완충챔버를 가지는 로드락챔버 document_id 1020120028957

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 챔버는 이송챔버와 연통되고 상기 제 2 챔버는 상기 제 1 챔버와 다른 높이에서상기이송챔버연통되는것을특징으로 하는로드락챔버. [청구항 3] 제 1 항에에 있어서,상기 제 1 챔버는 상기 완충챔버의 하부벽을 상부벽으로 공유하고, 상기 제 2 챔버는 상기 완충챔버의 상부벽을 하부벽공유하는것을특징으로 하는로드락챔버. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 제 2 기판안치대는상기제2챔버의하부벽위치하는것을특징으로 하는로드락챔버. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 완충챔버의 압력이 상기 제 2 챔버의 압력과 동일하도록 유지하는 완충챔버 압력조절수단더 포함하는로드락챔버. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 완충챔버의 상부벽에는 상기 제 2 챔버와 연통되는연통구가형성되는것을특징으로 하는로드락챔버. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 연통구의 크기는 상기 기판의 크기보다 작은 것특징으로 하는로드락챔버. [청구항 8] 제 5 항에 있어서,상기 완충챔버 압력조절수단은,상기 제 1 챔버의 배기라인 및 벤팅라인에 각각 연결되는 제 1 배기라인 및 제 1 벤팅라인과;상기 제 2 챔버의 배기라인 및 벤팅라인에 각각 연결되는 제 2 배기라인 및 제 2 벤팅라인과;상기 완충챔버에 배기라인 및 벤팅라인에 각각 연결되는 제 3 배기라인 및 제 3 벤팅라인포함하는로드락챔버. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 제 3 배기라인은 상기 제 2 배기라인에 연결되고, 상기 제 3 벤팅라인은 상기 제 2 벤팅라인에 연결되며, 상기 제 3 배기라인 및 3 벤팅라인 각각에는 개폐가능한 밸브형성되는로드락챔버. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 진공실링부재는 상기 제 1 챔버 측벽의 연장부와 상기 제 2 챔버의 측벽의 연장부 사이설치되는로드락챔버. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 진공실링부재는 오링인로드락챔버. [청구항 13] 제 10 항에 있어서,상기 완충챔버 압력조절수단은,상기 제 2 챔버의 배기라인에 연결되는 완충챔버용 배기라인;상기 완충챔버용 배기라인에 설치되는 개폐가능한 완충챔버용 배기밸브;상기 제 2 챔버의 벤팅라인에 연결되는 완충챔버용 벤팅라인;상기 완충챔버용 벤팅라인에 설치되는 개폐가능한 완충챔버용 벤팅밸브포함하는로드락챔버. [청구항 14] 제 10 항에 있어서,상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버 사이에 변형흡수프레임을 포함하며, 상기 완충챔버는 상기 변형흡수프레임에 의해 제 1 완충챔버와 제 2 완충챔버분리되는로드락챔버. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 진공실링부재는 상기 제 1 챔버의 상부벽의 주변부와 상기 변형흡수프레임의 주변부 사이에 위치하는 제 1 진공실링부재와 상기 제 2 챔버의 하부벽의 주변부와 상기 변형흡수프레임의 주변부 사이에 위치하는 제 2 진공실링부재포함하는로드락챔버.