기판 피치 변경 장치 document_id 1020120008099

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판 홀딩수단은 기판의 일 측면을 진공으로 흡착하여 고정하는 기판 흡착 패드이며, 상기 기판 이동부는, l 개의 기판 흡착 패드가 평행하게 구비되는 패드부;상기 패드부를 승강하는 패드부 승강수단;상기 패드부 승강수단을 수평 방향으로 이동시키는 패드부 수평 이동수단;을 포함하는 것을특징으로하는기판 피치변경장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 기판 이동부에는, 상기 패드부 수평 이동수단에 설치되어 함께 이동하되, 상기 패드부가 완전히 상승한 상태에서 상기 패드부 하측에 위치되며, 각 패드부에 흡착 고정된 기판의 양 측부가 삽입되는 기판 안내 수단이 더 구비되는 것을특징으로하는기판 피치변경장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 패드부는, 상기 기판 흡착 패드가 l 개 이하로 구비되는 다수개의 패드부로 구성되며, 각 패드부는 독립적으로 상하 구동하는 것을특징으로하는기판 피치변경장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 소폭 카세트 지지부는,상기 소폭 카세트를 지지 고정하는 소폭 카세트 고정부;상기 소폭 카세트 고정부를 상기 기판 이동부의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키는 소폭 카세트 수평 이동부;를 포함하는 것을특징으로하는기판 피치변경장치 [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 소폭 카세트 지지부에는, 상기 소폭 카세트 고정부 하측에 설치되며, 상기 소폭 카세트에 삽입되어 있는 상기 기판을 하측에서 상측으로 일정 높이로 밀어올리는 기판 상승 수단이 더 구비되는 것을특징으로하는기판 피치변경장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 기판 상승 수단은, 상기 소폭 카세트에 형성되어 있는 슬릿에 삽입될 수 있는 두께로 형성되며, 상승하면서 상기 소폭 카세트의 슬릿에 삽입되어 있는 기판의 하부를 밀어올리는 다수개의 슬릿 통과 판넬;상기 다수개의 슬릿 통과 판넬이 기립된 상태로 평행하게 설치되는 판넬 설치부;상기 판넬 설치부와 결합되어 설치되며, 상기 판넬 설치부를 승강시키는 판넬 승강부;를 포함하는 것을특징으로하는기판 피치변경장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 판넬 설치부를 수평 방향으로 이동시키는 판넬 수평 이동부가 더 구비되는 것을특징으로하는기판 피치변경장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 광폭 카세트 지지부는, 상기 광폭 카세트를 지지 고정하는 광폭 카세트 고정부;상기 광폭 카세트 고정부를 상기 기판 이동부의 수평 이동 방향과 수직되는 방향으로 수평 이동시키는 광폭 카세트 수평 이동부;를 포함하는 것을특징으로하는기판 피치변경장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 광폭 카세트 지지부에는, 상기 광폭 카세트 고정부의 양 측에 전후진 가능하게 설치되며, 상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판 양 측부를 삽입하여 기판 간격을 일정하게 조정하는 기판 얼라이너부가 더 구비되는 것을 특징기판 피치변경장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 광폭 카세트 지지부에는, 상기 광폭 카세트 고정부를 일단을 회전 중심으로하여 타단을 일정 각도로 회전시키는 틸팅 수단이 더 구비되는 것을특징으로하는기판 피치변경장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 광폭 카세트 지지부에는, 상기 광폭 카세트 고정부 하측에 상하 방향으로 승강가능하게 설치되며, 상기 광폭 카세트 고정부에 고정된 상기 광폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판 하면을 밀어올려서 상승시키는 기판 상승 지그가 더 구비되는 것을특징으로하는기판 피치변경장치.