가요성 기판 절단장치 document_id 1020120020778

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 커팅유닛은,상기 원기판을 절단하는 커팅부;상기 커팅부에 결합되되, 상기 커팅부를 상기 대기위치에서 상기 커팅위치로 왕복운동하게 하는 커팅 작동부; 및상기 커팅 작동부의 일측에 마련되되, 상기 커팅부의 높이를 조절하여 상기 원기판의 절단깊이를 조절하는 커팅깊이 조절부포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 커팅부는,상기 원기판에 접근 및 이격되는 방향으로 왕복운동하는 프레임부; 및상기 프레임부의 하부에 마련되되, 상기 원기판을 절단하는 커팅부재를 파지하는 커팅홀더포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 커팅 작동부는,상기 커팅부재의 끝단이 상기 원기판에 평행한 상태로 상기 원기판에 접근 및 이격되는 방향으로 왕복운동할 수 있도록, 상기 프레임부의 양끝단부각각설치되는것을특징으로 하는가요성 기판 절단장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 커팅 작동부는,제1 구동모터와, 상기 제1 구동모터의 회전축에 결합된 제1 풀리와, 상기 제1 풀리와 연동되는 제2 풀리를 포함하는 구동력 공급부; 및일측부가 상기 제2 풀리에 결합된 구동축에 연결되고 타측부가 상기 프레임부에 결합되되, 상기 구동력 공급부로부터 회전력을 전달받아 회전함에 따라 상기 프레임부를 상기 원기판에 접근 및 이격되는 방향으로 왕복운동하게 하는캠부를포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 커팅깊이 조절부는,상기 제2 풀리 및 상기 캠부의 하부에 배치되되, 상기 제2 풀리와 상기 캠부를 높이방향으로 이동시켜 상기 프레임부의 높이를 조절하는 위치조절 블록포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 위치조절 블록은,상기 제2 풀리 및 상기 캠부에 연결된 구동축이 슬라이딩되어 높이방향으로 이동가능하도록,상면형성된것을특징으로 하는가요성 기판 절단장치. [청구항 8] 제3항에 있어서,상기 커팅유닛은,상기 커팅부의 일측부에 결합되되, 상기 커팅부에 의해 상기 원기판에 가해지는 절단하중을 조절하는 절단하중 조절부더 포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 절단하중 조절부는,상기 프레임부의 상부에 결합되되, 실린더 로드와 몸체부를 포함하는 적어도 하나 이상의 실린더; 및상기 실린더에 결합되되, 상기 실린더를 지지하는 지지 브라켓포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 실린더 로드는, 상기 커팅 작동부와 동기되어 상기 원기판에 접근 및 이격되는 방향으로 왕복운동하도록상기프레임부결합되는것을특징으로 하는가요성 기판 절단장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 스테이지 유닛은,상기 가요성 원기판이 접촉되어 수평되게 안착되는 지지 플레이트;상기 지지 플레이트의 하부에 마련되되, 상기 지지 플레이트에 회전축이 결합된 구동부; 및상기 지지 플레이트와 상기 구동부 사이에 마련되되, 상기 지지 플레이트를 접촉 지지하는 베어링 부재포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 지지 플레이트의 상기 원기판이 접촉되는 면에는, 상기 원기판을 흡인하여 고정하는다공질시트설치된것을특징으로 하는가요성 기판 절단장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 스테이지 이송유닛은,상기 스테이지 유닛이 안착되는 테이블부;상기 테이블부를 상기 원기판을 절단하는 작업라인을 따라 이송하는 테이블부 이송부; 및상기 테이블부에 결합되되, 상기 테이블부를 상기 원기판을 절단하는 작업라인 방향으로 안내하는가이드부를포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 테이블부 이송부는,상기 원기판을 절단하는 작업라인을 따라 길게 마련되되, 제2 구동모터에 의해 회전하는 스크류 부재; 및일측부가 상기 테이블부에 결합되되, 상기 스크류 부재가 관통 결합되는 연결부재포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기제1 lm 가이드부는,상기 원기판을 절단하는 작업라인 방향으로 설치된 복수의 제1 lm 레일; 및일측부가 상기 테이블부에 결합되고 타측부가 상기 제1 lm 레일을 따라 이동가능하게 결합된 복수의 제1 lm 블록포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 16] 제3항에 있어서,상기 프레임부로부터 이격되게 설치되되, 상기 원기판에 표시된 정렬마크가 상기 원기판을 절단하는 가상의 커팅선과 정렬되었는지를 확인하기 위하여 상기 원기판의 상면을 촬상하는 비젼유닛더 포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 비젼유닛은,상기 프레임부로부터 이격되게 설치된 지지 프레임부;상기 지지 프레임부에 설치되되, 상기 원기판의 상면을 촬상하는 적어도 하나 이상의 카메라부;상기 지지 프레임부에 설치되되, 상기 적어도 하나 이상의 카메라부를 상기 원기판을 절단하는 작업라인에 가로방향으로 이송하는 카메라부 이송부; 및상기 카메라부에 결합되되, 상기 카메라부를 상기 원기판을 절단하는 작업라인에 가로방향으로 안내하는가이드부를포함하는가요성 기판 절단장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기제2 lm 가이드부는,상기 지지 프레임부에 설치되되, 상기 원기판을 절단하는 작업라인에 가로방향으로 설치된 복수의 제2 lm 레일; 및일측부가 상기 적어도 하나 이상의 카메라부에 결합되고, 타측부가 상기 제2 lm 레일을 따라 이동가능하게 결합된 복수의 제2 lm 블록포함하는가요성 기판 절단장치.