문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 산술유닛은, 하나의 폴리싱 공정 또는 복수 세트의 폴리싱 공정들에 대한 마모 정도를 사전설정된 임계값과 비교한 결과를 토대로, 폴리싱의 이상 유무를 검출하도록 작동가능한폴리싱장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 산술유닛은, 상기 1이상의 구성요소의 전체 마모 정도가 사전설정된 값에 도달하였는지의 여부를 판정하도록 작동가능한폴리싱장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 마모검출장치는, 상기 리테이너링의 마모를 검출하기 위한 리테이너링마모검출장치포함하는폴리싱장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 기판을 상기 톱링바디와 주고 받도록 작동가능한 푸셔를 더 포함하여 이루어지고, 상기 리테이너링마모검출장치는 상기 푸셔 내제공되는폴리싱장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 리테이너링의 하부면과 접촉하게 되는 리테이너링가이드, 및상기 톱링바디의 하부면 상에 상기 기판을 푸시하도록 작동가능한 푸시스테이지를 포함하고,상기 리테이너링마모검출장치는 상기 리테이너링가이드와 상기 푸시스테이지간의 거리를 측정하도록 작동가능한폴리싱장치.
[청구항 7]
제4항에 있어서,상기 기판이 상기 톱링바디에 의해 가압되는 가압력이상기리테이너링의마모정도에따라변하는폴리싱장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 마모검출장치는, 상기 폴리싱패드의 마모를 검출하기 위한 폴리싱패드마모검출장치포함하는폴리싱장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 폴리싱패드마모검출장치는, 상기 드레서가 상기 폴리싱면과 접촉하게 될 때의 상기 드레서의 위치를 측정하도록 작동가능한폴리싱장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 드레서의 마모를 검출하기 위한 드레서마모검출장치더 포함하여 이루어지는폴리싱장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 드레서마모검출장치는, 상기 드레서가 상기 폴리싱면과 접촉하게 될 때의 상기 드레서의 위치를 측정하도록 작동가능하며,상기 산술유닛은, 상기 드레서마모검출장치로부터의 신호를 토대로 단위시간당 상기 드레서에 의해 제거되는 상기 폴리싱패드의 양인 컷레이트(cut rate)를 연산하고, 연산된 상기 컷레이트를 토대로 상기 드레서의 마모 정도를 연산하도록 작동가능한폴리싱장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,드레싱 시간, 상기 드레서의 회전속도, 및 상기 폴리싱패드에 대해 상기 드레서를 가압하는 가압력 중 하나 이상이상기드레서의마모정도에따라변경되는폴리싱장치.
[청구항 13]
제1항에 있어서,상기 리테이너링은,압력챔버가 내부에 형성된 롤링다이어프램,상기 롤링다이어프램을 수직방향으로 팽창 또는 수축하도록 상기 압력챔버에 유체를 공급하기 위한 통로, 및상기 롤링다이어프램에 따라 수직방향으로 이동가능한 링부재를 포함하되, 상기 링부재는 상기 폴리싱면접촉하게 되는폴리싱장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 리테이너링의 하부면과 접촉하게 되는 리테이너링가이드, 및상기 톱링바디의 하부면 상에 상기 기판을 푸시하도록 작동가능한 푸시스테이지를 포함하고,상기 리테이너링마모검출장치는 상기 리테이너링가이드와 상기 푸시스테이지간의 거리를 측정하도록 작동가능한폴리싱장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
폴리싱장치에서 드레서의 마모 정도를 연산하기 위해 산술유닛이 활용하는 데이터와 연산 과정은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation폴리싱장치 내 산술유닛이 드레서의 마모 정도를 계산하기 위해 사용하는 데이터와 그 연산 과정을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 11에서 드레서마모검출장치의 역할, 산술유닛의 입력 신호, 연산되는 중간 값(컷레이트), 그리고 최종 연산 대상(마모 정도)을 추출한다.
- 상기 드레서마모검출장치는, 상기 드레서가 상기 폴리싱면과 접촉하게 될 때의 상기 드레서의 위치를 측정하도록 작동가능하며,상기 산술유닛은, 상기 드레서마모검출장치로부터의 신호를 토대로 단위시간당 상기 드레서에 의해 제거되는 상기 폴리싱패드의 양인 컷레이트(cut rate)를 연산하고, 연산된 상기 컷레이트를 토대로 상기 드레서의 마모 정도를 연산하도록 작동가능한폴리싱장치
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3근거 선택
evidence_selection산술유닛의 연산 과정과 데이터가 명시된 청구항 11의 구절을 선택한다.
- 상기 드레서마모검출장치로부터의 신호를 토대로 단위시간당 상기 드레서에 의해 제거되는 상기 폴리싱패드의 양인 컷레이트(cut rate)를 연산하고, 연산된 상기 컷레이트를 토대로 상기 드레서의 마모 정도를 연산
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4논리 통합
logical_integration드레서마모검출장치가 측정한 드레서의 위치 신호를 입력 데이터로 하여, 산술유닛이 컷레이트를 먼저 계산한 후 이를 바탕으로 드레서의 마모 정도를 산출하는 논리적 흐름을 구성한다.
- 상기 드레서마모검출장치로부터의 신호를 토대로 단위시간당 상기 드레서에 의해 제거되는 상기 폴리싱패드의 양인 컷레이트(cut rate)를 연산하고, 연산된 상기 컷레이트를 토대로 상기 드레서의 마모 정도를 연산
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5결론 도출
conclusion_formulation산술유닛은 드레서마모검출장치로부터 받은 신호를 사용하여 컷레이트를 연산하고, 이 컷레이트를 이용해 드레서의 마모 정도를 연산한다는 결론을 도출한다.
- 상기 드레서마모검출장치로부터의 신호를 토대로 단위시간당 상기 드레서에 의해 제거되는 상기 폴리싱패드의 양인 컷레이트(cut rate)를 연산하고, 연산된 상기 컷레이트를 토대로 상기 드레서의 마모 정도를 연산
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 데이터와 연산 과정을 포함하여 답변을 작성한다.
- 상기 드레서마모검출장치로부터의 신호를 토대로 단위시간당 상기 드레서에 의해 제거되는 상기 폴리싱패드의 양인 컷레이트(cut rate)를 연산하고, 연산된 상기 컷레이트를 토대로 상기 드레서의 마모 정도를 연산
최종 답변 (final_answer)
산술유닛은 드레서마모검출장치로부터의 신호를 데이터로 활용하며, 이 신호를 토대로 단위시간당 드레서에 의해 제거되는 폴리싱패드의 양인 컷레이트(cut rate)를 먼저 연산한 후, 연산된 컷레이트를 토대로 드레서의 마모 정도를 연산한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
드레서의 위치 측정 신호를 기반으로 컷레이트를 산출하고, 이를 통해 드레서의 마모 정도를 정밀하게 연산하는 기술적 방법을 제공한다.