문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 유도 코일은 기판과 평행하고 또한 상기 처리 용기의 직경방향과 교차하는 방향으로 신장하는 축의 주위에 감겨있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 유도 코일은 처리 용기의 둘레방향을 따라복수배치되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 4]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 유도 코일은 그 1변이 기판과 평행하게 되도록 각형으로 감겨있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 5]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 유도 코일은 상기 처리 용기보다도 위쪽측에 마련되고, 상기 가스 샤워헤드의 주위에 있어서의 상기 처리 용기의 천벽은유전체형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 6]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 유도 코일은 유전체에 매설되어,상기처리 용기의천벽의일부구성하고있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 7]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 가스 샤워헤드의 적어도 하면측은실리콘형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 8]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,기판에 대해 실행되는 처리의 레시피와, 상기 부의 직류 전압의 크기와, 유도 코일에 공급되는 고주파 전류의 크기를 대응지어 기억한 기억부와, 임의의 레시피에 따른 부의 직류 전압의 크기와 고주파 전류의 크기를 상기 기억부로부터 읽어내어 제어 신호를 출력하는제어부더구비한것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 마이크로파 공급부는 처리 용기의 둘레방향을 따라복수배치되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 16]
제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,상기 가스 샤워헤드의 주위에 있어서의 상기 처리 용기의 천벽은 유전체로 형성되고,상기 마이크로파 공급부는해당천벽의위쪽측마련되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 17]
제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,상기 가스 샤워헤드의 주위에 있어서의 상기 마이크로파 공급부의 아래쪽의 상기 처리 용기의 천벽에는 개구부가 형성되고, 상기 마이크로파 공급부는 상기 개구부를 막도록 상기 처리 용기에 기밀하게마련되어있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 18]
제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,기판에 대해 실행되는 처리의 레시피와, 상기 부의 직류 전압의 크기를 대응지어 기억한 기억부와, 임의의 레시피에 따른 부의 직류 전압의 크기를 상기 기억부로부터 읽어내어 제어 신호를 출력하는제어부구비한것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 19]
제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,기판에 대해 실행되는 처리의 레시피와, 상기 부의 직류 전압의 크기와, 상기 마이크로파 공급부에 공급되는 마이크로파의 전력의 크기를 대응지어 기억한 기억부와, 임의의 레시피에 따른 부의 직류 전압의 크기와 마이크로파의 전력의 크기를 상기 기억부로부터 읽어내어 제어 신호를 출력하는제어부더구비한것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
[청구항 20]
제 19 항에 있어서,상기 마이크로파 공급부는 처리 용기의 둘레방향을 따라 복수 배치되고 상기 기억부는 상기 복수의 마이크로파 공급부에 공급되는 마이크로파의 전력의 각각의 크기를 상기 레시피에 대응지어 기억하도록 되어 있고, 상기 제어부는 상기 레시피에 따라서, 상기 복수의 마이크로파 공급부에 공급되는 마이크로파의 전력의 각각의 크기를 읽어내어 제어 신호를 출력하도록있는것을특징으로 하는플라즈마 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리 장치에서 처리 레시피에 따라 부의 직류 전압 크기와 마이크로파 전력의 크기를 각각 대응시켜 기억하고, 이를 읽어내어 제어 신호를 출력하는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 처리 레시피에 따라 부의 직류 전압 크기와 마이크로파 전력 크기를 대응하여 기억하고, 이를 읽어 제어 신호를 출력하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 19에서 레시피, 부의 직류 전압의 크기, 마이크로파 전력의 크기를 대응지어 기억하는 구성과 이를 읽어 제어 신호를 출력하는 구성을 확인한다.
- 기판에 대해 실행되는 처리의 레시피와, 상기 부의 직류 전압의 크기와, 상기 마이크로파 공급부에 공급되는 마이크로파의 전력의 크기를 대응지어 기억한 기억부와, 임의의 레시피에 따른 부의 직류 전압의 크기와 마이크로파의 전력의 크기를 상기 기억부로부터 읽어내어 제어 신호를 출력하는제어부
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '부의 직류 전압'과 '마이크로파 전력'의 대응 관계를 명시한 청구항 19의 구절을 선택한다.
- 기판에 대해 실행되는 처리의 레시피와, 상기 부의 직류 전압의 크기와, 상기 마이크로파 공급부에 공급되는 마이크로파의 전력의 크기를 대응지어 기억한 기억부와, 임의의 레시피에 따른 부의 직류 전압의 크기와 마이크로파의 전력의 크기를 상기 기억부로부터 읽어내어 제어 신호를 출력하는제어부
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4논리 통합
logical_integration기억부는 레시피와 전압/전력 크기를 대응시켜 저장하는 역할을 하며, 제어부는 이를 읽어 제어 신호를 출력하는 역할을 수행함을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation해당 기능을 수행하는 구성 요소는 기억부와 제어부임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 기억부와 제어부를 나열한다.
최종 답변 (final_answer)
기억부, 제어부
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 처리 레시피에 따라 부의 직류 전압과 마이크로파 전력의 크기를 매칭하여 저장하고, 이를 기반으로 제어 신호를 생성하는 제어 시스템의 구성에 관한 것이다.