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워크 분할장치 및 워크 분할방법 document_id 1020120013857

출원번호
1020120013857
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 선택적 냉각수단은 상기 워크가 상기 다이 어태치 필름(die attach film)을 통해서 첨부된 상기 다이싱 테이프에 접촉해서 열전달에 의해 냉각하는냉각수단인것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 선택적 냉각 수단은 냉동척테이블인것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 4] 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 워크 분할수단은 상기 냉각된 워크의 외주부를 상기 다이싱 테이프의 외주 지지부에서 상대적으로 밀어 올려서 익스팬드하는 쳐링인것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 5] 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 기재한 워크 분할장치에 있어서,더구나 상기 익스팬드된 워크의 영역을 덮도록 밑바닥의 원통 형상을 갖는 승강 가능하게 배치되어 하강했을 때에 상기 워크를 덮는 웨이퍼 커버를 갖추고, 상기 선택적 가열수단은 그 웨이퍼 커버의 주위에 승강 가능하게배치된것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 워크 분할수단은 상기 냉각된 워크의 외주부를 상기 다이싱테이프의 외주 지지부에서 상대적으로 밀어 올려서 익스팬드 하는 쳐 올리기용 링이며, 상기 웨이퍼 커버가 하강해서 상기 워크를 덮을 때에는 그 웨이퍼 커버의 측부의 선단면이 상기 익스팬드 하고 있는 쳐 올리기용 링의 선단면과 맞댈 수 있어상기워크를상기웨이퍼 커버내부밀폐하는것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 7] 제 5항에 있어서,상기 선택적 가열수단은 상기 워크를 덮고 있는 웨이퍼 커버의 주위를 일정한 주기로 회전 가능하게배치되어있는것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 14] 제 4항에 기재한 워크 분할장치에 있어서,더구나 상기 익스팬드된 워크의 영역을 덮도록 밑바닥의 원통 형상을 갖는 승강 가능하게 배치되어 하강했을 때에 상기 워크를 덮는 웨이퍼 커버를 갖추고, 상기 선택적 가열수단은 그 웨이퍼 커버의 주위에 승강 가능하게배치된것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 워크 분할수단은 상기 냉각된 워크의 외주부를 상기 다이싱테이프의 외주 지지부에서 상대적으로 밀어 올려서 익스팬드 하는 쳐 올리기용 링이며, 상기 웨이퍼 커버가 하강해서 상기 워크를 덮을 때에는 그 웨이퍼 커버의 측부의 선단면이 상기 익스팬드 하고 있는 쳐 올리기용 링의 선단면과 맞댈 수 있어상기워크를상기웨이퍼 커버내부밀폐하는것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 16] 제 6항에 있어서,상기 선택적 가열수단은 상기 워크를 덮고 있는 웨이퍼 커버의 주위를 일정한 주기로 회전 가능하게배치되어있는것을특징으로 하는워크 분할장치. [청구항 17] 제 15항에 있어서,상기 선택적 가열수단은 상기 워크를 덮고 있는 웨이퍼 커버의 주위를 일정한 주기로 회전 가능하게배치되어있는것을특징으로 하는워크 분할장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
워크 분할장치에서 웨이퍼 커버가 하강하여 워크를 덮을 때, 워크를 내부 밀폐하기 위해 웨이퍼 커버의 선단면과 맞닿는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    웨이퍼 커버가 하강하여 워크를 덮을 때, 워크를 내부 밀폐하기 위해 커버의 선단면과 맞닿는 구성 요소를 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 6(및 15)에서 웨이퍼 커버의 선단면이 무엇과 맞닿아 워크를 밀폐하는지에 대한 설명을 추출한다.

    • 상기 웨이퍼 커버가 하강해서 상기 워크를 덮을 때에는 그 웨이퍼 커버의 측부의 선단면이 상기 익스팬드 하고 있는 쳐 올리기용 링의 선단면과 맞댈 수 있어상기워크를상기웨이퍼 커버내부밀폐하는것을특징으로 하는워크 분할장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    웨이퍼 커버의 선단면과 맞닿는 대상이 '쳐 올리기용 링의 선단면'임을 명시한 구절을 선택한다.

    • 웨이퍼 커버의 측부의 선단면이 상기 익스팬드 하고 있는 쳐 올리기용 링의 선단면과 맞댈 수 있어
  4. 4논리 통합logical_integration

    웨이퍼 커버의 선단면이 쳐 올리기용 링의 선단면과 맞닿음으로써 워크를 내부 밀폐한다는 인과관계를 확인한다.

    • 웨이퍼 커버의 측부의 선단면이 상기 익스팬드 하고 있는 쳐 올리기용 링의 선단면과 맞댈 수 있어상기워크를상기웨이퍼 커버내부밀폐하는것을특징으로 하는워크 분할장치
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 직접적인 답변으로 '쳐 올리기용 링'을 도출한다.

    • 쳐 올리기용 링의 선단면
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 구성 요소인 '쳐 올리기용 링'을 최종 답변으로 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
쳐 올리기용 링
핵심 해석 (core_interpretation)
웨이퍼 커버의 선단면과 익스팬드된 쳐 올리기용 링의 선단면을 맞닿게 함으로써, 워크를 웨이퍼 커버 내부로 밀폐하는 구조를 제공한다.