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플라즈마 처리장치 document_id 1020110119559

출원번호
1020110119559
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 기판을 지지하는 기판 지지대 상기 기판 지지대 상부에 상기 기판 지지대와 마주보도록 배치되고, 하부를 향해 가스를 분사하며, 외부로부터 인가되는 전기적 파워를 이용하여 상기 가스를 플라즈마로 생성시키는 플라즈마 발생전극; 및 상기 기판 지지대 및 상기 플라즈마 발생전극을 수용하고, 상부를 향해서 잔류가스를 배기시키는 배기구가 형성된 챔버를 포함하고, 상기 플라즈마 발생전극은, 서로 나란히 배치되고, 다수의 가스 분사홀을 포함하는 파이프 형상의 다수의 선형 전극부재 상기 선형 전극부재에 상기 가스를 공급하는 가스 저장부; 및 상기 선형 전극부재와 상기 가스 저장부를 연결시키며, 그 내부가, 입구단으로부터 중앙부로 지름이 감소하고, 상기 중앙부로부터 출구단으로 지름이 증가하는 모래시계 형상의 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 가스는 상기 다수의 가스 분사홀을 통해서 분사되고, 상기 잔류가스는 상기 선형 전극부재 사이의 공간을 통해서상부배출되는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 플라즈마 발생전극 상부에 배치된배플더포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 배플nan은다수의홀포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 배플은 서로 나란하게 형성된 다수의 슬릿을 포함하고, 상기 배플은 상기 슬릿의 연장방향이 상기 선형 전극부재의 길이방향과 서로 상이하며, 상기 선형 전극부재에 접촉되도록배치된것을특징으로 하는플라즈마 처리장치. [청구항 7] 제2항에 있어서,상기 플라즈마 발생전극은,내부를 통해서 상기 가스를 상기 가스 저장부에 공급하고, 외부로부터 인가되는 상기 전기적 파워가 동일한 길이를 통해서 연결되도록 상기 가스 저장부의 다수 급전부에 연결된파이프구조체더포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 다수 급전부의 수는 2n(n은 2이상의 자연수)이고,상기 파이프 구조체는, 상기 다수의 급전부들 중 2개를 연결하기 위한 2n-1개의 제1 파이프들, 및 상기 제1 파이프들을 연결하는 복수의 제2 파이프들을 포함하고,상기 제1 파이프들은 서로 이웃하지 않는급전부들연결하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 배기구는,중앙부배치된것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리장치에서 가스 저장부와 선형 전극부재를 연결하는 연결부의 형상과 지름 변화 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    플라즈마 처리장치 내 가스 저장부와 선형 전극부재를 연결하는 연결부의 형상 및 지름 변화 특징을 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1에서 가스 저장부와 선형 전극부재를 연결하는 연결부에 대한 설명을 확인한다.

    • 상기 선형 전극부재와 상기 가스 저장부를 연결시키며, 그 내부가, 입구단으로부터 중앙부로 지름이 감소하고, 상기 중앙부로부터 출구단으로 지름이 증가하는 모래시계 형상의 연결부
  3. 3근거 선택evidence_selection

    연결부의 형상인 '모래시계 형상'과 지름 변화인 '입구단으로부터 중앙부로 지름이 감소하고, 상기 중앙부로부터 출구단으로 지름이 증가'하는 구절을 선택한다.

    • 입구단으로부터 중앙부로 지름이 감소하고, 상기 중앙부로부터 출구단으로 지름이 증가하는 모래시계 형상의 연결부
  4. 4논리 통합logical_integration

    연결부의 형상은 모래시계 형상이며, 지름은 입구단에서 중앙부로 갈수록 감소하고 중앙부에서 출구단으로 갈수록 증가하는 구조임을 통합한다.

    • 입구단으로부터 중앙부로 지름이 감소하고, 상기 중앙부로부터 출구단으로 지름이 증가하는 모래시계 형상의 연결부
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 답변으로 연결부의 형상은 모래시계 형상이며, 지름은 입구단에서 중앙부로 감소하고 중앙부에서 출구단으로 증가한다고 정리한다.

    • 입구단으로부터 중앙부로 지름이 감소하고, 상기 중앙부로부터 출구단으로 지름이 증가하는 모래시계 형상의 연결부
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

    • 입구단으로부터 중앙부로 지름이 감소하고, 상기 중앙부로부터 출구단으로 지름이 증가하는 모래시계 형상의 연결부
최종 답변 (final_answer)
연결부의 형상은 모래시계 형상이며, 그 내부의 지름은 입구단으로부터 중앙부로 지름이 감소하고, 상기 중앙부로부터 출구단으로 지름이 증가하는 특징을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 저장부와 선형 전극부재를 연결하는 연결부를 모래시계 형상으로 설계하여, 입구단에서 중앙부로 갈수록 지름이 줄어들고 중앙부에서 출구단으로 갈수록 지름이 늘어나는 구조를 가진다.