다이 소터 document_id 1020120018730

[청구항 1] 반도체자재를 절단하여 형성되는 복수 개의 다이를 상기 반도체자재가 안착된 척테이블로부터 트레이에 구비된 복수 개의 적재홈으로 각각 이송하여 적재하는 픽커 상기 픽커를 상기 척테이블과 상기 트레이 사이에서 왕복이동시키는 제1 구동부 및 상기 픽커를 상하로 왕복이동시키는 제3 구동부를 포함하는 픽커 바디부; 및 상기 픽커 바디부의 전방에 제공되고, 상기 픽커를 전방 또는 후방으로 왕복이동시키는 제2 구동부 를 포함하고, 상기 제2 구동부는 상기 다이가 상기 트레이에서 상기 다이에 대응되는 적재홈에 안착되도록 상기 픽커의 전방 또는 후방 이동 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 다이 소터 [청구항 2] 반도체자재를 절단하여 형성되는 복수 개의 다이가 적재되는 복수 개의 적재홈을 구비하는 적재부와, 상기 적재부의 하부에 상기 적재부의 가장자리보다 외측으로 연장되는 파지용 테두리를 가지는 지지플레이트를 포함하는 트레이 상기 복수 개의 다이를 상기 반도체자재가 안착된 척테이블로부터 상기 복수 개의 적재홈으로 각각 이송하여 적재하는 픽커 상기 픽커를 상기 척테이블과 상기 트레이 사이에서 왕복이동시키는 제1 구동부 및 상기 픽커를 상하로 왕복이동시키는 제3 구동부를 포함하는 픽커 바디부 상기 픽커 바디부의 전방에 제공되고, 상기 픽커를 전방 또는 후방으로 왕복이동시키는 제2 구동부 상기 트레이의 이송라인의 양측에 또는 일측에 제공되는 그립퍼 이송레일; 및 상기 파지용 테두리의 전방부 또는 후방부를 파지하고 상기 그립퍼 이송레일을 따라 이동하며, 상기 트레이가 파지된 상태에서 이송라인을 따라 후방으로 이동할 때 상기 트레이가 전방으로 또는 측방향으로 이탈하지 않도록 하는 이탈방지부를 구비하는 제1 그립퍼 및 제2 그립퍼 를 포함하는 다이 소터 [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 트레이의 상부에는 상기 트레이에서 각각의 적재홈의 위치를 감지하는 제1 비전이 구비되고, 상기 픽커의 전방에는 상기 척테이블에서 각각의 다이의 위치를 감지하는제2비전구비되는것을특징으로 하는다이 소터. [청구항 4] 반도체자재를 절단하여 형성되는 복수 개의 다이가 적재되는 복수 개의 적재홈을 구비하는 적재부와, 상기 적재부의 하부에 상기 적재부의 가장자리보다 외측으로 연장되는 파지용 테두리를 가지는 지지플레이트를 포함하는 트레이 트레이 공급부에서부터 트레이 배출부까지 형성된 상기 트레이의 이송라인의 양측에 또는 일측에 제공되는 그립퍼 이송레일; 및 상기 파지용 테두리의 전방부 또는 후방부를 파지하고 상기 그립퍼 이송레일을 따라 이동하며, 상기 트레이가 상기 그립퍼에 의해 파지되어 후방으로 이동할 때 상기 트레이가 전방으로 또는 측방향으로 이탈하지 않도록 하는 이탈방지부를 구비하는 제1 그립퍼 및 제2 그립퍼 를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 소터 [청구항 5] 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 그립퍼 이송레일은 전방부에 위치되는 제1 이송레일과 상기 제1 이송레일의 후방부에 위치하는 제2 이송레일을 포함하며, 상기 제1 그립퍼는 제1 이송레일을 따라 이동하고, 상기 제2 그립퍼는 제2 이송레일을 따라이동하는것을특징으로 하는다이 소터. [청구항 6] 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 제1 그립퍼 및 제2 그립퍼는 각각, 상기 트레이의 하부면 중 일부분을 지지하는 제1 고정파지부 및 제2 고정파지부와, 상기 제1 고정파지부 및 상기 제2 고정파지부에 대해 상하로 이동가능하도록 구성되고 상기 파지용 테두리부의 상부면 중 일부분을 가압하는제1이동파지부및제2이동파지부포함하는것을특징으로 하는다이 소터. [청구항 7] 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 이탈방지부는, 상기 트레이의 하부면 중 일부분이 안착되는 제1 안착부 및 상기 제1 안착부의 전방부 또는 측면부에 대해 수직으로 연장되어 상기 지지플레이트의 전방측면 또는 측면 중 일부분을 지지하는턱인것을특징으로 하는다이 소터. [청구항 8] 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 제2 그립퍼는 상기 트레이의 하부면 중 일부분을 지지하는 제2 고정파지부와, 상기 제2 고정파지부에 대해 상하로 이동가능하도록 구성되고 상기 파지용 테두리 중 일부분을 가압하는 제2 이동파지부를 포함하며,상기 이탈방지부는, 상기 제2 이동파지부의 전방 방향으로 연장되는 전방 연장부 및 상기 전방 연장부의 단부에 위치되어 상기 적재부의 전방측면 또는 측면 중 일부분을 지지하는턱인것을특징으로 하는다이소터. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 제2 이동파지부는 상기 제2 이동파지부에서부터 전방방향으로 연장되는 전방 연장부와, 상기 전방 연장부의 단부에 위치되고 상기 제2 이동파지부의 하강시 상기 적재부의 전방측면 중 일부분을 지지하는걸림턱포함하는것을특징으로 하는다이 소터. [청구항 10] 제6항에 있어서,상기 제2 이동파지부는 상기 제2 이동파지부의 하강시 상기 적재부의 전방측면 중 일부분을 지지하는 걸림턱을 포함하고,상기 걸림턱은, 상기 전방 연장부의 단부에서 수평 직각방향으로 제1 거리만큼 연장되는 제1 수평부와, 상기 제1 수평부에서 수직 하부방향으로 제1 높이만큼 연장되는 수직부, 상기 수직부에서 수평 직각방향으로 연장되는제2수평부포함하는것을특징으로 하는다이 소터. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제1 거리는 상기 파지용 테두리 중 상기 제1 이동파지부가 파지하는 영역의 폭보다 큰 것특징으로 하는다이 소터. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 제1 높이는 상기 제1 이동파지부의 두께보다 큰 것특징으로 하는다이 소터. [청구항 13] 제10항에 있어서,상기 제2 이동파지부의 하부에는 상기 파지용 테두리를 가압하는 가압부가 구비되고, 상기 가압부의 높이는상기제1높이동일한것을특징으로 하는다이 소터.