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반도체 발광 소자, 질화물 반도체층 및 질화물 반도체층의 형성 방법 document_id 1020120020552

출원번호
1020120020552
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제1 주면에 도달되고, 상기 적층 방향에 수직인 평면의 단위 표면적에 포함되는 타단이 상기 볼록부에 도달되는 상기 전위의 수와 일단이 상기 주면에 도달되고 상기 단위 표면적에 포함되는 타단이 상기 오목부에 도달되는 상기 전위의 수의 합은, 상기 단위 표면적에 포함되는 상기 볼록부에 도달되는 상기 전위의 수와 상기 단위 표면적에 포함되는 상기 오목부에 도달되는 상기 전위의 수의 합의5 이하인,반도체 발광 소자. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 볼록부에 도달되는 상기 전위 중 상기 적어도 하나는 상기 볼록부의 표면으로부터 상기 제1 주면 쪽으로 500 nm 이내의 영역에서 상기 측부도달되는,반도체 발광 소자. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 하지층의 두께는 1 마이크로미터 이상 4 마이크로미터이하인,반도체 발광 소자. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 볼록부와 상기 오목부 중 적어도 하나는 복수 개 제공되며, 상기 복수 개의 상기 적어도 하나는 상기 적층 방향에 수직인 평면에서 2차원적배치되는,반도체 발광 소자. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 하지층에서의불순몰농도는 상기 제1 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮고, 상기 제2 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮은, 반도체 발광 소자. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 제1 도전형은 p형이며, 상기 제2 도전형인,반도체 발광 소자. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 제1 반도체층은 p형 gan 층을 포함하고,상기 제2 반도체층은 n형 gan 층포함하는,반도체 발광 소자. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 하지층은 언도프층인,반도체 발광 소자. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 요철의 높이는 500 나노미터 이상 3 마이크로미터이하인,반도체 발광 소자. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 요철은 500 나노미터 이상 3 마이크로미터 이하의 주기성형성되는,반도체 발광 소자. [청구항 12] 제1항에 있어서,기판을 더 포함하고,상기 하지층은 상기 기판과 상기 제2 반도체층 사이에 배치되며, 상기 기판은 상기 하지층의 요철에 대향하는 기판 요철갖는,반도체 발광 소자. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 제1 주면에 도달되고, 상기 적층 방향에 수직인 평면의 단위 표면적에 포함되는 타단이 상기 볼록부에 도달되는 상기 전위의 수와 일단이 상기 주면에 도달되고 상기 단위 표면적에 포함되는 타단이 상기 오목부에 도달되는 상기 전위의 수의 합은, 상기 단위 표면적에 포함되는 상기 볼록부에 도달되는 상기 전위의 수와 상기 단위 표면적에 포함되는 상기오목부에 도달되는 상기 전위의 수의 합의5 이하인,질화물 반도체층. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 볼록부에 도달되는 상기 전위 중 상기 적어도 하나는 상기 볼록부의 표면으로부터 상기 제1 주면 쪽으로 500 nm 이내의 영역에서 상기 측부도달되는,질화물 반도체층. [청구항 16] 제13항에 있어서,상기 질화물 반도체층의 두께는 1 마이크로미터 이상 4 마이크로미터이하인,질화물 반도체층. [청구항 17] 제13항에 있어서,상기 볼록부와 상기 오목부 중 적어도 하나는 복수 개 제공되며, 상기 복수 개의 상기 적어도 하나는 상기 적층 방향에 수직인 평면에서 2차원적배치되는,질화물 반도체층. [청구항 18] 제13항에 있어서,상기 질화물 반도체층은 기판 위에 형성되며, 상기 기판은 상기 질화물 반도체층의 요철에 대향하는 기판 요철갖는,질화물 반도체층.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 발광 소자에서 하지층의 불순물 농도는 제1 반도체층 및 제2 반도체층과 비교하여 어떠한 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    반도체 발광 소자의 하지층 불순물 농도와 제1 및 제2 반도체층 불순물 농도 간의 관계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 6에서 하지층, 제1 반도체층, 제2 반도체층의 불순물 농도에 관한 기술 내용을 추출한다.

    • 상기 하지층에서의불순몰농도는 상기 제1 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮고, 상기 제2 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮은
  3. 3근거 선택evidence_selection

    하지층의 농도가 두 층보다 낮다는 직접적인 문구를 선택한다.

    • 상기 하지층에서의불순몰농도는 상기 제1 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮고, 상기 제2 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮은
  4. 4논리 통합logical_integration

    하지층의 불순물 농도는 제1 반도체층 및 제2 반도체층의 농도보다 모두 낮은 관계임을 확인한다.

    • 상기 하지층에서의불순몰농도는 상기 제1 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮고, 상기 제2 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮은
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    하지층의 불순물 농도는 제1 반도체층 및 제2 반도체층의 불순물 농도보다 낮다.

    • 상기 하지층에서의불순몰농도는 상기 제1 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮고, 상기 제2 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮은
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 하지층에서의불순몰농도는 상기 제1 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮고, 상기 제2 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮은
최종 답변 (final_answer)
상기 하지층에서의 불순물 농도는 상기 제1 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮고, 상기 제2 반도체층에서의 불순물 농도보다 낮다.
핵심 해석 (core_interpretation)
반도체 발광 소자의 구성 중 하지층은 제1 및 제2 반도체층에 비해 불순물 농도가 낮은 특성을 가진다.