문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 확장부는상기 기판을 사이에 두고 서로 마주보는 상기 공정챔버의 한쌍의 내측벽이 각각 함몰되어형성되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 플라즈마소스부는 상기 확장부의 내측에 배치되는 본체;및상기 기판의 폭보다 큰 길이로 상기 본체로부터 개구되어 상기 선형 플라즈마를 분사하는노즐포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 4]
제 3항에 있어서,상기 공정챔버의 내부로 전구체 가스를 공급하는 가스공급부를 더 포함하며, 상기 플라즈마소스부는 서로 대항되어 배치되어 상기 전구체 가스가 입사되는 위치로 상기 플라즈마를 각각 분사하는복수의플라즈마소스포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 기판은 복수로 마련되며, 복수의 상기 기판은 기판트레이에 지지되어 이송되며, 상기 플라즈마소스부는 상기 복수의 기판 폭의 합보다 큰 길이의 선형 플라즈마분사하는 것을특징으로 기판처리장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 확장부의 내측으로 개방되어 상기 확장부의 폐가스가 상기 공정챔버의 외부로 배출되도록 하는배기관더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 배기관nan은상기공정챔버의하부벽관통하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 8]
제 6항에 있어서,상기 배기관nan은상기공정챔버의측벽관통하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 9]
제 1항에 있어서,상기 이송부는 상기 확장부의 전, 후로 이격되는 한쌍의 이송롤러를 포함하며,상기 플라즈마소스부는 상기 한쌍의 이송롤러의 사이로상기플라즈마분사하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 이송부는 상기 한쌍의 이송롤러의 전, 후방에 각각 배치되는적어도하나의이송롤러더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치에서 플라즈마소스부가 선형 플라즈마를 분사할 때, 플라즈마소스부의 노즐 길이는 기판의 폭과 비교하여 어떠한 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판처리장치에서 플라즈마소스부의 노즐 길이와 기판 폭 사이의 상관관계를 파악하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 노즐의 길이에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 기판의 폭보다 큰 길이로 상기 본체로부터 개구되어 상기 선형 플라즈마를 분사하는노즐
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3근거 선택
evidence_selection노즐 길이와 기판 폭의 관계를 직접적으로 명시한 청구항 3의 구절을 선택한다.
- 상기 기판의 폭보다 큰 길이로
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4논리 통합
logical_integration노즐의 길이가 기판의 폭보다 크게 설계되어 있음을 확인하여 두 요소 간의 관계를 도출한다.
- 상기 기판의 폭보다 큰 길이로
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5결론 도출
conclusion_formulation플라즈마소스부의 노즐 길이는 기판의 폭보다 큰 관계를 가진다.
- 상기 기판의 폭보다 큰 길이로
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 기판의 폭보다 큰 길이로
최종 답변 (final_answer)
플라즈마소스부의 노즐 길이는 상기 기판의 폭보다 큰 길이이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판처리장치에서 선형 플라즈마를 효과적으로 분사하기 위해 노즐의 길이를 기판의 폭보다 길게 구성하는 기술적 특징을 포함한다.