스핀 처리 장치 document_id 1020110137864

[청구항 1] 기판(1)을 회전시키면서 처리액을 기판(1)의 표면에 분사하여 기판(1)을 처리하는 스핀처리장치에 있어서, 상부에 기판장착용 척(20)이 결합 설치되고 승하강 작동에 의한 척(20)의 개폐와 제자리에서 회전작동이 이루어지는 스핀들 조립체(2)와 척(20)의 상부에 장착된 기판(1)을 외부에서 감싼 상태로 승,하강이 이루어지는 챔버(3)와 상기 챔버(3)의 내측으로서 척(20)과 인접한 위치에 설치되고 처리액을 분사하는 노즐(40)이 승하강 및 스윙각도회전이 가능하게 설치되는 디스펜서(4)와 상기 챔버(3)의 상부에 설치되고 챔버(3)를 개폐 작동시키도록 설치되는 챔버커버체(5)와; 그리고 상기 챔버커버체(5)의 상부로서 상기 챔버(3)를 외측에서 감싸는 구조체인 외측케이싱(7)의 상부에 설치되어 챔버(3) 내부의 공기가 외부로 배출되는 경우 내부공기를 정화시키기 위하여 설치되는 정화커버체(6) 를 구비하여 구성이 이루어지는 것을 특징으로 하는 스핀 처리 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 스핀들 조립체(2)는중심의 스핀들축(22)과, 상기 스핀들축(22)의 상부에 수평으로 장착되는 기판장착용 척(20)과, 그리고 상기 스핀들축(22)을 회전시키기 위한 회전구동기구(24)를 포함하여 이루어지되,상기 스핀들축(22)은 중공축 형태로서 내부에 내부지지고정축(22a)이 위치하고 외부엔 외부지지축(22b)이 감싼 상태로 설치되고 상기 내부지지고정축(22a)과 스핀들축(22) 사이와 그리고 상기 외부지지축(22b)과 상기 스핀들축(22) 사이엔 각각 베어링(26)(28)이 상,하부에 설치되어 상기 스핀들축(22)이 제자리에서 흔들리지 않고 안정적인 회전이 가능하게 설치되며,상기 회전구동기구(24)는 상기 스핀들축(22)의 하부 외측엔 직접 타이밍기어(22c)를 형성하고 이와 인접한 위치에 구동모터(25)를 설치하여 상기 타이밍기어(22c)와 상기 구동모터(25)의 회전축(25a)에 설치된 구동기어(25b)와의 사이에 타이밍벨트(24a)가 걸어 설치되어 제자리에서 회전구동이 가능하게구성이루어지는것을특징으로 하는스핀 처리 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 챔버(3)는 상기 스핀들조립체(2)의 기판장착용 척(20)을 외부에서 감싸는 구조로서 하부 외측에 위치하는 고정챔버(30)와 상부 및 내측에 위치하는 승강챔버(32)가 서로 중첩되게 결합되어 이루어지고, 그 중 고정챔버(30)의 하부 양측엔 서로 대향되게 고정브라켓(34,34)이 위치하고 고정브라켓(34,34)의 하부엔 승하강 구동용 공압실린더(36,36)가 각각 설치되며 상기 승강챔버(32)는 내측에 승강축(32a)이 각각 고정 설치되고 이들 승강축(32a)은 상기 고정브라켓(34,34)의 내측에서 연결구(38)에 의하여 상기 공압실린더(36,36)의 승하강로드(36a,36a)와서로결합설치되어이루어지는것을특징으로 하는스핀 처리 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 디스펜서(4)는노즐하우징(41)의 일측에 노즐(40)이 결합 설치되고 승하강축(42)과 서로 결합되는 노즐조립체(43)와,상기 승하강축(42)의 하부에 구동모터(44)가 결합되고 디스펜서본체(45)의 내측에서 가이더(46)를 타고 승, 하강이 가능하게 설치되는 디스펜서 지지체(47)와, 그리고상기 승하강축(42)을 상부에서 감싼 상태로 지지하고 상기 디스펜서 지지체(47)를 상기 가이더(46)에 의하여 승하강이 가능하게 지지하며 상기 디스펜서 지지체(47)의 하부에 승하강기구(48)를 설치한 디스펜서본체(45)를 포함하여구성이루어지는것을특징으로 하는스핀 처리 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 챔버커버체(5)는 케이싱(7)의 상부에 개폐구(50)가 형성된 상부커버(52)를 결합하고 개폐구(50)의 상부엔 개폐용 셔터(54)를 케이싱(7)의 측방에 설치된 실린더(70)에 의하여 승강축(56)이 승하강함에 따라 개폐가 가능하게 설치하며,상부커버(52)의 개폐구(50)와 인접한 위치엔 드레인(58)을 각각 마련하여구성이루어지는것을특징으로 하는스핀 처리 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 정화커버체(6)는 상기 챔버커버체(5)의 상부로서 상기 챔버(3)를 외측에서 감싸는 구조체인 외측케이싱(7)의 상부에 설치되어 챔버(3) 내부의 공기가 외부로 배출되는 경우 내부공기를 정화시키기 위하여 설치되어 이루어지되,내부 통로에 팬필터유니트(60)를 설치하고,상기 팬필터유니트(60)와 인접한 부위에는 내부 관찰용 카메라(62)와 내부조명용 램프(64)를 각각 설치하여구성이루어지는것을특징으로 하는스핀 처리 장치.