웨이퍼 처리장치 document_id 1020110136230

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 지지유닛은 상기 풉의 하면부위하측으로누르는것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 공간부와 대향하는 상기 풉의 하면에는 상기 지지유닛에 의하여 지지되는브라켓설치된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 프레임에는 상호 간격을 가지는 한 쌍의 고정블럭이 대향되게 설치되고,상기 고정블럭에는 상기 스테이지의 운동방향과 평행을 이루는 제 1 안내레일이 각각 설치되며,상기 제 1 안내레일에는 상면은 상기 스테이지에 결합되고 하면은 상기 제 1 안내레일에 지지되어 상기 제 1 안내레일을 따라 운동하면서 상기 스테이지를 운동시키는제1가동블럭각각설치된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 지지유닛은,상기 스테이지측에 지지되어 상기 스테이지의 운동방향과 평행하게 직선왕복운동가능하게 설치된 가동바;일측은 상기 스테이지에 지지되고 타측은 상기 가동바에 연결되며, 진자형태로 운동하면서 상기 가동바를 직선왕복운동시키는 회전바;상기 가동바에 일측이 지지되어 상기 가동바와 함께 운동하고, 상기 가동바에 지지된 부위를 중심으로 회전가능하게 설치되며, 상기 풉의 하면 부위를 걸어서 하측으로 당겨 상기 풉을 상기 스테이지에 밀착 지지시키는 누름바를포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 스테이지의 하면에는 상호 간격을 가지면서 대향하는 한 쌍의 지지브라켓이 설치되고,상기 지지브라켓에는 상기 스테이지의 운동방향과 평행을 이루는 제 2 안내레일이 각각 설치되며,상기 제 2 안내레일에는 상기 제 2 안내레일을 따라 운동하는 제 2 가동블럭이 각각 설치되고,상기 가동바의 일측 및 타측은, 한 쌍의 상기 제 2 가동블럭 중, 어느 하나의 제 2 가동블럭 및 다른하나의제2가동블럭각각결합된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,동바의 길이방향은상기스테이지의운동방향직교하는것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,동바와 상기 회전바에는 상기 회전바의 진자형태의 운동을 상기 가동바의 직선왕복운동으로 변환하는수단마련된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 수단은 상기 가동바의 길이방향을 따라 상기 가동바에 형성된 장공과, 상기 회전바의 타단부에 설치되어 상기 장공에 삽입된롤러포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 10] 제5항에 있어서,바의 타단부측은벤딩된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,바의 벤딩된 부위에는 상기 풉의 하면 부위와 접촉하는롤러설치된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 롤러는 탄성을 가지며, 상기 누름바의 회전방향과 동일한 방향으로 회전가능하게설치된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기풉의 하면에는 불활성 가스를 주입 및 배출하기 위한 주입공 및 배출공이 각각 형성되고,상기 스테이지의 상면에는 상기 주입공 및 상기 배출공에 각각 삽입되는주입포트및배출포트각각설치된특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 도어는 상기 개방부와 대응되는 판 형상의 단일(單一)구조형성된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 프레임의 타면에는 상기 프레임의 일측면 방향에서 타측면 방향으로 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 도어를 슬라이딩시키는슬라이딩부재설치된것을특징으로 하는웨이퍼 처리장치.