병합소스를 이용한 ＣＩＧＳ 박막증착장치 document_id 1020120000823

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,다수개의 소스부는 하우징과, 상기 하우징 내부에 위치하며 소스를 구비한 도가니와, 상기 도가니 외측과 상기 하우징 내측 사이에 구비된 발열부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 도가니는, 상부가 개방되고 하부가 밀폐된 원통형상의 도가니몸체와 상부덮개로 구성되며, 상기 도가니몸체는 내측 테두리를 따라 환형으로 배치된 하부가 밀폐된 소스저장부와, 상기 도가니몸체의 중심축상에 상하부가 개방되도록 형성되며, 상부는 상기 소스저장부의 상부와 연통되도록 구성되어, 증발소스를 하방향으로 확산이동시키는 이동부로 구성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 증발가이드부는 가이드몸체와, 전단부는 상기 다수개 소스부의 각각의 이동부 하부에 연통되도록 착탈가능하게 결합되고 후단부는 상기 가이드몸체의 상부에 연통되도록 결합된 다수개의 제1 분지가이드와, 전단부는 상기 가이드몸체의 하부에 연통되도록 결합되고 후단부는 상기 병합부에 연통되도록 결합된 제2 분지가이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,다수개의 제1 분지가이드의 내측 및 상기 제2 분지가이드의 내측에는 깔대기 형상의 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 증발가이드부는 전단부는 상기 다수개 소스부의 각각의 이동부 하부에 연통되도록 착탈가능하게 결합되고 후단부는 상기 병합부 상부에 연통되도록 결합된 다수개의 제3 분지가이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,다수개의 제3 분지가이드의 내측에는 깔대기 형상의 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 병합부는 일정부피의 내부공간인 병합룸을 구비하고, 상기 병합룸 상부에는 상기 증발가이드부와 연통되는 제1 인입부가 형성되며 상기 병합룸 하부에는 상기 노즐분사부와 연통되는 배출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 병합부의 배출부 내측에는 깔대기 형상의 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 노즐분사부는내부공간이 구비된 다각형 단면의 바(bar) 형상으로 길이방향의 상부면에 상기 병합부와 연통되도록 결합하는 제2 인입부가 형성되고, 하부면에 길이를 따라 다수개의 노즐이 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 11] 제 4 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 증발가이드부, 상기 병합부, 및 상기 노즐분사부에는 각각 발열부재가 구비되고, 상기 발열부재 외측에는 방열판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 12] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 발열부재 외측에는 방열판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 13] 제 2 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 도가니는, 상부가 개방되고 하부가 밀폐된 다각박스형의 도가니몸체와 상부덮개로 구성되고, 상기 도가니몸체는 일측은 하부가 밀폐된 소스저장부, 타측은 상기 소스저장부의 상부와 연통되며 하부가 개방된 이동부로 양분되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 14] 제 2 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 도가니의 이동부 상부에는 깔대기 형상의 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 15] 제 2 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 도가니몸체는 다각박스형상인 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 16] 제 2 항에 있어서,상기 도가니는, 상부가 개방되고 하부가 밀폐된 원통형상의 도가니몸체인 소스저장부와 상부덮개로 구성되며, 상기 상부덮개에는 증발소스를 상방향으로 확산이동시키는 배기부가 형성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 17] 제 2 항에 있어서,상기 도가니는, 상부가 개방되고 하부가 밀폐된 원통형상의 몸체인 소스저장부와 상부덮개로 구성되며, 상기 소스저장부 측면상부에는 증발소스를 수평방향으로 확산이동시키는 배기부가 형성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 18] 제 16 항 또는 제17 항에 있어서,상기 증발가이드부는 가이드몸체와, 전단부는 상기 다수개 소스부의 각각의 배기부에 각각 연통되도록 착탈가능하게 결합되고 후단부는 상기 가이드몸체의 일측에 연통되도록 결합된 다수개의 제1 분지가이드와, 전단부는 상기 가이드몸체의 타측에 연통되도록 결합되고 후단부는 상기 병합부의 일측에 연통되도록 결합된 제2 분지가이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,다수개의 제1 분지가이드의 내측 및 상기 제2 분지가이드의 내측에는 깔대기 형상의 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 20] 제 18 항에 있어서,상기 증발가이드부에는 발열부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 발열부재 외측에는 방열판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 22] 제 16 항 또는 제17 항에 있어서,상기 증발가이드부는 전단부는 상기 다수개 소스부의 각각의 배기부에 각각 연통되도록 착탈가능하게 결합되고 후단부는 상기 병합부 일측에 연통되도록 결합된 제3 분지가이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,다수개의 제3 분지가이드의 내측에는 깔대기 형상의 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 24] 제 22 항에 있어서,상기 증발가이드부에는 발열부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 발열부재 외측에는 방열판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 26] 제 16 항 또는 제17항에 있어서,상기 병합부는 일정부피의 내부공간인 병합룸을 구비하고, 상기 병합룸 일측면에는 상기 증발가이드부와 연통되는 제1 인입부가 형성되며 상기 병합룸 타측면에는 상기 노즐분사부와 연통되는 배출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,상기 병합부의 배출부 내측에는 깔대기 형상의 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 28] 제 26 항에 있어서,상기 병합부에는 발열부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 29] 제 28 항에 있어서,상기 발열부재 외측에는 방열판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,상기 이동부 상부, 상기 증발가이드부의 제1 분지가이드의 내측과 제2 분지가이드의 내측, 및 상기 병합부의 배출부 내측에 각각 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 33] 제 32 항에 있어서,상기 이동부 상부, 상기 증발가이드부의 제1 분지가이드의 내측과 제2 분지가이드의 내측, 및 상기 병합부의 배출부 내측에 각각 노즐이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 35] 제 34 항에 있어서,상기 소스챔버가 다수개 구비된 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 36] 제 35 항에 있어서,다수개의 소스챔버가 각각 결합된 다수개의 게이트밸브는 순차적으로 개폐가 제어되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 37] 제 34 항에 있어서,상기 증발가이드부는 가이드몸체와, 전단부는 상기 다수개 소스부에 연통되도록 착탈가능하게 결합되고 후단부는 상기 가이드몸체에 연통되도록 결합된 다수개의 제1 분지가이드와, 전단부는 상기 가이드몸체에 연통되도록 결합되고 후단부는 상기 병합부에 연통되도록 결합된 제2 분지가이드로 구성되며,상기 제2 분지가이드는 상기 전단부측과 후단부측이 양분되어 연결부로 결합되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 38] 제 37 항에 있어서,상기 제2 분지가이드의 전단부측 연결부에는 단차를 가진 돌출부가 형성되고, 후단부측 연결부에는 상기 돌출부에 대응되는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치. [청구항 39] 제 34 항 내지 제 38 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 소스챔버내의 다수개 소스부의 하부에는 이동장치가 구비되어, 상기 다수개 소스부의 상하이동 또는 좌우이동이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 병합소스이용한cigs 박막증착장치.