문맥 (context)
[청구항 2]
제1 항에 있어서,상기 광원부로부터 방사된 빛의 진행방향이 한 평면상에 위치되지 않도록 상기 광원부, 상기 오목거울, 상기 반사거울 및 상기 ccd 카메라는3차원평면상배치되는것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 3]
제1 항에 있어서,상기ccd 카메라의 위치에 제1 레이저 빔을 방사하는 광학정렬용 레이저가 설치되고, 상기 광원부로부터 제2 레이저 빔이 방사되며, 공기 중에서 상기 제1 및 제2 레이저 빔이 공간적으로 완전히 겹쳐지도록상기오목거울및상기반사거울을광학정렬하는것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 4]
제3 항에 있어서,상기제1 및 제2 레이저 빔은 각각 633nm 붉은 색 및 티타늄:사파이어레이저 빔으로이루어진것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 6]
제5 항에 있어서,상기 제3 거울은 오목거울 또는 반사거울로이루어진것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 7]
제5 항에 있어서,상기 광원부로부터 방사된 빛의 진행방향이 한 평면상에 위치되지 않도록 상기 광원부, 상기 제1 내지 제3 거울 및 상기 ccd 카메라는3차원평면상배치되는것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 8]
제5 항에 있어서,상기ccd 카메라의 위치에 제1 레이저 빔을 방사하는 광학정렬용 레이저가 설치되고, 상기 광원부로부터 제2 레이저 빔이 방사되며, 공기 중에서 상기 제1 및 제2 레이저 빔이 공간적으로 완전히 겹쳐지도록상기제1내지제3거울을광학정렬하는것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 9]
제8 항에 있어서,상기제1 및 제2 레이저 빔은 각각 633nm 붉은 색 및 티타늄:사파이어레이저 빔으로이루어진것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 10]
제1 항 또는 제5 항에 있어서,상기 스테이지의 일측에 구비되며, 상기 측정대상 마스크의 전체 이미지를 스캔할 수 있도록 상기 스테이지를 x축, y축 및 z축 방향으로 이동시키기 위한 스테이지 이동수단; 및상기 측정대상 마스크의 3차원 높이 정보를 획득할 수 있도록 상기 스테이지의 x축 및 y축 중 적어도 하나의 축을 기준으로 일정각도 좌/우측 방향으로 틸팅(tilting)시키기 위한틸팅수단더구비되는것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 11]
제10 항에 있어서,상기 틸팅수단은, 복수의 피에조(piezo) 봉을 이용하여 상기 스테이지를 좌/우측 방향으로 일정각도 틸팅하기 위한 수단으로서,상기 스테이지 이동수단이 상기 스테이지의 하부측에 설치된 상태에서 상기 스테이지 이동수단의 저면에 고정설치되는 제1 지지판;상기 제1 지지판의 하측방향으로 일정거리 이격되어 배치되는 제2 지지판; 및상기 제1 및 제2 지지판 사이의 양 끝단에 대칭되도록 구비된 적어도 한 쌍의 제1 및 제2 피에조 봉으로 이루어지며, 상기 제어장치로부터 출력된 구동제어신호에 의해 상기 제1 및 제2 피에조 봉의 높이가 서로 다르게 조절되어 상기 제1 지지판을 비롯하여 상기 스테이지 이동수단 및 상기 스테이지가 좌/우측 방향으로일정각기울어지는것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 12]
제10 항에 있어서,상기 측정대상 마스크의 3차원 이미지를 획득하고자 하는 위치가 존재할 경우, 상기 제어장치는 구동제어신호를 상기 틸팅수단에 출력하여 상기 측정대상 마스크를 좌/우측 방향으로 틸팅시키고, 상기 측정대상 마스크의 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(point cloud)를 각각 연산한 후, 상기 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 상기 측정대상 마스크에 대한3차원높이정보획득하는것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
[청구항 13]
제1 항 또는 제5 항에 있어서,상기 극자외선은 6nm 내지 14nm범위의파장대역으로이루어진것을특징으로 하는마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템에서 측정대상 마스크의 3차원 높이 정보를 획득하기 위해 제어장치가 수행하는 연산 절차는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation마스크의 3차원 높이 정보를 획득하기 위해 제어장치가 수행하는 구체적인 연산 절차를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 제어장치가 틸팅수단에 신호를 출력하여 마스크를 틸팅시키고, 좌/우 3차원 포인트 클라우드를 연산하며, 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산한다는 내용을 추출한다.
- 상기 제어장치는 구동제어신호를 상기 틸팅수단에 출력하여 상기 측정대상 마스크를 좌/우측 방향으로 틸팅시키고, 상기 측정대상 마스크의 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(point cloud)를 각각 연산한 후, 상기 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 상기 측정대상 마스크에 대한3차원높이정보획득하는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection제어장치의 연산 절차와 직접적으로 관련된 구절을 선택한다.
- 상기 측정대상 마스크의 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(point cloud)를 각각 연산한 후, 상기 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 상기 측정대상 마스크에 대한3차원높이정보획득
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4논리 통합
logical_integration마스크를 좌/우로 틸팅시킨 후, 각각의 3차원 포인트 클라우드를 연산하고, 이들의 공통 포인트를 이용하여 틸팅각도를 산출함으로써 최종적으로 3차원 높이 정보를 얻는 순차적 과정을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제어장치는 좌/우 틸팅에 따른 각각의 3차원 포인트 클라우드를 연산하고, 이들의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 3차원 높이 정보를 획득한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 절차를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제어장치는 측정대상 마스크를 좌/우측 방향으로 틸팅시킨 후, 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(point cloud)를 각각 연산한다. 그 후, 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산함으로써 측정대상 마스크의 3차원 높이 정보를 획득한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 마스크를 좌/우로 틸팅하여 얻은 두 개의 3차원 포인트 클라우드 간의 공통 포인트를 이용하여 틸팅각도를 산출함으로써, 마스크의 정밀한 3차원 높이 정보를 획득하는 기술을 포함한다.