반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판 및 반사형 마스크블랭크 그리고 그것들의 제조방법 document_id 1020117021769

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 다층 반사막은 상기 기준점 마크가 형성된 부분을 포함하는 주표면 상에 상기 다층 반사막형성되어 있는반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 다층 반사막은 적어도 상기 기준점 마크가 형성된부분의주표면상제외하고형성되어 있는반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 4] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기준점 마크는 전자선 주사로 검출 가능한 깊이의 오목형상 또는 전자선 주사로 검출 가능한 높이의 볼록형상가지는반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판과 상기 다층 반사막 사이에 마크 형성용 박막을 구비하고, 상기 기준점 마크는 상기 마크 형성용 박막에 형성된 오목형상, 또는 상기 마크 형성용 박막으로부터 기판에 걸쳐 형성된 오목형상으로 이루어지는반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 마크 형성용 박막은 기판을 에칭하는 에칭 가스에 대해서 내성을 가지는 재료형성되어 있는반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 8] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기준점 마크는 볼록형상으로서 기판을 형성하는 재료와는 다른 재료형성되는반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 9] 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기준점 마크가 형성되는 위치가 상기 기판의 바깥 가장자리에서부터 소정 폭내측인반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 10] 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기준점 마크는 기판의 주표면측에서 본 형상이 십자형상인반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 11] 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기준점 마크를 3개 이상갖고, 상기 3개 이상의 기준점 마크가 일직선상으로 늘어서지 않는 위치형성되어 있는반사형 마스크용 다층 반사막 부착 기판. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 다층 반사막과 상기 흡수체막 사이에 cr을 주성분으로 하는 버퍼막가지는반사형 마스크 블랭크. [청구항 20] 제 18 항에 있어서,상기 다층 반사막과 상기 흡수체막 사이에 ru를 주성분으로 하는 캡핑막가지는반사형 마스크 블랭크.