트랜스퍼 챔버 장치 및 기판 처리 장치 및 기판 이송 방법 document_id 1020120059170

[청구항 1] 한 개 또는 복수개의 서셉터 가 거치되는 서셉터 거치대 기판을 정렬시키는 기판 정렬 유닛 상기 서셉터 거치대에 놓인 서셉터와 상기 기판 정렬 유닛에 놓인 기판을 파지하여 각각 별개로 이송하거나 또는 서셉터 위에 기판을 탑재하여 함께 이송하는 이송암 상기 서셉터 거치대로부터 이송되어 오는 복수의 서셉터를 이격 적층시켜 각 서셉터의 상부면 또는 하부면 중 적어도 어느 하나의 면에 불활성 세정 가스를 불어넣는 서셉터 세정 유닛 을 포함하는 트랜스퍼 챔버 장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,기판을 거치하며 거치된 기판을 냉각시키는 냉각 거치대포함하는트랜스퍼 챔버 장치. [청구항 3] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 기판 정렬 유닛은,기판을 지지하는 기판 지지 수단;상기 기판 지지 수단에 놓인 기판을 미리 설정한 위치로 센터링 정렬시키는 기판 정렬바포함하는트랜스퍼 챔버 장치. [청구항 4] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 이송암은,상기 기판을 진공척에 의해 흡착하는 제1암;상기 서셉터를 파지하여 이송하는 제2암포함하는트랜스퍼 챔버 장치. [청구항 5] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,로딩 모드로 동작 시에 상기 이송암은, 기판을 외부의 로드락 챔버로부터 이송하여 상기 기판 정렬 유닛에 위치시키며, 기판 정렬 유닛에서 정렬이 완료된 기판을 흡착한 후 서셉터 거치대로부터 이송해온 서셉터의 상부면에 탑재하며, 기판이 탑재된 서셉터를 프로세스 챔버이송하는트랜스퍼 챔버 장치. [청구항 6] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,로딩 모드로 동작 시에 상기 이송암은, 기판이 탑재된 서셉터를 프로세스 챔버로부터 이송하여 기판과 서셉터를 분리하여, 분리된 서셉터를 서셉터 거치대에 거치하고 분리된 기판을 기판 정렬 유닛에 각각 거치하며, 서셉터 거치대에 놓인 서셉터를 파지하여 상기 서셉터 세정 유닛에 이송하고 기판 정렬 유닛에서 정렬된 기판을 외부의 로드락 챔버이송하는트랜스퍼 챔버 장치. [청구항 7] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,셉터 세정 유닛은,세정 공간을 가지는 세정 하우징;상기 세정 하우징의 내부에 수납되며, 한 개 또는 복수개의 서셉터를 서로 이격시켜 적층시킬 수 있는 보트;이격 적층된 각 서셉터의 상부면, 하부면 중 어느 하나 이상에 세정 가스를 분사하는 가스 분사 수단;분사되는 세정 가스를 세정 챔버의 외부로 배출시키는 배출 포트포함하는트랜스퍼 챔버 장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,셉터 세정 유닛은,상기 보트를 회전시키는 회전 구동체포함하는트랜스퍼 챔버 장치. [청구항 9] 청구항 7에 있어서,상기 보트는,판 형태의 하부판 및 상부판;상기 하부판 및 상부판을 잇는 다수개의 지지바 프레임;각 지지바 프레임의 내측벽에 다수개의 홈으로 파여진 홀더홈포함하는트랜스퍼 챔버 장치. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 홀더홈은,서셉터의 가장자리의 하부면을 지지하는 지지면;상기 지지면과 이격되고 대향되는 반대면;상기 지지면과 반대면이 연결되는 홈측면포함하는서셉터 세정 유닛. [청구항 11] 청구항 10에 있어서,상기 홈측면과 반대면의 사잇각은 둔각형성되는서셉터 세정 유닛. [청구항 12] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 가스 분사 수단은, 이격 적층된 각 서셉터의 상부면의 중심 내측을 향하는 방향성을 가지도록 세정 가스분사하는서셉터 세정 유닛. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 가스 분사 수단은,적어도 하나 이상 형성된 세정 가스 분사홀;상기 세정 가스 분사홀에 세정가스를 공급하는 세정 가스 공급관포함하는서셉터 세정 유닛. [청구항 14] 청구항 13에 있어서,상기 세정 가스 공급관은, 상기 보트의 바닥 저면에서 상기 지지바 프레임의 내부에 관통된 통로를 따라 상기 가스 분사홀연결되는서셉터 세정 유닛. [청구항 15] 청구항 12에 있어서,상기 가스 분사 수단은, 이격 적층된 각 서셉터의 상부면의 중심 내측을 향하여 세정가스를 분사하는 노즐을 상기 세정 하우징의 내측벽형성하는서셉터 세정 유닛. [청구항 16] 기판 처리가 이루어지는 프로세스 챔버 진공 상태에서 대기 상태로, 또는 대기 상태에서 진공 상태로 변화되는 로드락 챔버 상기 로드락 챔버 내에서 이송된 기판을 서셉터에 탑재시킨 후 기판 탑재된 서셉터를 상기 프로세스 챔버로 이송하며, 상기 프로세스 챔버로부터 이송된 서셉터에서 기판을 분리하여 상기 로드락 챔버로 이송하는 트랜스퍼 챔버 상기 트랜스퍼 챔버에 연결되며, 다수개의 서셉터를 서로 이격시켜 적층시켜 각 서셉터의 상부면에 불활성 세정 가스를 불어넣는 서셉터 세정 유닛 를 포함하는 기판 처리 장치 [청구항 17] 청구항 16에 있어서,상기 트랜스퍼 챔버는,한 개 또는 복수개의 서셉터가 거치되는 서셉터 거치대;기판을 정렬시키는 기판 정렬 유닛;상기 서셉터 거치대에 놓인 서셉터와 상기 기판 정렬 유닛에 놓인 기판을 각각 별개로 이송하거나 또는 서셉터 위에 기판을 탑재하여 함께 이송하는 이송암;상기 서셉터 거치대로부터 이송되는 한 개 또는 복수개의 서셉터를 이격 적층시켜 각 서셉터의 상부면 또는 하부면 중 적어도 어느 하나의 면에 불활성 세정 가스를 불어넣는 서셉터 세정 유닛포함하는기판 처리 장치. [청구항 18] 청구항 17에 있어서,셉터 세정 유닛은,세정 공간을 가지는 세정 하우징;상기 세정 하우징의 세정 공간에 위치하며, 한 개 또는 복수개의 서셉터를 서로 이격시켜 적층시킬 수 있는 보트;이격 적층된 각 서셉터의 상부면에 불활성 세정 가스를 불어넣는 가스 분사 수단;상기 서셉터의 상부면에 분사된 세정 가스를 세정 챔버의 외부로 배출시키는 배출 포트포함하는기판 처리 장치. [청구항 19] 청구항 18에 있어서,상기 보트는,판 형태의 하부판 및 상부판;상기 하부판 및 상부판을 잇는 지지바 프레임;상기 지지바 프레임의 내측벽에 다수개의 홈으로 파여진 홀더홈포함하는기판 처리 장치.