도핑된 산화지르코늄 커패시터 물질 및 구조체 document_id 1020117027182

[청구항 1] (a) 전전이금속(early transition metal) 또는 금속 산화물 기제(base) 물질; 및 (b) nb, ge, ta, la, y, ce, pr, nd, gd, dy, sr, ba, ca 및 mg, 및 이들 금속의 산화물, 및 도판트 또는 합금화(alloying) 보조 물질로서의 알루미나로부터 선택되는 도판트, 동시 침착, 합금화 또는 층상화(layering) 보조 물질 을 포함하는 복합 유전성 물질 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,전전이금속선택되는복합 유전성 물질. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,기제 물질이 보조 물질도핑되는복합 유전성 물질. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,기제 물질이 보조 물질과 동시침착되는복합 유전성 물질. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,기제 물질이 보조 물질합금화되는복합 유전성 물질. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,기제 물질이 보조 물질과 층상화되는복합 유전성 물질. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,보조 물질이, 보조 물질이 없는 상응하는 유전성 물질과 비교하여, (a) 누출을 억제하고/하거나, (b) 기제 물질의 상의 안정성을 향상시키고/시키거나, (c) 유전 상수를 증가시키는 한도존재하는복합 유전성 물질. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,유전성 기제 물질이 티탄산지르코늄포함하는복합 유전성 물질. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,기제 물질과 상이하고 보조 물질과 상이한 물질을 포함하는 중간층포함하는복합 유전성 물질. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,복합 유전성 물질이 지르코니아-알루미나-지르코니아(zaz) 유전성 적층체포함하는커패시터 구조체. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,복합 유전성 물질이 zro2 및 tio2로부터 선택되는 기제 물질포함하는커패시터 구조체. [청구항 17] 제 14 항에 있어서,전전이금속 또는 금속 산화물 기제 물질이 하기 화학식의 화합물로부터 선택되는 전구체를 사용하여 침착되는 방법:m(nr2)4[상기 식에서,각각의 r은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소, c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c8 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터 독립적으로 선택되고, m은 전전이금속 종이다];(r1nc(r3r4)mnr2)(ox-n)/2mxn [상기 식에서,r1, r2, r3, r4 및 x는 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소, c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, 치환되거나 치환되지 않은 사이클로펜타다이엔일, c2-c6 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터 독립적으로 선택되고,나열된 탄소 수의 아래첨자 1 내지 12는 알킬 치환기의 탄소 원자의 수를 가리키고,m은 1 내지 6의 값을 갖는 정수이고,x는 c1-c12 알콕시, 카복실레이트, 베타-다이케톤에이트, 베타-다이케티민에이트 및 베타-다이케토이민에이트, 구아니딘에이트, 아미딘에이트 및 아이소우리에이트로부터 선택될 수 있고,c(r3r4)m은 알킬렌일 수 있고,ox는 금속 m의 산화 상태이고,n은 0 내지 ox의 값을 갖는 정수이고,m은 전전이금속 종이다];m(e)2(or3)2 [상기 식에서,e는 치환된 다이오네이토이고,각각의 r3은 서로 동일하거나 상이하고, 각각 c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c8 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터, 바람직하게는 i-프로필 및 t-뷰틸로부터 독립적으로 선택되고, 이때 i-프로필은 아이소프로필이고, t-뷰틸은 3급 뷰틸이고,m은 전전이금속 종이다];m(or3)4 [상기 식에서,각각의 r3은 서로 동일하거나 상이하고, 각각 c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c8 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터, 바람직하게는 i-프로필 및 t-뷰틸로부터 독립적으로 선택되고,m은 전전이금속 종이다];m(opr-i)4-ipa[상기 식에서, ipa는 아이소프로필 알콜이고, opr-i는 아이소프로폭시이고,m은 전전이금속 종이다];(r6r7n)2m(r8nc(r3r4)mnr9)[상기 식에서,r3, r4, r6, r7, r8 및 r9는 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소, c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c8 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터 독립적으로 선택되고,m은 1 내지 6의 값을 갖는 정수이고,m은 전전이금속 종이다];(아미딘에이트)ox-nmxn, (구아니딘에이트)ox-nmxn 및 (아이소우리에이트)ox-nmxn[상기 식에서, 각각의 x는 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소, c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, 치환되거나 치환되지 않은 사이클로펜타다이엔일, c2-c6 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터 독립적으로 선택되고,나열된 탄소 수의 아래첨자 1 내지 12는 알킬 치환기의 탄소 원자의 수를 나타내고,m은 1 내지 6의 값을 갖는 정수이고,x는 c1-c12 알콕시, 카복실레이트, 베타-다이케톤에이트, 베타-다이케티민에이트 및 베타-다이케토이민에이트, 구아니딘에이트, 아미딘에이트 및 아이소우리에이트로부터 선택될 수 있고,ox는 금속 m의 산화 상태이고,n은 0 내지 ox의 값을 갖는 정수이고,m은 전전이금속 종이다]; 및rn=m''(nr''r")3 [상기 식에서, r은 아이소프로필, t-뷰틸 또는 t-아밀이고,r'' 및 r"은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 c1-c4 알킬로부터 독립적선택되고,m''은 탄탈 또는 니오브이다]. [청구항 18] 제 15 항에 있어서,전전이금속 또는 금속 산화물 기제 물질이 하기 화학식의 화합물로부터 선택되는 전구체를 사용하여 침착되는 방법:m(nr2)4[상기 식에서,각각의 r은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소, c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c8 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터 독립적으로 선택되고,m은 전전이금속 종이다];(r1nc(r3r4)mnr2)(ox-n)/2mxn [상기 식에서,r1, r2, r3, r4 및 x는 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소, c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c6 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터 독립적으로 선택되고,나열된 탄소 수의 아래첨자 1 내지 12는 알킬 치환기의 탄소 원자의 수를 가리키고,m은 1 내지 6의 값을 갖는 정수이고,x는 c1-c12 알콕시, 카복실레이트, 베타-다이케톤에이트, 베타-다이케티민에이트 및 베타-다이케토이민에이트, 구아니딘에이트, 아미딘에이트 및 아이소우리에이트로부터 선택될 수 있고,c(r3r4)m은 알킬렌일 수 있고,ox는 금속 m의 산화 상태이고,n은 0 내지 ox의 값을 갖는 정수이고,m은 전전이금속 종이다];m(e)2(or3)2 [상기 식에서,e는 치환된 다이오네이토이고,각각의 r3은 서로 동일하거나 상이하고, 각각 c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c8 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터, 바람직하게는 i-프로필 및 t-뷰틸로부터 독립적으로 선택되고, 이때 i-프로필은 아이소프로필이고, t-뷰틸은 3급 뷰틸이고,m은 전전이금속 종이다];m(or3)4 [상기 식에서,각각의 r3은 서로 동일하거나 상이하고, 각각 c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c8 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터, 바람직하게는 i-프로필 및 t-뷰틸로부터 독립적으로 선택되고,m은 전전이금속 종이다];m(opr-i)4-ipa[상기 식에서, ipa는 아이소프로필 알콜이고, opr-i는 아이소프로폭시이고,m은 전전이금속 종이다];(r6r7n)2m(r8nc(r3r4)mnr9)[상기 식에서,r3, r4, r6, r7, r8 및 r9는 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소, c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c8 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터 독립적으로 선택되고,m은 1 내지 6의 값을 갖는 정수이고,m은 전전이금속 종이다];(아미딘에이트)ox-nmxn, (구아니딘에이트)ox-nmxn 및 (아이소우리에이트)ox-nmxn[상기 식에서, 각각의 x는 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 수소, c1-c12 알킬, c3-c10 사이클로알킬, c2-c6 알켄일, 예컨대, 비닐, 알릴 등, c1-c12 알킬실릴, 예컨대 모노알킬실릴, 다이알킬실릴 및 트라이알킬실릴, c6-c10 아릴, -(ch2)xnr''r", -(ch2)xor"'' 및 -nr''r"으로부터 독립적으로 선택되고,x는 1, 2 또는 3이고,r'', r" 및 r"''은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 h 및 c1-c12 알킬로부터 독립적으로 선택되고,나열된 탄소 수의 아래첨자 1 내지 12는 알킬 치환기의 탄소 원자의 수를 나타내고,m은 1 내지 6의 값을 갖는 정수이고,x는 c1-c12 알콕시, 카복실레이트, 베타-다이케톤에이트, 베타-다이케티민에이트 및 베타-다이케토이민에이트, 구아니딘에이트, 아미딘에이트 및 아이소우리에이트로부터 선택될 수 있고,ox는 금속 m의 산화 상태이고,n은 0 내지 ox의 값을 갖는 정수이고,m은 전전이금속 종이다]; 및rn=m''(nr''r")3 [상기 식에서, r은 아이소프로필, t-뷰틸 또는 t-아밀이고,r'' 및 r"은 서로 동일하거나 상이할 수 있고, 각각 c1-c4 알킬로부터 독립적선택되고,m''은 탄탈 또는 니오브이다].