포지셔닝 장치 document_id 1020110128766

[청구항 2] 제1항에 있어서,짐 구동부의 구동 모터와 상기 상하 구동부의 구동 모터를 제어하기 위한 제어부;를 더 포함하되,상기 제어부는 상기 구동 모터들을 제어하여 상기 틀어짐 구동부에 의해 상기 구동판을 수평 방향에 대하여 위치를 변경시키게 하며, 상기 상하 구동부에 의해 상기 웨지 블록 모듈에 설치된 피가공물 스테이지를 수직 방향에 대하여 위치변경시키는포지셔닝 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,짐 구동부, 웨지 블록 모듈 및 상하 구동부는 상기 고정판과 구동판 사이에서 외부로 노출되지 않도록 설치되고,상기 웨지 블록 모듈에서 구동판을 관통하는 방식으로 상하 구동 샤프트가 각각 설치되되,상기 각 상하 구동 샤프트의 단부에 상기 피가공물 스테이지가 고정되어 수직 방향으로 승강 동작수행하는포지셔닝 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 웨지 블록 모듈은고정판에 고정되는 일정 면적을 갖는 지지판;상기 지지판의 상부에 가이드 부재에 의해 수평 방향으로 슬라이딩 운동을 할 수 있도록 고정되며 상부에 일정 각도를 갖는 경사면이 형성되는 웨지 블록;상기 웨지 블록의 경사면과 상응하는 경사면을 가지며, 가이드 부재에 의해 두 경사면을 따라 슬라이딩 운동을 하도록 설치되는 수직 이동 블록; 및상기 지지판에 고정되며, 상기 수직 이동 블록의 가이드 부재에 의해 상기 수직 이동 블록이 수직 방향으로 슬라이딩 운동을 하도록 설치되는 적어도 하나의 지지체;를 포함하되,상기 상하 구동 샤프트는 상기 수직 이동 부재에 고정되어 함께 승강 동작수행하는포지셔닝 장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 상하 구동부는상기 구동판에 고정되는 브라켓;상기 브라켓에 고정되는 감속 모듈을 포함하는 구동 모터;상기 구동 모터의 회전력을 직선 운동으로 변환시켜주는 볼 스크류; 및상기 볼 스크류의 단부에 설치되어 상기 웨지 블록 모듈의 웨지 블록에 고정되는 일정 길이를 갖는 메인 링크바;를 포함하되,상기 메인 링크바의 직선 왕복 운동에 의해 웨지 블록이 함께 수평 방향으로 이동하고, 상기 웨지 블록의 경사면을 타고 상기 수직 이동 블록이 수직 방향으로 승강 동작수행하는포지셔닝 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,링크바의 길이 방향을 따라 일정 폭 및 두께를 갖도록 고정 설치되는 보강판을 더 포함하여,상기 메인 링크바의 작동에 의한 변형을 미연방지하도록 하는포지셔닝 장치. [청구항 7] 제4항에 있어서,상기 웨지 블록 모듈은상기 웨지 블록이 이동하는 방향을 따라 서로 이격되어 구비되는 제1웨지 블록 모듈과 제2웨지 블록 모듈로 구비되고,상기 제1웨지 블록 모듈과 상기 제2웨지 블록 모듈은 각 웨지 블록 모듈에 구비된 웨지 블록들을 연결시키는 서브 링크바를 통해연결되는것을특징으로 하는포지셔닝 장치. [청구항 8] 제5항에 있어서,상기 웨지 블록 모듈은상기 웨지 블록이 이동하는 방향을 따라 서로 이격되어 구비되는 제1웨지 블록 모듈과 제2웨지 블록 모듈;상기 제1웨지 블록 모듈과 상기 제2웨지 블록 모듈에 구비된 각 웨지 블록을 연결시키는 제1서브 링크바;상기 제1웨지 블록 모듈과 이격되어 구비되는 제3웨지 블록 모듈;상기 제2웨지 블록 모듈과 이격되어 구비되되 상기 제3웨지 블록 모듈과 동일 직선 상에 구비되는 제4웨지 블록 모듈;상기 제3웨지 블록 모듈과 상기 제4웨지 블록 모듈에 구비된 각 웨지 블록을 연결시키는 제2서브 링크바;를 포함하고,상기 제1서브 링크바와 상기 제2서브 링크바는 상기 메인링크바고정되는것을특징으로 하는포지셔닝 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 고정판과 구동판 및 피가공물 스테이지는 중앙에일정넓이의개구형성되는것을특징으로 하는포지셔닝 장치. [청구항 10] 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 피가공물 공정 처리 작업은 반도체 소자의 증착 공정 또는 oled 생산 공정적용되는포지셔닝 장치.