 서셉터를 가열하는 제 2 가열 부재
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 소스 기체 라인을 가열하는 제 1 가열 부재; 및 상기 소스 기체 라인 및 상기 서셉터를 가열하는 제 2 가열 부재
최종 답변 (final_answer)
제 1 가열 부재는 소스 기체 라인을 가열하고, 제 2 가열 부재는 소스 기체 라인 및 서셉터를 가열한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제 1 가열 부재와 제 2 가열 부재를 분리하여 소스 기체 라인과 서셉터를 각각 또는 중첩하여 가열함으로써 증착 공정의 온도를 제어하는 기술에 관한 것이다.