기판 처리 장치 document_id 1020120032177

[청구항 1] 기판이 반송되는 상압 분위기의 상압 반송실과, 상기 상압 반송실과 로드록실을 통해 접속되어, 기판에 대하여 진공 처리를 행하는 진공 처리실과, 상기 진공 처리실에 설치되고, 본체부와, 이 본체부에 대하여 착탈 가능한 표면부를 갖는 기판 배치대와, 상기 로드록실 또는 상압 반송실에 설치되고, 상기 표면부를 수납하기 위한 보관부와, 상압 반송실로부터 로드록실을 통해 진공 처리실에 기판을 반송하고, 상기 보관부와 상기 진공 처리실의 본체부의 사이에서 상기 표면부를 반송하기 위한 반송 기구 를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 로드록실과 상기 진공 처리실의 사이에 개재되는진공분위기의진공반송실설치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 보관부는, 상기 로드록실 또는 상압 반송실에 설치되는 대신에, 상기 로드록실 및 진공 처리실과 구획되어 상기 진공 반송실에 접속되고, 상기 진공 반송실이 진공 분위기인 상태 그대로 상기 보관부의 내부를 진공 분위기로부터 상압 분위기로 할 수 있도록, 진공 반송실에 대한 상기 보관부의 개방 및 차단을 전환하는게이트 밸브구비하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 보관부는, 서로 구획된 제1 보관부와, 제2 보관부를 구비하고, 상기 게이트 밸브는 제1 보관부 및 제2 보관부에 각각 설치되고, 서로 독립적으로 개폐될 수구성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 표면부는 기판이 배치되는 배치면을 갖고, 상기 보관부는, 상기 표면부를 유지하기 위한 유지부를 갖고, 상기 반송 기구는, 기판을 상기 표면부에 배치된 상태로 보관부로부터진공처리실반송하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 배치면의 미리 설정된 위치에 기판을 배치하기 위하여, 표면부 및 기판을 상기 유지부에 반송하기 전에 상기 유지부에 대한 정렬을 행하는정렬기구설치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 7] 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 처리실은, 기판에 플라즈마 처리를 행하기 위한 것인 것특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 표면부는, 기판을 흡착하기 위한 정전 척과, 기판의 외주를 포위하고, 플라즈마의 상태를 제어하기 위한 포커스 링 중 적어도 어느하나포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.