문맥 (context)
[청구항 1]
복수의 밀봉부재를 접합함으로써 내부공간이 형성되고, 이 내부공간에 압전 진동 소자를 포함하는 1개 이상의 전자부품 소자가 기밀 밀봉되며, 외부에 전기적으로 접속되는 외부단자로서 압전 진동 소자에 접속되는 압전 진동 소자용 외부단자가 형성된 압전 진동 디바이스의 제조장치에 있어서
진공 분위기 하에서 상기 복수의 밀봉부재를 가열 접합해서 진공 상태의 내부공간을 형성하고, 상기 내부공간에 상기 전자부품 소자를 기밀 밀봉하는 기밀 밀봉실과,
상기 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태를 검사하는 검사실이 설치되고,
상기 압전 진동 디바이스를 상기 기밀 밀봉실, 상기 검사실의 순서로 반송하는 것을 특징으로 하는 압전 진동 디바이스의 제조장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,진공 분위기 하에서 상기 밀봉부재를 예비 가열하는 예비 가열실이 설치되고,상기 압전 진동 디바이스를 상기 예비 가열실, 상기 기밀 밀봉실,및상기검사실의순서반송하는것을특징으로 하는압전 진동 디바이스의 제조장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 검사실에서는 상기 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사 이외에 상기 압전 진동 소자용 외부단자를 사용한 상기 압전진동 디바이스의전기적특성의검사행하는것을특징으로 하는압전 진동 디바이스의 제조장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 검사실에서는 상기 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사 이외에 상기 압전 진동 소자용 외부단자를 사용한 상기 압전진동 디바이스의온도 특성의검사행하는것을특징으로 하는압전 진동 디바이스의 제조장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 압전 진동 디바이스의 온도를 미리 설정한 기준 온도로 조정하는온도조정실설치된것을특징으로 하는압전 진동 디바이스의 제조장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 검사실에서의 상기 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사는 가압에 의한 상기 압전진동 디바이스의내부공간의기밀상태의검사포함하는것을특징으로 하는압전 진동 디바이스의 제조장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 압전 진동 소자는 두께 미끄럼 진동을 행하는소자인것을특징으로 하는압전 진동 디바이스의 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
예비 가열실이 설치된 경우, 압전 진동 디바이스가 이동하는 전체 공정 순서는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation예비 가열실이 포함된 경우 압전 진동 디바이스의 이동 공정 순서를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 예비 가열실이 설치된 경우의 반송 순서에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 압전 진동 디바이스를 상기 예비 가열실, 상기 기밀 밀봉실,및상기검사실의순서반송하는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection공정 순서를 명시한 청구항 2의 핵심 구절을 선택한다.
- 예비 가열실, 상기 기밀 밀봉실,및상기검사실의순서
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 예비 가열실 -> 기밀 밀봉실 -> 검사실 순의 공정 흐름을 구성한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 공정 순서를 리스트 형식으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종적인 공정 순서를 답변으로 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
1. 예비 가열실, 2. 기밀 밀봉실, 3. 검사실
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 압전 진동 디바이스 제조 시 예비 가열, 기밀 밀봉, 검사 과정을 순차적으로 수행하여 제조 효율과 품질을 확보하는 장치에 관한 것이다.