마이크로 가공을 위해 펄스 시간을 프로그래밍 가능한 초고속 버스트 모드 레이저 document_id 1020117016430

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 레이저 소스는 초고속 레이저 소스를 포함하며, 상기 제 1 레이저 소스에 의해 방출된 레이저 펄스들의 열에 있는 각 펄스는 대략 300 펨토초 내지 약 1 나노초 사이의 범위의 시간 펄스 폭포함하는,레이저 시스템. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 버스트 펄스 레이저는 대략 1 나노초 내지 대략 1 마이크로초 사이의 범위에 있는 버스트 엔벨롭의시간폭을선택적조절하도록더 구성된,레이저 시스템. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기 선택적으로 성형된 버스트 엔벨롭은 대략 10 피코초 내지 대략 1 나노초 사이의 범위의 상승 시간포함하는,레이저 시스템. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기 제 1 반복 속도는 1 hz 내지 대략 100khz 사이의범위에 있는,레이저 시스템. [청구항 6] 제 2 항에 있어서,상기 제 1 반복 속도는 대략 100khz 내지 대략 10ghz 사이의범위에 있는,레이저 시스템. [청구항 7] 제 2 항에 있어서,상기 초고속 레이저 소스는 분배된 피드백 다이오드포함하는,레이저 시스템. [청구항 8] 제 2 항에 있어서,상기 초고속 레이저 소스는 일단이 반도체 포화가능한 흡수체 미러(sesam)에 의해 종료되고 타단이 파장 선택기에 의해 종료되는 레이저 공진기를 형성하는 단일 모드 파이버(mode fiber)를 구비하는 파이버 모드 동기 마스터 발진기포함하는,레이저 시스템. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 버스트 펄스 레이저는 버스트 엔벨롭 내 3개 이상의 레이저 펄스들 사이에 선택적으로 조절가능한 시간 펄스 간격을 제공하도록 구성된 펄스 피커더 포함하는,레이저 시스템. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 펄스 피커는 음향-광학 디바이스와 전기-광학 디바이스를 포함하는 그룹선택되는,레이저 시스템. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 광 변조기는 전기-광학 변조기포함하는,레이저 시스템. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 광 변조기는 마흐-젠더 간섭계포함하는,레이저 시스템. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,상기 버스트 펄스 레이저는 제 1 레이저 소스에 의해 방출되는 레이저 펄스들의 열을 제 1 펄스 반복 속도로부터 제 2 펄스 반복 속도로 선택적으로 변경시키도록 구성된 제 1 펄스 피커더 포함하는,레이저 시스템. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 버스트 펄스 레이저는,제 3 반복 속도에서 레이저 펄스들의 열을 방출하도록 구성된 제 2 레이저 소스와,제 2 레이저 소스에 의해 방출되는 레이저 펄스들의 열을 제 3 반복 속도로부터 제 4 반복 속도로 선택적으로 변경하도록 구성된 제 2 펄스 피커와,제 2 펄스 반복 속도에서 제 1 펄스 피커에 의해 제공되는 레이저 펄스들의 열을 제 4 펄스 반복 속도에서 제 2 펄스 피커에 의해 제공되는 레이저 펄스들의 열과 결합하고, 결합된 제 5 펄스 반복 속도에서 결합된 레이저 펄스 열을 광학 변조기에 제공하도록 구성된 빔 결합기와,제 1 펄스 피커 및 제 2 펄스 피커와 통신하는 제어기로서, 상기 제어기는 제 1 펄스 피커를 제 2 펄스 피커와 동기화하여 버스트 엔벨롭 내 3개 이상의 레이저 펄스들 사이에 시간 간격을 선택적으로 조절하도록 구성되고, 상기 제어기는 제 2 펄스 반복 속도와 제 4 펄스 반복 속도를 선택하는, 제어기포함하는,레이저 시스템. [청구항 15] 제 1 항에 있어서,상기 하나 이상의 증폭기는,이득 파이버 증폭기(gain fiber amplifier)와 고체 소자 증폭기(solid-state amplifier)를 포함하는 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 전치 증폭기와,이득 파이버 증폭기와 고체 소자 증폭기를 포함하는 그룹으로부터 선택되며 하나 이상의 전치 증폭기의 출력을 더 증폭하도록 구성된 하나 이상의 전력 증폭기포함하는,레이저 시스템. [청구항 16] 제 1 항에 있어서,상기 버스트 엔벨롭 내 펄스들의 파장 변환을 제공하기 위해 고조파 생성기더 포함하는,레이저 시스템.