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워크피스 핸들링 시스템 document_id 1020117029279

출원번호
1020117029279
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 이온 주입을 위한 워크피스를 지지하는 처리 챔버 상기 처리 챔버의 외측의 마스크 스테이션 내에 저장되는 제1 마스크; 및 상기 마스크 스테이션으로부터 상기 제1 마스크를 회수하고, 상기 제1 마스크를 상기 워크피스의 상향에 배치하여 상기 워크피스에 상기 제1 마스크를 통해 제1 선택적 주입이 수행되게 하는 로봇 시스템을 포함하는 워크피스 핸들링 시스템 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,로드 락 챔버를 더 포함하며, 상기 마스크 스테이션은상기로드락챔버내배치되는것을특징으로 하는핸들링 시스템. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 처리 챔버 내에 배치되어 상기 이온 주입을 위한 워크피스를 지지하는 클램핑 어셈블리를 더 포함하며,상기 클램핑 어셈블리는,상기 워크 피스를 지지하는 클램핑 표면을 갖는 클램프; 및상기 클램핑 표면으로부터 연장된 위치로 연장되는 2개의 수축 가능한 리프트 핀들을 구비하며,상기 2개의 수축 가능한 리프트 핀들은 상기 워크피스를 지지하는 제1 평면과 상기 연장된 위치에서 상기 제1 마스크를 지지하는제2평면한정하는것을특징으로 하는핸들링 시스템. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 클램핑 어셈블리는 상기 클램프의 상기 클램핑 표면으로부터 연장되는 포스트를 더 구비하며, 상기 포스트는 상기 2개의 수축 가능한 리프트 핀들이 수축된 위치로 들어갈 경우에 상기 제1 마스크의 해당 구멍에 맞물려상기마스크와상기워크피스의정렬하는것을특징으로 하는핸들링 시스템. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 처리 챔버 외측의 상기 마스크 스테이션 내에 저장되는 제2 마스크를 더 포함하며, 상기 로봇 시스템은 상기 제2 마스크를 회수하고 상기 워크피스의 상향에 상기 제2 마스크를 배치하여 상기 워크피스에 대해 상기 제2 마스크를 통해 제2 선택적 주입이 수행되며, 상기 제1 선택적 주입과 상기 제2 선택적 주입이 함께 원하는 총체적인선택적주입패턴제공하는것을특징으로 하는핸들링 시스템. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 마스크 스테이션은 상기 마스크 스테이션에 저장될 때에 상기 제1 마스크를 지지하는복수의비열전도성패드들포함하는것을특징으로 하는핸들링 시스템. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 마스크 스테이션은 상기 마스크 스테이션에 저장될 때에 상기 제1 마스크를 가열하는히터포함하는것을특징으로 하는핸들링 시스템. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 마스크 스테이션은 상기 마스크 스테이션에 저장될 때에 상기 제1 마스크를 냉각시키는냉각유닛포함하는것을특징으로 하는핸들링 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
워크피스 핸들링 시스템에서 클램핑 어셈블리의 2개의 수축 가능한 리프트 핀들이 형성하는 두 개의 평면은 각각 무엇을 지지하기 위한 것인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    클램핑 어셈블리의 2개의 수축 가능한 리프트 핀이 형성하는 두 개의 평면(제1 평면, 제2 평면)이 각각 무엇을 지지하는지 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 리프트 핀이 형성하는 제1 평면과 제2 평면에 대한 설명을 추출한다.

    • 상기 2개의 수축 가능한 리프트 핀들은 상기 워크피스를 지지하는 제1 평면과 상기 연장된 위치에서 상기 제1 마스크를 지지하는제2평면한정하는것을특징으로 하는핸들링 시스템
  3. 3근거 선택evidence_selection

    제1 평면은 워크피스를 지지하고, 제2 평면은 제1 마스크를 지지한다는 구절을 선택한다.

    • 상기 2개의 수축 가능한 리프트 핀들은 상기 워크피스를 지지하는 제1 평면과 상기 연장된 위치에서 상기 제1 마스크를 지지하는제2평면한정하는것을특징으로 하는핸들링 시스템
  4. 4논리 통합logical_integration

    리프트 핀이 형성하는 제1 평면의 기능은 워크피스 지지이며, 제2 평면의 기능은 제1 마스크 지지임을 연결한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    제1 평면은 워크피스를 지지하고, 제2 평면은 제1 마스크를 지지한다는 결론을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 구조화된 형식으로 답변을 생성한다.

최종 답변 (final_answer)
제1 평면은 워크피스를 지지하고, 제2 평면은 제1 마스크를 지지한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
클램핑 어셈블리의 리프트 핀은 수축/연장 동작을 통해 워크피스와 제1 마스크를 각각 지지하는 평면을 형성하여 공정 정렬 및 지지를 수행한다.