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플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 document_id 1020120032401

출원번호
1020120032401
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 내측 코일 및 상기 외측 코일의 감긴 횟수를 각각 ni, no, 상기 내측 코일의 임피던스를 zi, 상기 외측 콘덴서의 정전 용량을 가변함으로써 얻어지는 상기 외측 코일 및 상기 외측 콘덴서의 합성 임피던스의 최대값 및 최소값을 각각 zo(max), zo(min)으로 하면, 다음의 부등식성립하는플라즈마 처리 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 내측 코일 및 상기 외측 코일은 각각 원환 형상 코일로서, 이들 반경을 ri, ro, 양 코일의 코일 도선의 굵기의 반경을 a, 진공 중의 투자율을 μ0, 상기 외측 코일 및 상기 외측 콘덴서의 합성 임피던스가 최대값 zo(max) 및 최소값 zo(min)이 될 때의 상기 외측 콘덴서의 정전 용량을 각각 co(max), co(min)으로 하면, 다음의 부등식성립하는플라즈마 처리 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 내측 코일, 상기 중간 코일 및 상기 외측 코일에는 주회 방향에서 동일한 방향의 전류각각 흐르는플라즈마 처리 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 중간 코일에는, 상기 내측 코일을 흐르는 전류와 주회 방향에서 반대 방향의 전류흐르는플라즈마 처리 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 중간 콘덴서는, 상기 중간 코일과 직렬 공진을 일으킬 때의 값보다 작은 값의 정전 용량가지는플라즈마 처리 장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 외측 코일에는, 상기 내측 코일을 흐르는 전류와 주회 방향에서 동일한 방향의 전류흐르는플라즈마 처리 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 외측 콘덴서는, 상기 외측 코일과 직렬 공진을 일으킬 때의 값보다 큰 값의 정전 용량가지는플라즈마 처리 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 외측 코일에는, 상기 내측 코일을 흐르는 전류와 주회 방향에서 반대 방향의 전류흐르는플라즈마 처리 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 외측 콘덴서는, 상기 외측 코일과 직렬 공진을 일으킬 때의 값보다 작은 값의 정전 용량가지는플라즈마 처리 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 내측 코일 및 상기 외측 코일의 감긴 횟수를 각각 ni, no, 상기 내측 코일의 임피던스를 zi, 상기 외측 콘덴서의 정전 용량을 가변함으로써 얻어지는 상기 외측 코일 및 상기 외측 콘덴서의 합성 임피던스의 최대값 및 최소값을 각각 zo(max), zo(min)으로 하면, 다음의 부등식성립하는플라즈마 처리 장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 내측 코일 및 상기 외측 코일은 각각 원환 형상 코일로서, 이들 반경을 ri, ro, 양 코일의 코일 도선의 굵기의 반경을 a, 진공 중의 투자율을 μo, 상기 외측 코일 및 상기 외측 콘덴서의 합성 임피던스가 최대값 zo(max)및 최소값 zo(min)이 될 때의 상기 외측 콘덴서의 정전 용량을 각각 co(max), co(min)으로 하면, 다음의 부등식성립하는플라즈마 처리 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 내측 코일 및 상기 외측 코일의 감긴 횟수를 각각 ni, no, 상기 외측 코일의 임피던스를 zo, 상기 내측 콘덴서의 정전 용량을 가변함으로써 얻어지는 상기 내측 코일 및 상기 내측 콘덴서의 합성 임피던스의 최대값 및 최소값을 각각 zi(max), zi(min)으로 하면, 다음의 부등식성립하는플라즈마 처리 장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 내측 코일 및 상기 외측 코일은 각각 원환 형상 코일로서, 이들 반경을 ri, ro, 양 코일의 코일 도선의 굵기의 반경을 a, 진공 중의 투자율을 μo, 상기 내측 코일 및 상기 내측 콘덴서의 합성 임피던스가 최대값 zi(max) 및 최소값 zi(min)이 될 때의 상기 내측 콘덴서의 정전 용량을 각각 ci(max), ci(min)으로 하면, 다음의 부등식성립하는플라즈마 처리 장치. [청구항 18] 제 1 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 노드와 접지 전위의 부재와의 사이에서 접속되어 있는 출구측 공통 콘덴서가지는플라즈마 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리 장치에서 중간 코일에 흐르는 전류의 방향은 내측 코일에 흐르는 전류의 방향과 비교하여 어떠한 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    플라즈마 처리 장치 내 중간 코일과 내측 코일에 흐르는 전류의 방향 관계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 5에서 중간 코일에 흐르는 전류의 방향에 대한 정보를 추출한다.

    • 상기 중간 코일에는, 상기 내측 코일을 흐르는 전류와 주회 방향에서 반대 방향의 전류흐르는
  3. 3근거 선택evidence_selection

    중간 코일의 전류 방향이 내측 코일의 전류와 반대임을 명시한 구절을 선택한다.

    • 상기 중간 코일에는, 상기 내측 코일을 흐르는 전류와 주회 방향에서 반대 방향의 전류흐르는
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항 5의 내용을 바탕으로 중간 코일의 전류 방향은 내측 코일의 전류 방향과 주회 방향에서 반대임을 도출한다.

    • 상기 중간 코일에는, 상기 내측 코일을 흐르는 전류와 주회 방향에서 반대 방향의 전류흐르는
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 답변으로 중간 코일의 전류는 내측 코일의 전류와 주회 방향에서 반대 방향임을 결정한다.

    • 상기 중간 코일에는, 상기 내측 코일을 흐르는 전류와 주회 방향에서 반대 방향의 전류흐르는
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 중간 코일에는, 상기 내측 코일을 흐르는 전류와 주회 방향에서 반대 방향의 전류흐르는
최종 답변 (final_answer)
주회 방향에서 반대 방향의 전류가 흐른다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 플라즈마 처리 장치에서 중간 코일에 흐르는 전류의 방향을 내측 코일의 전류와 반대 방향으로 설정하여 장치의 특성을 제어하는 기술을 포함한다.