문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 척킹부재는상기 배플 플레이트의 양단 가장자리를 파지하는 클램프들; 및상기 클램프들 각각에 연결되고 상기 공정 처리실의 측벽에 관통된 형태로 설치되는 지지로드들포함하는기판 처리 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 지지로드는좌우이동가능한것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 척킹부재는상기 지지로드의 길이방향으로 상기 지지로드를 이동시키는 작동부재더 포함하는기판 처리 장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 척킹부재는상기 지지로드의 이동 동작시 상기 공정 처리실의 기밀 유지를 위해 상기 공정 처리실의 측벽에 설치되는 벨로우즈더 포함하는기판 처리 장치.
[청구항 6]
제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 클램프는호형상으로이루어지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 클램프는상기 배플 플레이트의 가장자리 저면과 면접촉하는 저면접촉부; 및상기 저면접촉부로부터 수직방향으로 연장되고 상기 배플 플레이트의 측면과 면접촉하는 측면접촉부포함하는기판 처리 장치.
[청구항 8]
제 2 항에 있어서,상기 공정 처리실은기판에 대한 처리가 이루어지는 반응공간을 제공하며, 상부가 개방된 공정 챔버; 및상기 공정 챔버의 상단에 결합되어 상기 반응공간을 밀폐하는 밀폐 커버를 포함하고,상기 밀폐 커버에는,상기 지지로드가 설치되는 관통공형성되는기판 처리 장치.
[청구항 9]
제 2 항에 있어서,상기 클램프 및 상기 지지로드는 도전성 재료제공되는기판 처리 장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 클램프들은 상기 배플 플레이트의 가장자리를 파지하도록호형상으로이루어지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 12]
제 10 항에 있어서,상기 클램프들은 상기 배플 플레이트를 파지 또는 해제하기 위해수평방향이동되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 13]
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 클램프는상기 배플 플레이트의 가장자리 저면과 면접촉하는 저면접촉부; 및상기 저면접촉부로부터 수직방향으로 연장되고 상기 배플 플레이트의 측면과 면접촉하는 측면접촉부포함하는기판 처리 장치.
[청구항 14]
제 11 항에 있어서,상기 클램프는 상기 밀폐 커버의 외부로부터 벨로우즈를 통하여 설치되는지지로드연결되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 장치에서 지지로드의 이동 동작 시 공정 처리실의 기밀을 유지하기 위해 설치되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 처리 장치에서 지지로드 이동 시 공정 처리실의 기밀 유지를 담당하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 지지로드의 이동 동작과 공정 처리실의 기밀 유지 기능이 언급된 부분을 추출한다.
- 상기 지지로드의 이동 동작시 상기 공정 처리실의 기밀 유지를 위해 상기 공정 처리실의 측벽에 설치되는 벨로우즈
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '기밀 유지' 목적과 '지지로드 이동 동작' 조건에 부합하는 '벨로우즈' 구절을 선택한다.
- 상기 지지로드의 이동 동작시 상기 공정 처리실의 기밀 유지를 위해 상기 공정 처리실의 측벽에 설치되는 벨로우즈
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4논리 통합
logical_integration지지로드가 이동할 때 공정 처리실의 기밀을 유지하기 위해 측벽에 설치되는 구성 요소는 벨로우즈임을 확인한다.
- 상기 지지로드의 이동 동작시 상기 공정 처리실의 기밀 유지를 위해 상기 공정 처리실의 측벽에 설치되는 벨로우즈
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '벨로우즈'를 도출한다.
- 상기 지지로드의 이동 동작시 상기 공정 처리실의 기밀 유지를 위해 상기 공정 처리실의 측벽에 설치되는 벨로우즈
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변인 '벨로우즈'를 최종 답변으로 생성한다.
- 상기 지지로드의 이동 동작시 상기 공정 처리실의 기밀 유지를 위해 상기 공정 처리실의 측벽에 설치되는 벨로우즈
최종 답변 (final_answer)
벨로우즈
핵심 해석 (core_interpretation)
지지로드의 이동에 따른 공정 처리실의 기밀 유지를 위해 측벽에 벨로우즈를 설치하여 밀폐 성능을 확보하는 기술이다.