문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 절단장치, 척테이블 그리고 상기 척테이블에 유체를 분사하는 분사수단을 포함하여 이루어지는 반도체 제조 장치에 있어서,
상기 척테이블은,
절단될 반도체 스트립이 놓이도록 마련된 흡착 패드; 그리고
상기 흡착 패드가 위치되는 흡착 패드 수용부와 상기 흡착 패드 수용부의 외곽에서 외측으로 하향 되게 연장되는 곡면부를 갖는 척바디를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 곡면부는 상기 척바디의 최외곽까지 연장되어형성됨을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 척바디와 상기 흡착 패드 수용부는 장방형으로 형성되고, 상기 반도체 절단장치는 상기 반도체 스트립을 상기 척바디의 길이방향과폭방향절단함을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 곡면부는 상기 척바디의 길이 방향과 폭 방향을 따라연속면형성됨을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 척바디는 상기 흡착 패드 수용부와 상기 곡면부 사이에 형성되는 평면부를포함함을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 척바디는, 베이스에 고정되기 위한 체결홀 또는 상기 척바디의 상대적인 위치를 결정하기 위한 핀홀 중 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어지고, 상기 체결홀과 핀홀은상기곡면부형성됨을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 체결홀에 삽입되어 상기 체결홀의 개구부를 메우기 위한커버포함함을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 척바디의 측면에는 토글 클램프와 체결되기 위한 고리가 구비되는 고리 결합부가하향형성됨을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 고리의 최상부는상기곡면부형성됨을특징으로 하는반도체 제조 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조 장치의 척바디 구성 요소 중 흡착 패드 수용부와 곡면부 사이에 위치하는 부분은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation반도체 제조 장치의 척바디 구성 요소 중 흡착 패드 수용부와 곡면부 사이에 위치하는 특정 부분을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 척바디가 흡착 패드 수용부와 곡면부를 포함함을 확인하고, 청구항 5에서 두 구성 요소 사이의 관계를 확인한다.
- 상기 척바디는 상기 흡착 패드 수용부와 상기 곡면부 사이에 형성되는 평면부를포함함
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 위치(흡착 패드 수용부와 곡면부 사이)를 명시적으로 설명하는 청구항 5의 구절을 선택한다.
- 상기 척바디는 상기 흡착 패드 수용부와 상기 곡면부 사이에 형성되는 평면부를포함함
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4논리 통합
logical_integration청구항 5에 따르면, 척바디 내에 흡착 패드 수용부와 곡면부 사이에 '평면부'가 형성되어 있음을 알 수 있다.
- 상기 척바디는 상기 흡착 패드 수용부와 상기 곡면부 사이에 형성되는 평면부를포함함
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5결론 도출
conclusion_formulation따라서 두 구성 요소 사이에 위치하는 부분은 평면부이다.
- 상기 척바디는 상기 흡착 패드 수용부와 상기 곡면부 사이에 형성되는 평면부를포함함
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '평면부'를 최종 답변으로 생성한다.
- 평면부
최종 답변 (final_answer)
평면부
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 척바디의 구조적 특징으로서, 흡착 패드 수용부와 외곽의 곡면부 사이에 평면부를 형성하여 척바디의 형상을 정의하는 기술을 포함한다.