솔더볼 어태치 방법 및 그 장치 document_id 1020120004152

[청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 어태치 마스크는 자성체를 포함하고, 상기 기판척에는 상기 어태치 마스크를 위치 고정시키는 전자석이 구비된 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 15] 제 13항에 있어서,상기 솔더볼 공급기는 리니어 피더에 의해 솔더볼을 상기 어태치 마스크의 표면에 낙하시키는 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 16] 제13항에 있어서,상기 솔더볼 공급기는 상기 어태치 마스크의 일측에서 왕복 이동하면서 솔더볼을 상기 어태치 마스크의 일측에 낙하시키는 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 17] 제13항에 있어서,상기 어태치 마스크는, 상기 수용공이 패턴 형태로 형성된 금속 박판과, 상기 금속 박판의 둘레를 연결하는 지지재로 이루어지고, 상기 지지재는 자성체로 형성된 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 어태치 마스크는 스텐레스 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 19] 제13항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판을 위치 고정시키는 플럭스 기판척과;상기 플럭스 기판척에 상기 기판을 위치 고정한 상태에서 상기 어태치 마스크의 패턴 배열로 플럭스를 도팅하는 플럭스 도팅부와;플럭스가 도팅된 상기 기판을 상기 기판척으로 이송하는 기판 이송기를;더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 20] 제13항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판척에는 상기 수용공에 안착되지 않은 솔더볼을 모으는 수집홈이 형성된 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 21] 제 13항에 있어서,상기 어태치 마스크의 표면을 이동하면서 상기 수용공에 안착되지 않은 솔더볼을 흡입하여 수집하는 솔더볼 흡입기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 22] 제 21항에 있어서,상기 어태치 마스크의 수용공에 안착된 솔더볼 상태를 확인하는 검사 비젼을;더 포함하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 23] 제 22항에 있어서,상기 검사 비젼과 상기 솔더볼 흡입기는 함께 이동하는 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치. [청구항 24] 제 13항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 솔더볼은 직경이 50㎛ 내지 300㎛인 것을 특징으로 하는 솔더볼어태치 장치.