문맥 (context)
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,이상의 온도로 가열된상기피처리체가상기스테이지탑재되어냉각되는피처리체 처리 장치.
[청구항 11]
제 9 항에 있어서,상기 냉각 가스 토출부가노즐인피처리체 처리 장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 샤워헤드의 직경이 150㎜이내인피처리체 처리 장치.
[청구항 14]
제 12 항에 있어서,상기 샤워헤드의 내부가 복수의 공간에 동심원 형상구획되어 있는피처리체 처리 장치.
[청구항 15]
제 9 항에 있어서,상기 냉각 가스 토출부가 샤워헤드이고, 상기 샤워헤드의 내부가 복수의 공간에 동심원 형상구획되어 있는피처리체 처리 장치.
[청구항 16]
제 14 항에 있어서,상기 냉각 가스가, 냉각 효과가 높은 제 1 냉각 가스와, 상기 제 1 냉각 가스보다 냉각 효과가 낮은 제 2 냉각 가스를 포함하고, 상기 복수의 공간 중, 상기 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 상기 제 1 냉각 가스가 공급되고, 상기 제 2 냉각 가스가, 상기 제 1 냉각 가스가 공급된 공간보다 외측에 있는 공간에 공급되는청구항기재된피처리체 처리 장치.
[청구항 17]
제 15 항에 있어서,상기 냉각 가스가, 냉각 효과가 높은 제 1 냉각 가스와, 상기 제 1의 냉각 가스보다 냉각 효과가 낮은 제 2 냉각 가스를 포함하고, 상기 복수의 공간 중, 상기 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 상기 제 1 냉각 가스가 공급되고, 상기 제 2 냉각 가스가, 상기 제 1 냉각 가스가 공급된 공간보다 외측에 있는 공간에 공급되는청구항기재된피처리체 처리 장치.
[청구항 18]
제 9 항에 있어서,상기 스테이지가 상기 피처리체를 냉각하는 냉각 기구를 더 구비하고 있는청구항기재된피처리체 처리 장치.
[청구항 19]
제 11 항에 있어서,상기 스테이지가 상기 피처리체를 냉각하는 냉각 기구를 더 구비하고 있는청구항기재된피처리체 처리 장치.
[청구항 20]
제 12 항에 있어서,상기 스테이지가 상기 피처리체를 냉각하는 냉각 기구를 더 구비하고 있는청구항기재된피처리체 처리 장치.
[청구항 21]
제 14 항에 있어서,상기 스테이지가 상기 피처리체를 냉각하는 냉각 기구를 더 구비하고 있는청구항기재된피처리체 처리 장치.
[청구항 22]
제 9 항에 있어서,상기 로드록실이, 대기압 상태에서 상기 피처리체를 반입 반출하는 반입출실과, 감압 상태에서 상기 피처리체에 처리를 실시하는 복수의 처리실 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 반송실과의 사이에 마련되고, 상기 대기압 상태와 상기 감압 상태로 압력 변환을 하는 부분이고, 상기 피처리체의 냉각이, 상기 감압 상태에서 상기 대기압 상태로 압력 변환을 할 때에 실행되는 것을 특징으로 하는청구항기재된피처리체 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
샤워헤드의 내부가 복수의 공간으로 동심원 형상 구획된 피처리체 처리 장치에서, 제1 냉각 가스와 제2 냉각 가스가 각각 공급되는 공간의 위치 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation샤워헤드 내부의 동심원 구획된 공간에서 제1 냉각 가스와 제2 냉각 가스가 공급되는 위치 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 16 및 17에서 제1 냉각 가스와 제2 냉각 가스의 공급 위치에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 상기 제 1 냉각 가스가 공급되고, 상기 제 2 냉각 가스가, 상기 제 1 냉각 가스가 공급된 공간보다 외측에 있는 공간에 공급되는
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3근거 선택
evidence_selection제1 냉각 가스는 중심 공간에, 제2 냉각 가스는 그보다 외측 공간에 공급된다는 구절을 선택한다.
- 상기 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 상기 제 1 냉각 가스가 공급되고, 상기 제 2 냉각 가스가, 상기 제 1 냉각 가스가 공급된 공간보다 외측에 있는 공간에 공급되는
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4논리 통합
logical_integration제1 냉각 가스가 중심부에 위치하고, 제2 냉각 가스는 제1 냉각 가스 공간의 바깥쪽(외측)에 위치함을 통해 두 가스 공급 공간의 상대적 위치 관계를 도출한다.
- 상기 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 상기 제 1 냉각 가스가 공급되고, 상기 제 2 냉각 가스가, 상기 제 1 냉각 가스가 공급된 공간보다 외측에 있는 공간에 공급되는
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5결론 도출
conclusion_formulation제1 냉각 가스는 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 공급되며, 제2 냉각 가스는 제1 냉각 가스가 공급되는 공간보다 외측에 있는 공간에 공급된다.
- 상기 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 상기 제 1 냉각 가스가 공급되고, 상기 제 2 냉각 가스가, 상기 제 1 냉각 가스가 공급된 공간보다 외측에 있는 공간에 공급되는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 제1 냉각 가스는 중심 공간에, 제2 냉각 가스는 그 외측 공간에 공급된다는 내용을 바탕으로 답변을 작성한다.
- 상기 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 상기 제 1 냉각 가스가 공급되고, 상기 제 2 냉각 가스가, 상기 제 1 냉각 가스가 공급된 공간보다 외측에 있는 공간에 공급되는
최종 답변 (final_answer)
제1 냉각 가스는 샤워헤드의 중심을 포함하는 공간에 공급되고, 제2 냉각 가스는 제1 냉각 가스가 공급된 공간보다 외측에 있는 공간에 공급된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
냉각 효과가 다른 두 종류의 냉각 가스를 샤워헤드 내부의 동심원 구획 공간에 중심부에서 외측 방향으로 차등 공급하여 피처리체를 냉각하는 기술이다.