기판처리장치용 트레이 document_id 1020120042190

[청구항 1] 상면에 기판이 안착되는 기판안착부와, 상기 기판안착부의 바닥면에서 하방의 외부로 관통되어 외부의 헬륨가스가 기판의 저면으로 주입되도록 하는 기판냉기주입로 가 마련된 하부판; 및 상기 기판안착부에 기판이 배치된 상태의 상기 하부판의 상면을 덮어씌워 체결구로 상기 하부판에 고정되되, 상기 기판의 테두리를 제외한 나머지 중앙부가 외부의 플라즈마에 노출되도록 해당부위가 상하로 관통된 관통공을 갖는 상부판 을 포함하여 구성되고, 상기 하부판의 상면과 상부판의 저면 사이에 틈새가 형성되는 기판처리장치용 트레이에 있어서, 상기 플라즈마의 가열에 의한 상기 상부판의 온도 상승을 억제시키기 위한 온도상승 억제수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 기판처리장치용 트레이 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 온도상승 억제수단은,상기 하부판의 상면과 상부판의 저면 사이에 마련되어 있는 틈새로 상기 냉각매체를 공급하여상기상부판의온도상승억제시키도록하는것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 냉각매체는 상기 기판의 저면으로 주입되는 상기 헬륨가스이고,상기 상부판의 저면에 수직 대응되는 상기 하부판의 해당 부위에 상기 헬륨가스가 주입되도록 상기 하부판의 저면 외부에서 상기 틈새로 연통되는 상부판냉기주입로가 마련되어상기상부판의온도상승억제시키도록하는것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 상부판냉기주입로는 상기 하부판과 상부판을 연결하는 상기 체결구 주위에복수개마련된것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 상부판냉기주입로를 통해 상기 틈새로 주입된 가스가 외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 체결구의 외주부에씰링부재가마련된것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 상부판냉기주입로를 통해 상기 틈새로 주입된 가스가 외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 관통공의 인접 테두리 저면과 상기 하부판의 상면 사이에씰링부재가마련된것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 상부판냉기주입로를 통해 상기 틈새로 주입된 가스가 외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 상부판의 테두리 저면과 상기 하부판의 상면 테두리 사이에씰링부재가마련된것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 상부판의 관통공은 그 하방에 고정되어 있는 상기 기판 표면에서 반응기체의 흐름에 난류를 발생시키지 않도록 상기 관통공의 내주면이 상향 경사진경사면구조로된것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 기판안착부는 오목하게 패인구조로된것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 기판안착부는 볼록하게 돌출된구조로된것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 기판안착부는 평탄한구조로된것을특징으로 하는기판처리장치용 트레이.