ＯＬＥＤ패널의 봉지장치 document_id 1020110125701

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 보호필름 박리챔버 내에 수용되며, 상기 정전척 유닛이 상기 메탈시트를 대기압 하에서 흡착 지지하는 경우, 상기 정전척 유닛의 흡착력을 보조하도록 상기 메탈시트를 진공흡착하는흡착보조유닛더포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 정전척 유닛은,상기 메탈시트를 정전기력에 의해 흡착 지지하는 정전척;상기 정전척에 연결되며, 복수의 관절이 굽혀지거나 펴지며 상기 정전척을 이송시키는 다관절 암; 및상기 다관절 암을 회전시키거나 승하강시키는정전척구동모터포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 정전척은 일 측에 상기 흡착 보조유닛의 일부가 삽입되는복수의흡착홀마련되는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 흡착 보조유닛은,상기 흡착홀에 삽입되는 복수의 흡착노즐;상기 흡착노즐을 승하강시키는 승하강 구동부; 및상기 흡착노즐에 연결되어 진공압을 제공하는진공펌프라인포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 흡착노즐은 하부로 갈수록 직경이 작아지는원추형마련되는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 흡착노즐의 하단부는 유연성재질마련되는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 보호필름이 제거된 상기 메탈시트와 상기 oled패널을 진공 분위기에서 합착하여 봉지하는 봉지챔버;상기 정전척 유닛을 수용하며, 상기 보호필름 박리챔버와 상기 봉지챔버 사이에 배치되어 상기 보호필름 박리챔버로부터 이송된 상기 메탈시트가 인입되면 상기 봉지챔버와 같은 진공상태로 전환되는로드락 챔버더포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 보호필름 박리챔버 내에 마련되며, 상기 보호필름이 상기 메탈시트로부터 박리된 후 상기 메탈시트의 가장자리 영역에 플라즈마 가스를 조사하여 상기 메탈시트와 상기 oled패널 사이에 개재되는 실런트가 용이하게 상기 메탈시트에 부착될 수 있도록 하는 활성화 영역을 형성하는플라즈마발생기더포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는,사각의 고리형상으로 마련되며, 내부에 복수의 분사노즐이 형성되는 몸체;상기 복수의 분사노즐 양측에 대향하여 마련되며, 외부로부터 인가되는 고전압에 의해 상기 분사노즐을 통과하는 방전가스를 플라즈마로 변환시키는 전극; 및상기 분사노즐에 방전가스를 공급하는방전가스 공급부포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는,상기 메탈시트의 상기 활성화 영역의 내측 하부에 상기 메탈시트와 비접촉 상태로 마련되어, 상기 활성화 영역 내측으로 상기 플라즈마 가스가 진입하는 것을 막는비접촉마스크포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 비접촉 마스크는, 상기 메탈시트의 상기 활성화 영역에 인접한 쪽에 형성되어, 상기 활성화 영역 내측으로 진입하는 상기 플라즈마 가스를 불어내는블로우홀마련되는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 비접촉 마스크는, 상기 메탈시트의 상기 활성화 영역에 인접한 쪽에 형성되어, 상기 활성화 영역 내측으로 진입하는 상기 플라즈마 가스를 흡입하는석션홀마련되는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 14] 제9항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는,상기 메탈시트 하부의 상기 활성화 영역의 외측에 마련되어, 상기 활성화 영역으로 조사되는 상기 플라즈마 가스의 외측 영역을 불어냄으로써 상기 플라즈마 가스의 일부가 상기 활성화 영역의 내측으로 진입하는 것을 막는블로우홀부재포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 15] 제9항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는,상기 메탈시트 하부의 상기 활성화 영역의 외측에 마련되어, 상기 활성화 영역으로 조사되는 상기 플라즈마 가스를 흡입함으로써 상기 플라즈마 가스의 일부가 상기 활성화 영역의 내측으로 진입하는 것을 막는석션홀부재포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 16] 제8항에 있어서,상기 봉지챔버는,상기 oled패널이 안착되는 패널 스테이지;상기 oled패널과 상기 정전척 유닛에 의해 이송된 상기 메탈시트를 정렬시키는 얼라인 유닛; 및상기 oled패널과 상기 메탈시트를 합착시키는프레스유닛포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 패널 스테이지의 내부에 마련되며, 상기 프레스 유닛에 의해 합착된 상기 oled패널과 상기 메탈시트 사이에 개재된 실런트를 경화시키는 led경화유닛포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기led 경화유닛은,상기 실런트에 자외선을 조사하는 led 램프;상기 led 램프의 상부에 마련되며, 상기 led램프가 설치된 공간과 상기 스테이지 상부공간 사이를 실링하는 석영창; 및상기 led 램프가 설치된 공간이 대기압상태로 유지되도록 상기 led 램프가 설치된 공간과 상기 봉지챔버의 외부를 연결하는대기압관포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치.