반도체 소자용 진공 흡착 실린더 document_id 1020120033696

[청구항 1] 반도체 소자를 흡착에 의해 상하로 이송시키는 반도체 소자용 진공 흡착 실린더에 있어서, 상기 반도체 소자를 상하로 이송시키는 위치에 배치되어 있으며, 상하에 각각 돌출되어 중앙으로 이송 공간을 가지는 몸체부, 상기 몸체부의 돌출된 상하부에 각각 설치되어 있으며, 상기 이송 공간에 안쪽으로 서로 떨어져 상부 쪽으로 돌출되어 각각 승강되는 압력과 하강되는 압력을 공급하도록 설치된 공압 공급부, 상기 공압 공급부의 상하로 이송 가능하도록 삽입 설치되어 있으며, 상기 이송 공간의 안쪽으로 설치되어 상기 공압 공급부에서 공급되는 공압으로 상기 공압 공급부에서 안내되면서 상하로 이송되도록 설치된 실린더부, 상기 몸체부의 돌출된 상하부에 각각 상하로 이동 가능하도록 지지되어 있으며, 상기 공압 공급부에 일측에 위치하여 상기 실린더부와 함께 이동되도록 고정되고, 상부에 공압이 공급되도록 연결되어 공급된 공압에 의해 하부로 상기 반도체 소자를 흡착되도록 설치된 흡착부, 및 상기 실린더부와 상기 흡착부 사이에 탄성 지지되어 있으며, 상기 실린더부의 상기 흡착부 고정 위치와 상기 흡착부의 중앙 위치에 각각 탄성 지지되어 상기 흡착부의 하강 시에 발생되는 충격을 탄성으로 완충시키도록 설치된 완충부를 포함하되, 상기 몸체부는, 상기 반도체 소자를 상하로 이송시키는 위치에 배치되어 있는 몸체 프레임, 상기 몸체 프레임의 상부에서 일측으로 돌출되어 있으며, 상기 이송 공간의 상부에 위치하여 상기 공압 공급부의 상부가 고정되도록 설치된 상부 브라켓, 상기 상부 브라켓의 일측에 배치되어 있으며, 상기 공압 공급부의 일측에 위치하여 상기 흡착부의 상부가 상하로 미끄럼 이동이 가능하게 지지되도록 설치된 상부 지지 부쉬, 상기 몸체 프레임의 하부에서 일측으로 돌출되어 있으며, 상기 이송 공간의 하부에 위치하여 상기 공압 공급부의 하부 끝단이 삽입된 상태에서 안쪽으로 각각의 상기 공압 공급부가 연통되는 연결 통로를 가지는 하부 브라켓, 및 상기 하부 브라켓의 일측에 배치되어 있으며, 상기 공압 공급부의 일측에 위치하여 상기 흡착부의 하부가 상하로 미끄럼 이동이 가능하게 지지되도록 설치된 하부 지지 부쉬 를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자용 진공 흡착 실린더 [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 공압 공급부는,상기 몸체부의 돌출된 상하부에 삽입 설치되어 있으며, 상기 이송 공간의 내부에 위치하여 상부가 돌출되고, 하부의 끝단이 삽입 고정된 상태로 내부에 공압이 공급되도록 관통된 이송 유로를 가지고, 상기 실린더부가 바깥 둘레에 위치하여 상하로 이동 가능하게 지지된 상태에서 상기 이송 유로에서 공급되는 공압의 공급 방향에 따라 상하로 이동되도록 설치된 이송 지지 로드,상기 이송 지지 로드의 상부에 배치되어 있으며, 상기 몸체부의 상부에 위치하여 상승되는 공압이 공급되도록 연결되는 이송 연결체,상기 몸체부의 돌출된 상하부에 삽입 설치되어 있으며, 상기 이송 공간의 내부에서 상기 이송 지지 로드의 일측에 위치하여 상부가 돌출되고, 하부의 끝단이 삽입 고정된 상태로 내부에 공압이 공급되도로 관통되어 상기 몸체부를 통해서 상기 이송 유로와 연통된 공급 유로를 가지고, 상기 공급 유로를 통해서 공급된 공압이 상기 이송 유로의 하부에서 상부 방향으로 공급되어 하강되는 공압을 제공하도록 설치된 공급 로드, 및상기 공급 로드의 상부에 배치되어 있으며, 상기 몸체부의 상부에 위치하여 상승되는 공압이 공급되도록 연결되는 공급 연결체를 포함하며,상기 실린더부는 상기 이송 지지 로드에 삽입 지지된 상태로 상기 이송 연결체로 상부에서 공급되는 공압을 상기 이송 유로를 통해서 공급하여 상승시키고, 상기 공급 연결체로 공급되는 공압을 상기 공급 유로를 통해서 연결된 상기 이송 유로의 하부에서 상부 방향으로 공급하여 하강시킬 수있는것을특징으로 하는반도체 소자용 진공 흡착 실린더. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 실린더부는,상기 공압 공급부에 상하로 이송 가능하도록 삽입 설치되어 있으며, 상기 이송 공간 내부에 위치하고, 상기 공압 공급부에서 공급되는 공압으로 상하로 이동되도록 밀폐된 내부에 실린더 공간을 가지는 실린더 몸체,상기 실린더 몸체의 안쪽에 배치되어 있으며, 상기 실린더 공간의 내부에 위치하여 삽입된 상기 공압 공급부에 고정된 상태로 승하강되는 상기 실린더 공간을 분할시키도록 설치된 피스톤,상기 실린더 몸체의 상부 일측으로 돌출되어 있으며, 일측에 배치된 상기 실린더 몸체가 지지된 상태로 상하로 이동 가능하도록 상기 공압 공급부가 삽입되는 상부 로드공을 가지는 상부 로드 브라켓,상기 상부 로드 브라켓의 안쪽에 배치되어 있으며, 상기 상부 로드공에 안쪽에 구비되어 내부에 상기 공압 공급부가 미끄럼 지지되어 상기 실린더 몸체가 상하 이동 시에 이동이 가능하도록 지지되도록 설치된 상부 로드 부쉬,상기 상부 로드 브라켓의 일측에 돌출되어 있으며, 상기 흡착부가 안쪽에 삽입된 상태로 고정되어 함께 이동되도록 고정공을 가지고, 상기 고정공의 하부에는 상기 완충부가 탄성 지지되는 홈 형태의 완충홈을 가지는 고정 브라켓,상기 실린더 몸체의 하부 일측으로 돌출되어 있으며, 상기 상부 브라켓과 상기 완충부가 설치되는 완충 공간을 가지도록 기설정된 거리로 떨어져 돌출되고, 내부에 상기 공압 공급부가 삽입되어 상기 실린더 몸체가 상하로 이동되도록 관통된 하부 로드공을 가지는 하부 로드 브라켓, 및상기 하부 로드 브라켓의 일측에 돌출되어 있으며, 상부에 상기 완충부가 설치되고, 내부에 상기 흡착부가 삽입되도록 지지공을 가지는지지브라켓포함하는것을특징으로 하는반도체 소자용 진공 흡착 실린더. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 흡착부는,상기 몸체부의 돌출된 상하부에 각각 상하로 이동 가능하도록 지지되어 있으며, 상기 이송 공간의 일측에서 상기 실린더부에 고정되어 함께 이동되도록 설치되고, 상기 완충부로 상기 실린더 몸체와 탄성 지지되도록 설치되고, 내부에 상기 반도체 소자가 흡착되는 공압을 공급하도록 관통된 흡착 유로를 가지는 흡착 로드,상기 흡착 로드의 상부에 배치되어 있으며, 상기 흡착 유로와 연결되어 외부에서 상기 반도체 소자를 흡착시키는 공압을 공급하도록 연결되는 흡착 연결체, 및상기 흡착 로드의 하부에 배치되어 있으며, 상기 흡착 유로에 연통되어 하부면에 상기 반도체 소자가 접촉된 상태에서 공급된 공압에 의해 흡착되도록 구비된흡착체포함하는것을특징으로 하는반도체 소자용 진공 흡착 실린더. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 완충부는,상기 공압 공급부와 상기 흡착부가 각각 삽입 지지되도록 배치되어 있으며, 상기 실린더부의 일측에 위치한 상기 공압 공급부가 삽입되는 로드공을 가지고, 상기 로드공의 일측으로 상기 흡착부가 삽입되는 블록 고정공을 가지는 완충 블록,상기 완충 블록의 안쪽에 배치되어 있으며, 상기 로드공에 삽입되어 상기 실린더부가 이동 시에 상기 공압 공급부가 미끄럼 지지되도록 설치된 로드 부쉬,상기 완충 블록의 측면에 배치되어 있으며, 상기 블록 고정공 방향으로 삽입되어 상기 완충 블록에 상기 흡착부를 고정시키도록 설치되는 고정체,상기 완충 블록과 상기 실린더부 사이에 배치되어 있으며, 상기 완충 블록의 상부와 상기 실린더부와 상기 흡착부의 고정 위치의 하부를 각각 탄성 지지하도록 설치되어 상기 흡착부의 하강으로 인해 발생되는 충격량을 완충시키도록 구비된 완충 스프링, 및상기 완충 블록의 하부에 배치되어 있으며, 상기 흡착부에 삽입된 상태로 상기 실린더부로 삽입 지지되어 고정된 상기 완충 블록의 하강 충격을 완충하도록 설치된쿠션체포함하는것을특징으로 하는반도체 소자용 진공 흡착 실린더. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 흡착부는,상기 몸체부의 돌출된 상하부에 각각 상하로 이동 가능하도록 지지되어 있으며, 상기 이송 공간의 일측에서 상기 실린더부에 고정되어 함께 이동되도록 설치되고, 상기 완충부로 상기 실린더 몸체와 탄성 지지되도록 설치되고, 내부에 상기 반도체 소자가 흡착되는 공압을 공급하도록 관통된 흡착 유로를 가지는 교체 흡착 로드,상기 교체 흡착 로드의 상부에 배치되어 있으며, 상기 흡착 유로와 연결되어 외부에서 상기 반도체 소자를 흡착시키는 공압을 공급하도록 연결되는 교체 흡착 연결체,상기 완충부의 일측에서 하부 방향으로 돌출되어 있으며, 상기 흡착 로드의 일측에서 하부 끝단까지 구비되어 있는 교체 브라켓,상기 교체 브라켓의 하부 타측에 돌출되어 있으며, 상기 교체 흡착 로드 방향으로 돌출되어 내부에 상기 교체 흡착 로드가 삽입되도록 관통된 블록공을 가지고, 상기 블록공의 일측으로 홈 형태의 교체 체결홈을 가지는 교체 블록,상기 교체 블록의 하부에 돌출되어 있으며, 상기 교체 블록의 하부면에서 하부 방향으로 돌출되도록 구비된 위치 고정 돌기,상기 교체 블록의 하부에 배치되어 있으며, 하부에 상기 반도체 소자가 흡착되도록 내부에 상기 교체 흡착 로드와 연통되도록 관통된 블록 유로를 가지고, 하부면에 상기 교체 블록의 상기 교체 체결홈과 연통되는 위치에 관통된 체결공을 가지며, 상기 위치 고정 돌기가 삽입되어 유동이 방지되도록 홈형태로 구비된 위치 고정홈을 가지는 흡착 블록, 및상기 교체 블록에 상기 흡착 블록이 고정되도록 설치되어 있으며, 상기 체결공과 상기 교체 체결홈에 각각 삽입되어 상기 흡착 블록이 교체 가능하도록 체결시키는 체결체포함하는것을특징으로 하는반도체 소자용 진공 흡착 실린더.