ＯＬＥＤ패널의 봉지장치 document_id 1020110125702

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기led 경화유닛은,상기 대기압 공간에 마련되어 상기 실런트에 자외선을 조사하는 led 램프;상기 led 램프로부터 조사되는 자외선이 통과하도록 상기 led 램프의 상부에 마련되며, 진공 상태로 유지되는 상기 패널 스테이지의 상부공간과 상기 대기압 공간 사이를 실링하는 석영창; 및상기 대기압 공간이 대기압 상태로 유지되도록 상기 대기압 공간과 상기 패널 스테이지의 외부를 연결하는대기압관포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기led 램프는사각의고리 형태배치되는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 대기압관은,상기 led 램프의 외측을 따라 사각의 고리 형태로 배치되며, 말단부가 상기 패널 스테이지의 외부로 연결되는 메인관; 및상기 메인관과 상기 대기압 공간을 연결하는보조관포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기oled패널을 봉지하는 상기 메탈시트로부터 보호필름을 박리하는 보호필름 박리챔버; 및상기 패널 스테이지를 수용하며, 상기 보호필름이 박리된 상기 메탈시트와 상기 oled패널을 진공 분위기에서 합착하여 봉지하는 진공공간이 마련되는봉지챔버더포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 보호필름 박리챔버와 상기 봉지챔버 사이에 배치되어 상기 보호필름 박리챔버로부터 이송된 상기 메탈시트가 인입되면 진공 상태로 전환되는로드락 챔버더포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 로드락 챔버에 수용되며, 상기 메탈시트로부터 상기 보호필름을 박리할 때 상기 메탈시트를 정전기력에 의해 흡착 지지하고, 상기 보호필름이 제거된 상기 메탈시트를 상기 봉지챔버로 이송하는정전척유닛더포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 정전척 유닛은,상기 메탈시트를 정전기력에 의해 흡착 지지하며, 일측에 복수의 흡착홀이 마련된 정전척;상기 정전척에 연결되며, 복수의 관절이 굽혀지거나 펴지며 상기 정전척을 이송시키는 다관절 암; 및상기 다관절 암을 회전시키거나 승하강시키는정전척구동모터포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 보호필름 박리챔버 내에 마련되며, 상기 정전척 유닛이 상기 메탈시트를 흡착 지지한 상태에서 상기 보호필름이 상기 메탈시트로부터 박리될 때, 상기 정전척 유닛의 흡착력을 보조하도록 상기 메탈시트를 진공흡착하는흡착보조유닛더포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 흡착 보조유닛은,상기 복수의 흡착홀에 삽입되는 복수의 흡착노즐;상기 흡착노즐을 승하강시키는 승하강 구동부; 및상기 흡착노즐에 연결되어 진공압을 제공하는진공펌프라인포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 11] 제5항에 있어서,상기 보호필름 박리챔버 내에 마련되며, 상기 보호필름이 상기 메탈시트로부터 박리된 후, 상기 메탈시트의 가장자리 영역에 플라즈마 가스를 조사하여 상기 oled패널 사이에 개재되는 실런트가 용이하게 부착될 수 있도록 하는 활성화 영역을 형성하는플라즈마발생기더포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는,사각의 고리형상으로 마련되며, 내부에 복수의 분사노즐이 형성되는 몸체;상기 복수의 분사노즐 양측에 대향하여 마련되며, 외부로부터 인가되는 고전압에 의해 상기 분사노즐을 통과하는 방전가스를 플라즈마로 변환시키는 전극; 및상기 분사노즐에 방전가스를 공급하는방전가스 공급부포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는,상기 메탈시트의 상기 활성화 영역의 내측 하부에 상기 메탈시트와 비접촉 상태로 마련되어, 상기 활성화 영역 내측으로 상기 플라즈마 가스가 진입하는 것을 막는비접촉마스크포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치 [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 비접촉 마스크는 상기 메탈시트의 상기 활성화 영역에 인접한 쪽에 형성되되, 상기 비접촉 마스크에는 상기 활성화 영역 내측으로 진입하는 상기 플라즈마 가스를 불어내는블로우홀마련되는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 비접촉 마스크는 상기 메탈시트의 상기 활성화 영역에 인접한 쪽에 형성되되, 상기 비접촉 마스크에는 상기 활성화 영역 내측으로 진입하는 상기 플라즈마 가스를 흡입하는석션홀마련되는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 16] 제11항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는, 상기 메탈시트 하부의 상기 활성화 영역의 외측에 마련되어, 상기 활성화 영역으로 조사되는 상기 플라즈마 가스의 외측 영역을 불어냄으로써 상기 플라즈마 가스의 일부가 상기 활성화 영역의 내측으로 진입하는 것을 막는블로우홀부재포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치. [청구항 17] 제11항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는,상기 메탈시트 하부의 상기 활성화 영역의 외측에 마련되어, 상기 활성화 영역으로 조사되는 상기 플라즈마 가스를 흡입함으로써 상기 플라즈마 가스의 일부가 상기 활성화 영역의 내측으로 진입하는 것을 막는석션홀부재포함하는것을특징으로 하는oled패널의 봉지장치.