문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,체부 내에 마련되며, 상기 소스 박스의 측벽을 형성하되 상기 기판에 대한 상기 증착물질의 증착 영역을 제한하는 각도 제한판을 더 포함하며,상기 슬라이딩 셔터는 상기 각도 제한판의 상부 영역에 배치되며, 오픈(open)시상기소스 박스의개구부전영역을완전개폐하는것을특징으로 하는소스 어셈블리.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 각도 제한판과 상기 슬라이딩 셔터 사이에 배치되어 상기 증착물질을 감지하는 센서;상기 소스 박스에 연결되는 히터; 및상기 센서에 의한 증착물질의 감지량에 기초하여 상기 히터의 동작을 제어하는제어부더포함하는것을특징으로 하는소스 어셈블리.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 소스 박스는 다수의 소스 박스이며,상기 슬라이딩 셔터는 상기 다수의 소스 박스의 개구부를 선택적으로 개폐하도록상기소스 박스의개수마련되는것을특징으로 하는소스 어셈블리.
[청구항 5]
제1항에 있어서,체부에 마련되어 상기 슬라이딩 셔터의 슬라이딩 이동을 안내하는 엘엠 가이드(lm guide); 및상기 본체부에 마련되어 상기 슬라이딩 셔터의 슬라이딩 이동을 위한 동력을 제공하는셔터실린더더포함하는것을특징으로 하는소스 어셈블리.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 소스 박스는 제1 내지 제3 소스 박스이며,상기 슬라이딩 셔터는 제1 및 제2 슬라이딩 셔터이며,상기 제1 및 제2 슬라이딩 셔터가 상기 제1 내지 제3 소스 박스의 개구부를 개별적으로 개폐할 수 있도록 상기 셔터 실린더는2단스트로크실린더마련되는것을특징으로 하는소스 어셈블리.
[청구항 8]
제7항에 있어서,체부 내에 마련되며, 상기 소스 박스의 측벽을 형성하되 상기 기판에 대한 상기 증착물질의 증착 영역을 제한하는 각도 제한판을 더 포함하며,상기 슬라이딩 셔터는 상기 각도 제한판의 상부 영역에 배치되며, 오픈(open)시상기소스 박스의개구부전영역을완전개폐하는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 각도 제한판과 상기 슬라이딩 셔터 사이에 배치되어 상기 증착물질을 감지하는 센서;상기 소스 박스에 연결되는 히터; 및상기 센서에 의한 증착물질의 감지량에 기초하여 상기 히터의 동작을 제어하는제어부더포함하는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 10]
제7항에 있어서,상기 소스 박스는 다수의 소스 박스이며,상기 슬라이딩 셔터는 상기 다수의 소스 박스의 개구부를 선택적으로 개폐하도록상기소스 박스의개수마련되는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 11]
제7항에 있어서,체부에 마련되어 상기 슬라이딩 셔터의 슬라이딩 이동을 안내하는 엘엠 가이드(lm guide); 및상기 본체부에 마련되어 상기 슬라이딩 셔터의 슬라이딩 이동을 위한 동력을 제공하는셔터실린더더포함하는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 12]
제7항에 있어서,상기 소스 어셈블리와 연결되는 케이블(cable)을 지지하며, 상기 공정 챔버에 대해 상기 소스 어셈블리가 이동될 수 있도록 양측이 상기 공정 챔버와 상기 소스 어셈블리에 접철 가능하게 연결되되 링크(link)식으로 접철 구동되는링크형케이블베어더포함하는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 링크형 케이블베어는,다수의 메인 링크 아암;상기 다수의 메인 링크 아암 중 어느 하나와 연결되고 상기 공정 챔버에 결합되는 챔버측 링크 아암;상기 다수의 메인 링크 아암 중 다른 하나와 연결되고 상기 소스 어셈블리에 결합되는 소스 어셈블리측 링크 아암; 및상기 다수의 메인 링크 아암, 상기 챔버측 링크 아암 및 상기 소스 어셈블리측 링크 아암 사이에서 해당 아암들을 회전시키는 다수의 링크부를포함하는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 다수의 메인 링크 아암, 상기 챔버측 링크 아암 및 상기 소스 어셈블리측 링크 아암 모두는 직선형 플레이트 형상으로 제작되며,상기 다수의 메인 링크 아암과, 상기 챔버측 링크 아암 및 상기 소스 어셈블리측 링크 아암은 상호간 교차되는방향배치되는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 15]
제13항에 있어서,상기 챔버측 링크 아암은 상기 소스 어셈블리측 링크 아암보다 낮은위치배치되는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 16]
제13항에 있어서,상기 다수의 메인 링크 아암, 상기 챔버측 링크 아암 및 상기 소스 어셈블리측 링크 아암 모두에는 상기 케이블의 지지를 위한 다수의 케이블 지지홀더가 결합되며,상기 다수의 메인 링크 아암, 상기 챔버측 링크 아암 및 상기 소스 어셈블리측 링크 아암 모두에는관통공형성되는것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
[청구항 17]
제7항에 있어서,상기 공정 챔버와 상기 소스 어셈블리에는 상기 소스 어셈블리가 이동되는 방향을 따라 레일이 마련되며,상기 기판은유기전계발광소자기판인것을특징으로 하는평판표시소자용 기판 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
평판표시소자용 기판 증착장치에서 센서의 감지량에 기초하여 히터의 동작을 제어하기 위해 필요한 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation센서의 감지량에 기초하여 히터의 동작을 제어하는 데 필요한 구성 요소들을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9에서 센서, 히터, 그리고 제어부에 관한 기술적 구성을 확인한다.
- 상기 각도 제한판과 상기 슬라이딩 셔터 사이에 배치되어 상기 증착물질을 감지하는 센서;상기 소스 박스에 연결되는 히터; 및상기 센서에 의한 증착물질의 감지량에 기초하여 상기 히터의 동작을 제어하는제어부
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '센서의 감지량에 기초하여 히터의 동작을 제어'하는 기능과 직접 연결된 구성 요소들을 선택한다.
- 상기 증착물질을 감지하는 센서;상기 소스 박스에 연결되는 히터; 및상기 센서에 의한 증착물질의 감지량에 기초하여 상기 히터의 동작을 제어하는제어부
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4논리 통합
logical_integration센서가 감지량을 제공하고, 제어부가 그 감지량에 따라 히터의 동작을 제어하므로, 이 세 가지 요소가 유기적으로 결합되어야 한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation필요한 구성 요소는 센서, 히터, 제어부임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
센서, 히터, 제어부
핵심 해석 (core_interpretation)
증착물질을 감지하는 센서로부터 얻은 데이터를 바탕으로 제어부가 히터의 동작을 조절함으로써 증착 공정을 제어하는 구성에 관한 것이다.