문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 가스 분배기는,상부에 방사상으로 형성된 가스 분사홀을 포함하는원통형상갖는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 가스 분배기는, 상기 원통형상의 측면에 형성된 가스 유입구; 및상기 가스 유입구로부터 상기 가스 분배기의 길이방향을 따라서 연장된가스유로더포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 가스 분배기는,상기 가스 유로를 통해서 배출된 가스를 저장하는 가스 저장 공간을 더 포함하고, 상기 가스 저장공간에 저장된 가스가 상기 분사홀을 통해분사되는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 가스 분배기는,상부에 부착되어 원통형의 상기 가스 분배기보다 더 큰 지름을 갖는 디스크를 더 포함하여 상기 가스 분사홀을 통해 분사된가스를피처리 기판유도하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 가스 분배기는,하부 몸체 및 상기 하부 몸체에 회전가능하게 결합된 원통형의 상부 몸체를 포함하는 가스 분배기 몸체; 및상기 상부 몸체 상단에서 가스를 분사하기 위한 분배 헤드를 포함하고,상기 원통형의 상부 몸체에는, 상기 원통형의 상기 상부 몸체의 측면에 형성된 가스 유입구에서 시작하여 상기 상부 몸체의 중심방향으로 연장되고, 다시 상기 상부 몸체의 길이 방향을 따라서 연장되어 상기 상부 몸체의 상단의 가스 배출구에 이르는,가스유로형성된것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 가스 유로의 가스 유입구는,상기 상부 몸체의 하단으로부터 서로 상이한 높이에 형성되고, 상기 가스 유로들은 원통형의 상기 상부 몸체의 중심으로부터 동일한각도이격된것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 8]
제7항에 있어서,원통형의 상기 상부 몸체는, 측면을 따라서 형성된 그루브를 포함하고, 상기 가스 유입구는상기그루브내형성된것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기 분배 헤드는,상기 원통형의 상부 몸체의 지름보다 작은 지름을 갖는 원기둥 형상을 갖는 지지부; 및상기 지지부의 상단에 배치되고 상기 지지부의 지름보다 큰 지름을 갖는 디스크를 포함하고,상기 지지부는 상기 상부 몸체의 상기 가스 배출구로부터 연장된가스유로포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 분배 헤드는,상기 지지부의 지름보다 크도록 상기 디스크로부터 연장되어, 상기 지지부와의 사이에 가스저장공간을 정의하며, 가스 분사홀이 형성된커버부더포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 11]
제6항에 있어서,상기 상부 몸체는, 상기 상부 몸체의 길이 방향을 따라서 상기 상부 몸체의 중앙에 형성된 중앙 통공을 구비하고, 상기 중앙 통공에는 중앙 통공의 길이 방향을 배치된 냉매 파이프가 배치되며,상기 하부몸체는 상기 냉매 파이프와 연결되는 냉각수 입구 및 상기 중앙 통공과 연결되는냉각수출구포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 12]
제6항에 있어서,상기 푸쉬 부재는,상기 서셉터를 커버하도록 상기 서셉터 상부에 배치되는 푸쉬 디스크; 및상기 푸쉬 디스크의 중앙에 배치되고, 상기 분배 헤드를 향하도록 오목하게 형성된탑커버포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 푸쉬 디스크는상기 서셉터를 향해서 오목하게형성된것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
[청구항 14]
제1항에 있어서,상기 푸쉬 부재를 승강시켜, 상기 서셉터와의 이격거리를 조절하는승강부재더포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
유기금속화학증착 반응기에서 가스 분배기의 상부 몸체에 형성된 가스 유로는 가스 유입구로부터 시작하여 어떠한 경로를 거쳐 가스 배출구에 도달하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스 분배기 상부 몸체의 가스 유로가 가스 유입구에서 시작하여 가스 배출구에 도달하는 구체적인 경로를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 상부 몸체의 가스 유로 경로에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 원통형의 상기 상부 몸체의 측면에 형성된 가스 유입구에서 시작하여 상기 상부 몸체의 중심방향으로 연장되고, 다시 상기 상부 몸체의 길이 방향을 따라서 연장되어 상기 상부 몸체의 상단의 가스 배출구에 이르는,가스유로
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3근거 선택
evidence_selection가스 유로의 시작점, 중간 경로, 도달점을 명시한 구절을 선택한다.
- 가스 유입구에서 시작하여 상기 상부 몸체의 중심방향으로 연장되고, 다시 상기 상부 몸체의 길이 방향을 따라서 연장되어 상기 상부 몸체의 상단의 가스 배출구에 이르는
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4논리 통합
logical_integration유입구에서 중심 방향으로 이동한 후, 다시 길이 방향을 따라 상단 배출구로 이동하는 순차적 경로를 결합한다.
- 가스 유입구에서 시작하여 상기 상부 몸체의 중심방향으로 연장되고, 다시 상기 상부 몸체의 길이 방향을 따라서 연장되어 상기 상부 몸체의 상단의 가스 배출구에 이르는
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 유로는 유입구에서 중심 방향으로 연장된 후, 상부 몸체의 길이 방향을 따라 상단의 가스 배출구로 이어진다는 결론을 도출한다.
- 가스 유입구에서 시작하여 상기 상부 몸체의 중심방향으로 연장되고, 다시 상기 상부 몸체의 길이 방향을 따라서 연장되어 상기 상부 몸체의 상단의 가스 배출구에 이르는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 경로를 바탕으로 서술형 답변을 작성한다.
- 가스 유입구에서 시작하여 상기 상부 몸체의 중심방향으로 연장되고, 다시 상기 상부 몸체의 길이 방향을 따라서 연장되어 상기 상부 몸체의 상단의 가스 배출구에 이르는
최종 답변 (final_answer)
가스 유로는 상부 몸체의 측면에 형성된 가스 유입구에서 시작하여 상부 몸체의 중심 방향으로 연장된 후, 다시 상부 몸체의 길이 방향을 따라서 연장되어 상부 몸체 상단의 가스 배출구에 도달한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 분배기 상부 몸체 내의 가스 유로가 측면 유입구에서 중심 방향을 거쳐 상단 배출구로 이어지는 구체적인 유동 경로를 정의하고 있다.