문맥 (context)
[청구항 1]
내부에 처리공간을 형성하는 챔버본체와
상기 챔버본체 내부에 배치되고, 기판이 안착된 트레이를 외부로부터 도입시키는 도입이송부 및 공정 처리가 완료된 트레이를 외부로 배출시키는 배출이송부와
상기 챔버본체 내부에서 트레이를 승하강시키는 트레이지지부와
상기 트레이지지부가 트레이를 공정 처리되는 높이로 승강시키기 전에 상기 도입이송부에 안착된 트레이를 상기 도입이송부로부터 이격시키는 리프트부
를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정챔버
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 리프트부는 챔버본체에 결합되는 리프트구동부와, 상기 리프트구동부에 의하여 상하로 이동되고 트레이의 저면을 지지하는리프트핀으로이루어지는것을특징으로 하는공정챔버.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 리프트핀은 상측 단부가 트레이의 저면에 형성된 홈부에 삽입되어트레이지지하는것을특징으로 하는공정챔버.
[청구항 4]
청구항 2에 있어서,상기 리프트핀은 상기 리프트구동부와 연결되는 수직부와, 상기 수직부로터 수평 방향으로 연장되며 상기 트레이 저면을 지지하는 수평부포함하는것을특징으로 하는공정챔버.
[청구항 5]
청구항 4에 있어서,상기 리프트핀은 상기 트레이가 트레이지지부에 안착된 후 수평방향으로 회전하여트레이의지지해제하는것을특징으로 하는공정챔버.
[청구항 6]
청구항 1 있어서,상기 트레이지지부는 상기 리프트부에 의해 상기 도입이송부로부터 이격된 트레이에 인접되면 상승되는속도감속되는것을특징으로 하는공정챔버.
[청구항 7]
청구항 1 있어서,상기 도입이송부는 상기 트레이지지부에 의하여 상기 트레이가 하강될때트레이의이동경로개방하는것을특징으로 하는공정챔버.
[청구항 8]
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항의 공정챔버를 포함하는 기판처리장치로서,
공정처리가 수행될 하나 이상의 기판이 적재된 트레이를 상기 공정챔버의 도입 이송부로 전달하는 제1이송부와, 상기 고정쳄버의 배출이송부로부터 공정처리가 완료된 기판이 적재된 트레이를 전달받는 제2이송부가 상하로 구비된 로드락 챔버로드락챔버
를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 제1이송부와 제2이송부는 상기 로드락챔버 내부의 분리된 공간에 각각 배치되고,상기 분리된 공간은각각별도의펌핑수단연결된것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
공정챔버 내에서 리프트부가 도입이송부에 안착된 트레이를 이격시킨 후, 트레이지지부가 트레이에 인접할 때의 동작 특성은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리프트부가 트레이를 이격시킨 후, 트레이지지부가 트레이에 인접할 때 발생하는 동작 특성을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 트레이지지부가 이격된 트레이에 인접할 때의 동작에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 트레이지지부는 상기 리프트부에 의해 상기 도입이송부로부터 이격된 트레이에 인접되면 상승되는속도감속되는것을특징으로 하는공정챔버
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3근거 선택
evidence_selection질문 조건(리프트부에 의해 이격된 트레이에 트레이지지부가 인접함)과 일치하는 구절을 선택한다.
- 상기 트레이지지부는 상기 리프트부에 의해 상기 도입이송부로부터 이격된 트레이에 인접되면 상승되는속도감속되는것
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4논리 통합
logical_integration트레이지지부가 트레이에 인접하게 되면 상승 속도가 감속된다는 인과관계를 파악한다.
- 상기 트레이지지부는 상기 리프트부에 의해 상기 도입이송부로부터 이격된 트레이에 인접되면 상승되는속도감속되는것
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5결론 도출
conclusion_formulation트레이지지부의 상승 속도가 감속된다는 결론을 도출한다.
- 상승되는속도감속되는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 작성한다.
- 상승되는속도감속되는것
최종 답변 (final_answer)
상승되는 속도가 감속된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
트레이가 이송부로부터 이격된 후 트레이지지부가 접근할 때, 충돌 방지 등을 위해 트레이지지부의 상승 속도를 제어(감속)하는 기술적 특징을 포함한다.