문맥 (context)
[청구항 1]
기판을 연마하도록 구성되는 연마 장치에 있어서
상기 연마 장치는,
제1 연마 테이블, 상기 제1 연마 테이블에 인접하여 배치되는 제1 기판 로딩부, 상기 제1 연마 테이블과 상기 제1 기판 로딩부의 상부에 설치되는 제1 연마 헤드 조립체 이동 장치, 및 상기 제1 연마 헤드 조립체 이동 장치에 체결되어 상기 제1 기판 로딩부와 상기 제1 연마 테이블을 왕복하면서 상기 제1 기판 로딩부로부터 기판을 흡착하여 상기 제1 연마 테이블 상에서 연마하도록 구성되는 하나의 제1 연마 헤드 조립체를 포함하는 제1 연마부; 및
제2 연마 테이블, 상기 제2 연마 테이블에 인접하여 배치되는 제2 기판 로딩부, 상기 제2 연마 테이블과 상기 제2 기판 로딩부의 상부에 설치되는 제2 연마 헤드 조립체 이동 장치, 및 상기 제2 연마 헤드 조립체 이동 장치에 체결되어 상기 제2 기판 로딩부와 상기 제2 연마 테이블을 왕복하면서 상기 제2 기판 로딩부로부터 기판을 흡착하여 상기 제2 연마 테이블 상에서 연마하도록 구성되는 하나의 제2 연마 헤드 조립체들을 포함하는 제2 연마부
를 포함하며,
상기 제1 연마 테이블, 상기 제1 기판 로딩부, 상기 제2 기판 로딩부 및 상기 제2 연마 테이블은 상기 연마 장치의 길이 방향을 따라서 상기 연마 장치의 제1 끝단 및 상기 제1 끝단의 맞은편인 제2 끝단 사이에서 일렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 연마 장치
[청구항 2]
제1 항에 있어서,상기 제1 연마 테이블이 상기 연마 장치의 상기 제1 끝단에 배치되며, 상기 제1 기판 로딩부, 상기 제2 기판 로딩부 및 상기 제2 연마 테이블은 상기 연마 장치의 길이 방향을 따라서 상기 제1 연마 테이블로부터 상기 제1 기판 로딩부, 상기 제2 기판 로딩부, 상기 제2 연마 테이블의 순서로일렬배치되는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 3]
제1 항에 있어서,상기 제1 연마 헤드 조립체 이동 장치는 상기 하나의 제1 연마 헤드 조립체가 체결되어 상기 제1 기판 로딩부와 상기 제1 연마 테이블 사이에서 이동 가능하도록 구성되는 제1 직선 트랙을 포함하며, 상기 제2 연마 헤드 조립체 이동 장치는 상기 하나의 제2 연마 헤드 조립체가 체결되어 상기 제2 기판 로딩부와 상기 제2 연마 테이블 사이에서 이동 가능하도록 구성되는 제2 직선 트랙을 포함하는 것을포함하는것을특징으로 하는연마 장치.
[청구항 4]
제3 항에 있어서,상기 제1 직선 트랙과 상기 제2 직선 트랙이 하나의 트랙으로통합된것을특징으로 하는기판 연마 장치.
[청구항 5]
제1 기판 이송부, 제2 기판 이송부, 연마 장치, 및 세정 장치를 포함하는 기판 연마용 가공 장치에 있어서,
상기 연마 장치는 상기 제1 항의 연마 장치이며,
상기 세정 장치는 상기 세정 장치의 제1 끝단에 배치되는 기판 건조부, 상기 세정 장치의 제1 끝단의 맞은 편인 제2 끝단에 배치되는 기판 입력부, 상기 기판 입력부와 상기 기판 건조부 사이에 일렬로 배치되는 적어도 하나의 기판 세정부, 및 상기 세정 장치의 상부에 배치되는 트랙, 및 상기 트랙에 이동 가능하도록 체결되어 기판을 상기 기판 입력부로부터 상기 적어도 하나의 기판 세정부를 거쳐서 상기 기판 건조부로 이송하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 그리핑 장치를 포함하는 기판 직선 이송 장치를 포함하며,
상기 제2 기판 이송부는 상기 제2 기판 이송부의 제1 끝단에 배치되는 입력 기판 거치대, 및 기판을 상기 입력 기판 거치대로부터 상기 연마 장치의 상기 제1 및 제2 기판 로딩부로 전달하며, 기판을 상기 제1 및 제2 기판 로딩부로터 상기 세정 장치의 상기 기판 입력부로 전달하도록 구성되는 기판 이송 장치를 포함하며,
상기 제1 기판 이송부는 상기 제2 기판 이송부의 입력 기판 거치대로 기판을 전달하며, 상기 세정 장치의 기판 건조부로부터 기판을 이송하도록 구성되는 기판 이송 장치를 포함하며,
상기 연마 장치, 상기 세정 장치 및 상기 제2 기판 이송부 각각의 상기 제1 끝단들은 상기 제1 기판 이송부에 인접하여 배치되며, 상기 연마 장치와 상기 세정 장치는 상기 제2 기판 이송부를 사이에 두고 상기 기판 연마용 가공 장치의 길이 방향을 따라서 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 연마용 가공 장치
[청구항 6]
제5 항에 있어서,적어도 하나의 기판 세정부는 각각 2 개의 기판 세정 챔버를 포함하며, 상기 세정 장치의 상기 기판 이송 장치는 제1 기판을 상기 기판 입력부로부터 상기 적어도 하나의 기판 세정부의 상기 2 개의 세정 챔버들 중의 하나를 거쳐서 상기 기판 건조부로 이송하며, 제2 기판을 상기 기판 입력부로부터 상기 적어도 하나의 기판 세정부의 상기 2 개의 세정 챔버들 중의 다른 하나를 거쳐서상기기판건조부이송하는것을특징으로 하는기판 연마용 가공 장치.
[청구항 7]
제5 항에 있어서,상기 기판 건조부가 2 개의 기판 건조 챔버를 포함하며, 상기 세정 장치의 상기 기판 이송 장치는 제1 기판을 상기 기판 입력부로부터 상기 적어도 하나의 기판 세정부를 거쳐서 상기 기판 건조부의 상기 2 개의 기판 건조 챔버들 중의 하나로 이송하며, 제2 기판을 상기 기판 입력부로부터 상기 적어도 하나의 기판 세정부를 거쳐서 상기 기판 건조부의 상기 2 개의 기판 건조 챔버들 중의 다른하나이송하는것을특징으로 하는기판 연마용 가공 장치.
[청구항 8]
제5 항에 있어서,상기 세정 장치는 상기 세정 장치의 상기 제1 끝단에 상기 기판 건조부에 인접하여 배치되는 기판 출력부를 더 포함하며, 상기 세정 장치의 상기 적어도 하나의 기판 그리핑 장치가 상기 세정 장치의 상기 기판 입력부로부터 상기 적어도 하나의 기판 세정부 및 상기 기판 건조부를 거쳐서 상기 기판 출력부로 기판을 이송하며, 상기 제1 기판 이송부의 상기 기판 이송 장치는 상기 기판 출력부로부터 기판을 이송하도록구성되는것을특징으로 하는기판 연마용 가공 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 연마용 가공 장치에서 연마 장치, 세정 장치, 제2 기판 이송부의 제1 끝단들이 제1 기판 이송부에 인접하여 배치될 때, 연마 장치와 세정 장치는 어떠한 관계를 가지며 어떤 순서로 배치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판 연마용 가공 장치 내에서 연마 장치, 세정 장치, 제2 기판 이송부의 배치 관계를 파악하고, 연마 장치와 세정 장치의 상대적 위치 및 순서를 확인해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5를 통해 연마 장치, 세정 장치, 제2 기판 이송부의 제1 끝단이 제1 기판 이송부에 인접해 있다는 점과, 연마 장치와 세정 장치가 제2 기판 이송부를 사이에 두고 배치된다는 점을 추출한다.
- 상기 연마 장치, 상기 세정 장치 및 상기 제2 기판 이송부 각각의 상기 제1 끝단들은 상기 제1 기판 이송부에 인접하여 배치되며, 상기 연마 장치와 상기 세정 장치는 상기 제2 기판 이송부를 사이에 두고 상기 기판 연마용 가공 장치의 길이 방향을 따라서 배치되는 것을 특징으로 하는
-
3근거 선택
evidence_selection연마 장치와 세정 장치가 제2 기판 이송부를 사이에 두고 배치된다는 구절을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 연마 장치와 상기 세정 장치는 상기 제2 기판 이송부를 사이에 두고 상기 기판 연마용 가공 장치의 길이 방향을 따라서 배치되는
-
4논리 통합
logical_integration연마 장치, 세정 장치, 제2 기판 이송부의 제1 끝단이 모두 제1 기판 이송부에 인접해 있으므로, 이들은 제1 기판 이송부를 중심으로 모여 있다. 이때 연마 장치와 세정 장치는 제2 기판 이송부를 사이에 두고 서로 떨어져 배치된다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation연마 장치와 세정 장치는 제2 기판 이송부를 사이에 두고 배치되는 관계를 가지며, 이들은 제1 기판 이송부에 인접한 상태에서 제2 기판 이송부를 사이에 두고 양옆으로 배치된다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 연마 장치와 세정 장치는 제2 기판 이송부를 사이에 두고 배치되는 관계이며, 제2 기판 이송부를 사이에 두고 배치된다는 점을 명시하여 답변을 생성한다.
- 상기 연마 장치와 상기 세정 장치는 상기 제2 기판 이송부를 사이에 두고 상기 기판 연마용 가공 장치의 길이 방향을 따라서 배치되는
최종 답변 (final_answer)
연마 장치와 세정 장치는 제2 기판 이송부를 사이에 두고 배치되는 관계를 가지며, 기판 연마용 가공 장치의 길이 방향을 따라서 제2 기판 이송부를 사이에 두고 배치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 연마용 가공 장치에서 연마 장치와 세정 장치가 제2 기판 이송부를 사이에 두고 배치됨으로써, 제1 기판 이송부에 인접한 상태에서 각 장치 간의 물리적 배치 관계를 정의하고 있다.