문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 하부 전극(2)은 고주파 파워 전극이며, 상기 상부 전극(3)은 고주파 바이어스전극인플라즈마 반응 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,각각의 상기 통로(54)는 상기 반응 챔버(10)와 연통하는 상기 캐리어 플레이트(5)의 상기 하부면(51) 내에 형성되는 바닥 개구(541)와, 상기 바닥 개구(541)와 하나의 상기 리셉터클(53)에 연결되는 통로 구멍(542)을 가지며,상기 바닥 개구(541)는 실질적인절두 원추 형상을 가지며, 상기 통로 구멍의 단면은 상기 리셉터클(53)의 단면보다 작은플라즈마 반응 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 하부 전극(2)에는, 하부 공간(21)과, 상기 하부 공간(21) 및 상기 반응 챔버(10)와 연통하는 복수의 하부 가스 채널(22)이 형성되며,상기 가스 공급원(6)은반응가스를상기하부공간공급하는데이용되는플라즈마 반응 장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,냉각기(9)를 더 포함하며, 상기 상부 전극(3)에는 상부 공간(31)과, 상기 상부 공간(31) 및 상기 리셉터클(53)과 연통하는 복수의 상부 가스 채널(32)이 형성되며, 상기 냉각기(9)는 불활성 가스를 상기 상부 공간공급하는플라즈마 반응 장치.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 상부 전극(3)은 상기 캐리어 플레이트(5)의 상기 상부면(52)에 밀봉식으로 접하도록 상기 상부 전극(3)의 바닥 표면 내에 배치되는 복수의 밀봉 링가지는플라즈마 반응 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 지지 프레임(41)은 상기 지지 프레임(41)으로부터 상향으로 돌출하는 복수의 중공 포스트(412)를 포함하며,각각의 상기 중공 포스트(412)는 슬롯(413)과, 상기 슬롯(413) 내에 배치되는 핀(414)과, 상기 캐리어 플레이트(5)의 상기 하부면(51)에 대해 상기 핀(414)을 상향으로 가압하도록 상기 슬롯(413) 내에 배치되는 스프링포함하는플라즈마 반응 장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 지지 프레임(41)은 서로 이격되어 있는 복수의 프레임 바(411)를 더 포함하며, 상기 중공 포스트(412)는 상기 프레임 바(411)로부터 상향돌출하는플라즈마 반응 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 지지 프레임(41)은 상기 프레임 바(411) 사이에 형성되는 복수의 가스 순환 구멍(416)을 더 포함하며, 상기 복수의 가스 순환 구멍(416)은 상기 하부 전극(2)의 상기 하부 가스 채널(22) 및 상기 캐리어 플레이트(5)의 상기 통로연통하는플라즈마 반응 장치.
[청구항 10]
제 7 항에 있어서,상기 반응 챔버 본체(1)의 상기 상부 벽(12)은 복수의 관통 구멍(121)을 가지며, 상기 지지부(4)는, 상기 상부 벽(12) 위에 배치되는 승강 플레이트(42)와, 상기 승강 플레이트(42)와 상기 지지 프레임(41)을 상호 연결하도록 상기 관통 구멍(121)을 통해 연장하는 복수의 커넥팅 로드(43)와, 상기 상부 벽에 대해 상기 승강 플레이트(42)의 상향 및 하향 이동을 구동하는 액츄에이터더 포함하는플라즈마 반응 장치.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,하나의 기판(8)을 지지하도록 구성되고, 상기 통로 구멍(542)과 대응 리셉터클(53)의 접합부에서 형성되는 환상 숄더더 포함하는플라즈마 반응 장치용 캐리어 플레이트.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 반응 장치에서 캐리어 플레이트의 통로(54)를 구성하는 바닥 개구(541)와 통로 구멍(542)의 형상 및 단면 크기 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation캐리어 플레이트의 통로(54)를 구성하는 바닥 개구(541)의 형상과 통로 구멍(542)의 단면 크기 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 바닥 개구(541)는 실질적인 절두 원추 형상이며, 통로 구멍(542)의 단면은 리셉터클(53)의 단면보다 작다는 정보를 추출한다.
- 상기 바닥 개구(541)는 실질적인절두 원추 형상을 가지며, 상기 통로 구멍의 단면은 상기 리셉터클(53)의 단면보다 작은
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3근거 선택
evidence_selection바닥 개구의 형상과 통로 구멍의 단면 크기에 관한 직접적인 구절을 선택한다.
- 상기 바닥 개구(541)는 실질적인절두 원추 형상을 가지며, 상기 통로 구멍의 단면은 상기 리셉터클(53)의 단면보다 작은
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4논리 통합
logical_integration바닥 개구(541)는 절두 원추 형상이고, 통로 구멍(542)의 단면은 리셉터클(53)의 단면보다 작다는 두 정보를 결합한다.
- 상기 바닥 개구(541)는 실질적인절두 원추 형상을 가지며, 상기 통로 구멍의 단면은 상기 리셉터클(53)의 단면보다 작은
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대해 바닥 개구는 절두 원추 형상이고, 통로 구멍의 단면은 리셉터클의 단면보다 작다는 결론을 도출한다.
- 상기 바닥 개구(541)는 실질적인절두 원추 형상을 가지며, 상기 통로 구멍의 단면은 상기 리셉터클(53)의 단면보다 작은
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 바닥 개구(541)는 실질적인절두 원추 형상을 가지며, 상기 통로 구멍의 단면은 상기 리셉터클(53)의 단면보다 작은
최종 답변 (final_answer)
상기 바닥 개구(541)는 실질적인절두 원추 형상을 가지며, 상기 통로 구멍의 단면은 상기 리셉터클(53)의 단면보다 작다.
핵심 해석 (core_interpretation)
캐리어 플레이트 내 통로의 구조적 형상(절두 원추형 바닥 개구)과 리셉터클과의 크기 관계(통로 구멍 단면이 리셉터클 단면보다 작음)를 정의하고 있다.